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无尘室气体整流装置制造方法及图纸

技术编号:2407875 阅读:179 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种无尘室气体整流装置,其在无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱,可增强气体垂直层流效果,且结构简单,成本低,节省能源。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及净化设施,尤其涉及一种可以增强气体层流(laminar flow)效应及节省送风机数量的无尘室气体整流装置
技术介绍
诸如半导体之类的高科技精密产品,其制造过程必须在完全洁净的无尘室内进行,才能确保成品的质量。参阅图1所示,为一般现有无尘室10的运作程序结构,其必须在距离地面11的适当高度位置,设置具有通气孔的地板12,屋顶下面必须设置采用骨材组装成轻钢架13,然后再在各轻钢架的框格上放置天花板14及精密过滤器15,通过空调装置(图中未示由地板12底下进行抽吸,使空气循环,并经过一个初级过滤器16后,再送入天花板14与楼层板所形成的空间室17,且经由天花板14上的精密过滤器15滤除灰尘后,再送入无尘室10中。这种循环气体是经由各个精密过滤器15送入无尘室10,而无尘室10内垂直层流效果越好,室内的清洁度越佳。然而,有的无尘室10面积极广,且精密过滤器15的价格昂贵,所以,如果要在整个天花板14全部装置精密过滤器15,则所需费用可观,因此一般的无尘室根据其等级需求,大都是装设部分精密过滤器15,大部分则直接将天花板14放置在轻钢架13上。这样,天花板14下的气流与精密过滤器15下方的气流压力不平均,容易形成扰流(turbulent flow)现象,产生的粉尘在扰流区101漂浮,无法顺利向下降,从而影响气体垂直层流的效果,致使不易维持无尘室清洁度的等级。如果不计成本,提高精密过滤器15的装设密度,甚至达到整个天花板都装设精密过滤器15,也会因为每一个精密过滤器15的出风压力未必都相同,使气体垂直层流的压力具有误差,所以仍有需要改进的空间。专
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有产品存在的上述缺点,而提供一种无尘室气体整流装置,其具有增强气体垂直层流的功效。本专利技术的另一目的在于提供一种无尘室气体整流装置,其在天花板出风口下方一预定距离处形成一个正压气压舱,该气压舱底面为均布的供气体流通细网孔隙,使不全面装设精密过滤器的情况,也可达到预定的层流的效果,且结构简单,成本低,减少送风机数量,节省能源,符合经济效益原则。本专利技术的目的是由以下技术方案实现的。本专利技术无尘室气体整流装置,其特征在于,无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。前述的无尘室气体整流装置,其中整流网层与天花板的距离在25至55cm之间。前述的无尘室气体整流装置,其中整流网层呈独立形状架设在天花板下方。前述的无尘室气体整流装置,其中整流网层呈连接形状吊挂在天花板下方。前述的无尘室气体整流装置,其中整流网层包括,一轻钢架体,其是以骨材构成具有数个排列的框格,且通过吊件连接在天花板的骨材下;数个整流网,是跨置在框格上。前述的无尘室气体整流装置,其中整流网具有一网框,并通过该网框的嵌入体嵌套在框格的定位槽。本专利技术无尘室气体整流装置的有益效果是,其在无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱,可以增强气体垂直层流(1aminar flow)效果,结构简单,成本低,可以维持无尘室清洁度等级,减少送风机数量,节省能源。四附图说明图1为现有无尘室结构示意图。图2为本专利技术较佳实施例结构示意图。图3为本专利技术整流网层一实施例示意图。图4为本专利技术整流网层另一实施例示意图。图中主要标号说明20天花板、21骨材、22精密过滤器、23遮板、30整流网层、31轻钢架体、311骨材、312吊件、32框格、321定位槽、33整流网、34网框、341嵌入体、40正压气压舱。五具体实施例方式参阅图2所示,为本专利技术的较佳实施例,其在无尘室的天花板20下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层30,使整流网层30与该天花板20之间构成一个正压气压舱40。该整流网层30与天花板20的距离在25至55cm之间为较佳。但不限定于此,也可根据无尘室的面积及需求进行调整。参阅图3所示,为本专利技术无尘室气体整流装置的整流网层30的一种实施例,其是呈独立形状架设在天花板20的下方,其可由单一整流网33构成,但不限定于此,其适用于面积较小的无尘室。参阅图4所示,为本专利技术无尘室气体整流装置的整流网层30的另一实施例,其呈连接形状吊挂在天花板20的下方,其包括一轻钢架体31,其是以骨材311构成具有数个排列的框格32,且通过吊件312连接在天花板20的骨材21下;数个整流网33,是跨置在框格32上。为使整流网33能够稳固定位,可在整流网33的周边设有一网框34,并通过该网框34的嵌入体341由上而下嵌套在框格32的定位槽321中。整流网33的面积可根据实际需要设制,其可选用金属网、塑胶或合成材料等材质构成,具有均布的微细流通孔隙,使通过的气流及气压能够获得均匀分布。由上所述可知,本专利技术仅需要在天花板20底面,架设一整流网层30,即可使该夹层之间构成一个正压气压舱40,由于天花板20在精密过滤器22或遮板23下方的气流压力不均匀,但是经过正压气压舱40后,压力释放后平均分布,再由整流网层30均布的供气体流通细网孔隙后,会形成均压的垂直气流,故,可增强无尘室内的气体层流(laminar flow)效果。以上所述,仅是本专利技术的较佳实施例而已,并非对本专利技术作任何形式上的限制,凡是依据本专利技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本专利技术技术方案的范围内。权利要求1.一种无尘室气体整流装置,其特征在于,无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。2.根据权利要求1所述的无尘室气体整流装置,其特征在于,所述整流网层与天花板的距离在25至55cm之间。3.根据权利要求1所述的无尘室气体整流装置,其特征在于,所述整流网层呈独立形状架设在天花板下方。4.根据权利要求1所述的无尘室气体整流装置,其特征在于,所述整流网层呈连接形状吊挂在天花板下方。5.根据权利要求4所述的无尘室气体整流装置,其特征在于,所述整流网层包括,一轻钢架体,其是以骨材构成具有数个排列的框格,且通过吊件连接在天花板的骨材下;数个整流网,是跨置在框格上。6.根据权利要求5所述的无尘室气体整流装置,其特征在于,所述整流网具有一网框,并通过该网框的嵌入体嵌套在框格的定位槽。全文摘要本专利技术提供一种无尘室气体整流装置,其在无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱,可增强气体垂直层流效果,且结构简单,成本低,节省能源。文档编号F24F13/06GK1971151SQ20051001634公开日2007年5月30日 申请日期2005年11月23日 优先权日2005年11月23日专利技术者郭智雄 申请人:郭智雄本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种无尘室气体整流装置,其特征在于,无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭智雄
申请(专利权)人:郭智雄
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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