【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及净化设施，尤其涉及一种可以增强气体层流(laminar flow)效应及节省送风机数量的无尘室气体整流装置。
技术介绍
诸如半导体之类的高科技精密产品，其制造过程必须在完全洁净的无尘室内进行，才能确保成品的质量。参阅图1所示，为一般现有无尘室10的运作程序结构，其必须在距离地面11的适当高度位置，设置具有通气孔的地板12，屋顶下面必须设置采用骨材组装成轻钢架13，然后再在各轻钢架的框格上放置天花板14及精密过滤器15，通过空调装置(图中未示由地板12底下进行抽吸，使空气循环，并经过一个初级过滤器16后，再送入天花板14与楼层板所形成的空间室17，且经由天花板14上的精密过滤器15滤除灰尘后，再送入无尘室10中。这种循环气体是经由各个精密过滤器15送入无尘室10，而无尘室10内垂直层流效果越好，室内的清洁度越佳。然而，有的无尘室10面积极广，且精密过滤器15的价格昂贵，所以，如果要在整个天花板14全部装置精密过滤器15，则所需费用可观，因此一般的无尘室根据其等级需求，大都是装设部分精密过滤器15，大部分则直接将天花板14放置在轻钢架13上。这样，天...
【技术保护点】
一种无尘室气体整流装置，其特征在于，无尘室的天花板下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层，使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。
【技术特征摘要】
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