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本发明提供一种无尘室气体整流装置，其在无尘室的天花板下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层，使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱，可增强气体垂直层流效果，且结构简单，成本低，节省能源。...
该专利属于郭智雄所有，仅供学习研究参考，未经过郭智雄授权不得商用。

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