一种机械手定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种机械手定位装置。该定位装置的滑板可移动地设置在基板上，驱动组件驱动滑板在垂直方向上往复运动。定位组件设置在滑板的顶端，用于为机械手进行水平向定位，减震组件连接在滑板与定位组件之间，用于吸收机械手与定位组件接触时产生的冲击振动。该滑板能在驱动组件的驱动作用下在垂直方向上往复运动，有效提高了垂向往复运动时的重复性精度，从而减少垂向运动对水平向重复定位精度的影响，提高机械手的水平向重复定位精度；通过设置减震组件，可有效吸收机械手定位时产生的冲击振动，进一步提高机械手的水平向重复定位精度，从而提高硅片交接和上片位置重复性精度。

A manipulator positioning device

【技术实现步骤摘要】
一种机械手定位装置
本专利技术涉及光刻设备
，尤其涉及一种机械手定位装置。
技术介绍
光刻设备的硅片传输系统中，需要用机械手快速、准确、可靠的将硅片从预对准工位传递至工件台上。为保证硅片在从预对准工位到工件台上的位置精度，要求机械手在取片和放片时的水平向重复定位精度达到1μm。在实际工作中机械手末端定位精度与重复性精度较低，重复性精度在50μm左右，而先进光刻机对硅片的上片重复性精度要求远高于此，因此，仅仅依靠机械手自身的精度是无法满足使用需求的。目前在硅片传输系统中常用的定位方式为V型槽定位结构。如图1所示，定位结构安装在预对准工位或工件台1’上。在机械手腕部2’设置有两个定位滚轮3’，定位板4’上设置V型槽41’及定位平面42’。当机械手与目标硅片进行交接时，机械手腕部2’的定位滚轮3’与定位板4’接触，其中一侧的定位滚轮3’与定位板的V型槽41’接触，另一侧的定位滚轮3’与定位平面42’接触，通过三点接触，限制机械手末端X、Y、Rz三个方向的自由度，从而对片叉5’的取片或放片过程进行定位。该定位过程中，机械手与定位板4’接触本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手定位装置，其特征在于，包括：/n基板(1)；/n滑板(2)，其可移动地设置在所述基板(1)上；/n驱动组件，所述驱动组件被配置为能够驱动所述滑板(2)在垂直方向上往复运动；/n定位组件，其设置在所述滑板(2)的顶端，所述定位组件用于为机械手进行水平向定位；/n减震组件(3)，其连接在所述滑板(2)与所述定位组件之间，用于吸收所述机械手与所述定位组件接触时产生的冲击振动。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械手定位装置，其特征在于，包括：
基板(1)；
滑板(2)，其可移动地设置在所述基板(1)上；
驱动组件，所述驱动组件被配置为能够驱动所述滑板(2)在垂直方向上往复运动；
定位组件，其设置在所述滑板(2)的顶端，所述定位组件用于为机械手进行水平向定位；
减震组件(3)，其连接在所述滑板(2)与所述定位组件之间，用于吸收所述机械手与所述定位组件接触时产生的冲击振动。


2.根据权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于，所述驱动组件包括电机(4)和凸轮(5)，所述凸轮(5)设置于所述电机(4)的输出轴上，所述滑板(2)上设置有从动轮(6)，所述从动轮(6)与所述凸轮(5)的周面配合。


3.根据权利要求2所述的机械手定位装置，其特征在于，还包括弹性件(7)，所述弹性件(7)的一端固定在所述基板(1)上，另一端固定在所述滑板(2)上，所述弹性件(7)被配置为使所述从动轮(6)始终与所述凸轮(5)周面接触。


4.根据权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于，所述定位组件包括定位板(8)和调整板(9)，所述定位板(8)上设置有若干定位凸台(81)，若干所述定位凸台(81)均与所述调整板(9)接触。


5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：文静，张阔峰，陶洪建，郑锋标，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31