【技术实现步骤摘要】
一种应用于显微观测的聚焦光路系统
本技术涉及显微检测
,特别涉及一种应用于显微观测的聚焦光路系统。
技术介绍
在微观检测领域,当目标焦点与调焦焦点不在同一点,需要进行调焦操作,而目前在高分辨率自动调焦时因目标特性或载具平整性,抖动性引起较大误差,无法保证成像清晰度,从而无法实现调焦。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术目的在于提供一种精度高,可实现调焦的应用于显微观测的聚焦光路系统。其采用如下技术方案:一种应用于显微观测的聚焦光路系统,其包括:白光照明组件,包括白光光源、白光照明镜头;白光成像组件,包括阻红光滤光片、白光成像镜头和第一焦平面探测器;红光照明组件,包括红光光源、红光照明镜头、第一通红光滤光片;红光成像组件,包括第二通红光滤光片、红光成像镜头、第二焦平面探测器;第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜和显微物镜;其中,白光光路如下:白光光源发出的白光经过第一照明镜头,接着经过第三分束分色镜反射,然后经过显微物镜聚焦至照明工件 ...
【技术保护点】
1.一种应用于显微观测的聚焦光路系统,其特征在于,包括:/n白光照明组件,包括白光光源、白光照明镜头;/n白光成像组件,包括阻红光滤光片、白光成像镜头和第一焦平面探测器;/n红光照明组件,包括红光光源、红光照明镜头、第一通红光滤光片;/n红光成像组件,包括第二通红光滤光片、红光成像镜头、第二焦平面探测器;/n第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜和显微物镜;/n其中,白光光路如下:白光光源发出的白光经过第一照明镜头,接着经过第三分束分色镜反射,然后经过显微物镜聚焦至照明工件,经过反射后返回显微物镜,接着依次透射第三分束分色镜和第二分束分色镜,然后经过阻红光滤光片和白 ...
【技术特征摘要】
1.一种应用于显微观测的聚焦光路系统,其特征在于,包括:
白光照明组件,包括白光光源、白光照明镜头;
白光成像组件,包括阻红光滤光片、白光成像镜头和第一焦平面探测器;
红光照明组件,包括红光光源、红光照明镜头、第一通红光滤光片;
红光成像组件,包括第二通红光滤光片、红光成像镜头、第二焦平面探测器;
第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜和显微物镜;
其中,白光光路如下:白光光源发出的白光经过第一照明镜头,接着经过第三分束分色镜反射,然后经过显微物镜聚焦至照明工件,经过反射后返回显微物镜,接着依次透射第三分束分色镜和第二分束分色镜,然后经过阻红光滤光片和白光成像镜头在第一焦平面探测器处形成照明工件表面的放大像;
红光光路如下:红光光源发出的红光经过红光照明镜头和第一通红光滤光片,接着依次透射第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜,然后经过显微物镜聚焦至照明工件,经...
【专利技术属性】
技术研发人员:许照林,
申请(专利权)人:苏州富鑫林光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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