陶瓷压力接管上的压力传感器制造技术

技术编号:24043609 阅读:25 留言:0更新日期:2020-05-07 04:13
本发明专利技术涉及一种用于相对或绝对压力测量的压力传感器。该压力传感器装备有附加的加热元件(H、A‑G),以便消除干扰介质。

Pressure sensor on ceramic pressure pipe

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】陶瓷压力接管上的压力传感器
在此涉及一种MEMS压力传感器,其用于使用在冷冻的或高粘性的介质中,尤其用于使用在汽车技术中。
技术介绍
出现的是,冷凝物、冷冻的或高粘性的介质使压力传感器的测量信号失真。这种介质此外是热的、粘性的、稀释的、冷的、水性的或含油的相,冷的、粘稠的油,冷冻的水或燃料。失真的测量结果可以是:不足的废气清洁、马达损害或通常在待监控的过程的其他的元件上的损害。由于对内燃机的废气净化的更高的要求而例如需要的是,直接在马达冷启动后执行精确的压力测量。
技术实现思路
本专利技术的任务在于说明一种压力传感器,其已经可以在时间上接近马达冷启动地执行正确的压力测量,并且可以提高压力传感器的使用寿命。该任务通过根据本权利要求1的压力传感器解决。从属权利要求说明了有利的实施方案。为了解决该任务提出一种压力传感器,利用该压力传感器可以测量相对或绝对压力。该压力传感器包括壳体,其又包括壳体壁。壳体壁可以为了测量绝对压力被密封,并且为了测量相对压力包含开口,以便例如将大气压情况用作参考压力。在壳体中布置有传感器元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 用于确定相对或绝对压力的压力传感器,包括:/n- 壳体(GH),包括壳体壁(GW),其中布置了/n- 传感器元件(SE),/n- 陶瓷基底(KS),其用作传感器元件和其电接头的载体,以及/n- 加热元件(H、A-G),其布置在所述壳体或所述壳体壁(GW)的内部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170928 DE 102017122631.11.用于确定相对或绝对压力的压力传感器,包括:
-壳体(GH),包括壳体壁(GW),其中布置了
-传感器元件(SE),
-陶瓷基底(KS),其用作传感器元件和其电接头的载体,以及
-加热元件(H、A-G),其布置在所述壳体或所述壳体壁(GW)的内部。


2.根据前述权利要求所述的压力传感器,其中,所述加热元件(H、A-G)布置在陶瓷基底上的位置(A)中或陶瓷基底(KS)中的位置(B)中。


3.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器,其中,所述加热元件(H、A-G)布置在壳体(C)的内部或壳体壁(D)中。


4.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器,所述压力传感器包括用于输送介质的玻璃陶瓷管(GR),所述玻璃陶瓷管安置在传感器元件(US)的下侧。


5.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器,其中,所述传感器元件与陶瓷基底(KS)连接,从而在传感器元件(SE)的上侧(OS)和下侧(US)分别存在不同的介质。


6.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器,其中,所述加热元件(H、A-G)布置在玻璃陶瓷管(GR)中(E)或上(F),其为了介质输送而位于传感器元件(SE)的下侧。


7.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器,所述压力传感器具有带有凝胶限界(GB)的凝胶填充(GF)作为对在传感器元件(SE)的上侧(OS)的膜片(MS)的保护,其中所述加热元件(H、A-G)布置在凝胶限界上(位置G)。


8.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器,其中,所述加热元件(...

【专利技术属性】
技术研发人员:B博尔J伊勒B洪德特马克B波尔德C沃尔格穆特
申请(专利权)人:TDK电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:德国;DE

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