在陶瓷基底上的压力传感器制造技术

说明了一种用于相对压力测量或绝对压力测量的压力传感器。该压力传感器装备有附加的加热元件(H,A‑G)，以为了排除起干扰作用的介质。

Pressure sensor on ceramic substrate

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在陶瓷基底上的压力传感器
本专利技术涉及一种用于使用在冻结的或高粘性的介质中的压力传感器。
技术介绍
当在困难或者极端的条件下在介质中借助于压力传感器进行压力测量时发生冷凝物、冻结的或高粘性的介质使所使用的压力传感器的测量信号失真。这样的介质尤其可为热的、粘性的、低粘性的冷的、水状的或油状的状态(Phasen，有时称为相)、冷的黏稠的油、结冻的水或燃料，如其尤其在机动车中使用时可出现的那样。失真的测量的后果可为：不充分的废气净化、发动机损坏或通常待监视的过程的其它元件的损坏。由于对内燃机的废气净化(Abgasreinhaltung，有时称为废气污染控制)的提高的要求，例如必要的是，直接在发动机冷启动之后执行在不同介质中的精确的压力测量。
技术实现思路
本专利技术的目的是说明一种压力传感器，其避免上述问题且例如可在发动机冷启动的同时已执行在发动机相关的介质中的准确的压力测量且可提高压力传感器的寿命。该目的通过一种根据当前权利要求1所述的压力传感器来实现。从属权利要求说明了有利的实施方案。为了该实现建议了一种压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 用于确定相对压力或绝对压力的压力传感器，包括/n- 壳体(GH)，包括壳体壁(GW)，在该壳体中布置有/n- 传感元件(SE)/n- 陶瓷基底(KS)，该陶瓷基底用作所述传感元件及其电气接口的衬底，以及/n- 加热元件(H,A-G)，该加热元件布置在所述壳体或所述壳体壁(GW)的内部中。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170928 DE 102017122605.21.用于确定相对压力或绝对压力的压力传感器，包括
-壳体(GH)，包括壳体壁(GW)，在该壳体中布置有
-传感元件(SE)
-陶瓷基底(KS)，该陶瓷基底用作所述传感元件及其电气接口的衬底，以及
-加热元件(H,A-G)，该加热元件布置在所述壳体或所述壳体壁(GW)的内部中。


2.根据前述权利要求所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)在位置A(A)中布置在所述陶瓷基底(KS)上或在位置B(B)中布置在所述陶瓷基底(KS)中。


3.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，对于所述压力传感器而言，所述加热元件(H,A-G)在位置C(C)处布置在所述壳体(GH)的内壁处或在位置D(D)处布置在所述壳体壁(GW)中。


4.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述传感元件如此地布置在所述陶瓷基底(KS)上，即仅所述传感元件的上侧(OS)可加载有压力且仅绝对压力可被测量。


5.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述陶瓷基底具有通道(DL)，其中所述传感元件如此地布置在所述通道中，即使得从所述传感元件的上侧和下侧(US)的独立的介质接近是可行的，从而使得相对压力可被测量。


6.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，带有传感元件，该传感元件在所述上侧上具有膜片(MS)，
带有在所述陶瓷基底上的上部敞开的凝胶界限(GB)，
带有凝胶填充物(GF)，其被注入到所述凝胶界限中且覆盖所述膜片，
其中所述凝胶填充物(GF)用作所述膜片(MS)的保护。


7.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)布置在所述凝胶界限上(位置G)，所述凝胶界限对所述凝胶定界。

【专利技术属性】
技术研发人员：B博尔，J伊勒，B洪德特马克，B波尔德，C沃尔格姆特，
申请(专利权)人：TDK电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE