【技术实现步骤摘要】
用于促进布置在保持膜片上的部件脱离的顶脱器装置和方法
本专利技术涉及一种用于促进布置在保持膜片上的部件脱离的顶脱器装置，包括具有膜片接触面的顶脱器头，所述膜片接触面用于抵贴接触保持膜片背离部件的表面，其中，顶脱器头在膜片接触面中进一步具有：顶脱口，其中可平移地支承有至少一个顶脱针，用于使部件从保持膜片脱离；以及真空段的至少一个真空口，用于在保持膜片与膜片接触面之间产生负压。本专利技术还涉及一种用于通过顶脱器装置促进布置在保持膜片上的部件脱离的方法，顶脱器装置包括具有膜片接触面的顶脱器头，其中，膜片接触面抵贴接触保持膜片背离部件的表面，其中，顶脱器头在膜片接触面中进一步具有：顶脱口，其中可平移地支承有至少一个顶脱针，用于使部件从保持膜片脱离；以及真空段的至少一个真空口，其中，真空段通过真空口在保持膜片与膜片接触面之间产生负压，以将保持膜片固定在顶脱器头的膜片接触面上。
技术介绍
在现代技术中，原则上已公知用于脱离或促进布置在保持膜片上的特定部件的脱离的顶脱器装置。例如，将完成加工后的具有多个部件的晶片以优选限定的粘合力固定在一...
【技术保护点】
1.一种用于促进布置在保持膜片（30）上的部件（40）脱离的顶脱器装置（1），包括具有膜片接触面（20）的顶脱器头（10），所述膜片接触面（20）用于抵贴接触所述保持膜片（30）背离部件的表面（31），其中，所述顶脱器头（10）在所述膜片接触面（20）中进一步具有：至少一个顶脱口（21），其中可平移地支承有至少一个顶脱针（13），用于使所述部件（40）从所述保持膜片（30）脱离；以及真空段（11）的至少一个真空口（22），用于在所述保持膜片（30）与所述膜片接触面（20）之间产生负压，其特征在于，/n所述顶脱器头（10）在所述膜片接触面（20）中具有压缩空气段（12）的至少...
【技术特征摘要】
20181016 DE 102018125682.51.一种用于促进布置在保持膜片（30）上的部件（40）脱离的顶脱器装置（1），包括具有膜片接触面（20）的顶脱器头（10），所述膜片接触面（20）用于抵贴接触所述保持膜片（30）背离部件的表面（31），其中，所述顶脱器头（10）在所述膜片接触面（20）中进一步具有：至少一个顶脱口（21），其中可平移地支承有至少一个顶脱针（13），用于使所述部件（40）从所述保持膜片（30）脱离；以及真空段（11）的至少一个真空口（22），用于在所述保持膜片（30）与所述膜片接触面（20）之间产生负压，其特征在于，
所述顶脱器头（10）在所述膜片接触面（20）中具有压缩空气段（12）的至少一个压缩空气口（23），用于将空气（50）引入所述保持膜片（30）与所述膜片接触面（20）之间。
2.根据权利要求1所述的顶脱器装置（1），其特征在于，
所述至少一个压缩空气口（23）在所述膜片接触面（20）中布置在所述顶脱口（21）与所述至少一个真空口（22）之间。
3.根据权利要求1或2所述的顶脱器装置（1），其特征在于，
所述至少一个真空口（22）在所述膜片接触面（20）中布置在所述顶脱口（21）与所述至少一个压缩空气口（23）之间。
4.根据前述权利要求中任一项所述的顶脱器装置（1），其特征在于，
所述至少一个压缩空气口（23）和/或所述至少一个真空口（22）在所述膜片接触面（20）中呈环形围绕所述顶脱口（21）布置。
5.根据前述权利要求中任一项所述的顶脱器装置（1），其特征在于，
所述膜片接触面（20）具有连接槽（24），用于使所述至少一个压缩空气口（23）和/或所述至少一个真空口（22）和/或所述顶脱口（21）以流体连通方式连接。
6.一种用于通过顶脱器装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿诺·斯坦恩，斯蒂芬妮·周特尔，
申请(专利权)人：先进装配系统有限责任两合公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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