一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器制造技术

技术编号:23930383 阅读:59 留言:0更新日期:2020-04-25 01:17
本发明专利技术公开了一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器,适用于对扫描电镜样品的保存、预抽真空、转移和运输。本发明专利技术包括底座(1)、样品台支架(7)、钟罩(2)、密封圈(3)、气压表(6)、气阀(4)和真空泵接口(5)。样品台支架(7)放置在底座(1)上,样品台支架(7)上垂直开设有若干个槽孔(8),可将样品台丁型腿插入槽孔(8),从而固定样品台。本发明专利技术在真空环境下保存扫描电子显微镜标准样品和测试样本,使其免受污染,防止敏感样品氧化;固定牢稳,体积小巧,方便转移运输。

A special vacuum dryer for scanning electron microscope

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器
本专利技术公开一种真空干燥器。具体的讲,涉及一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器。
技术介绍
扫描电子显微镜是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品形貌成分信息的电子显微镜。扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。测试时先将样品固定在专用样品台上,放入电镜,然后抽真空,到一定真空度后再打开电子枪开始测试。这就要求样品干燥并且表面清洁无污染,因为样品干燥度会影响抽真空的时间和效果。为了提高工作效率,一般制好的样品放在密封培养皿中,最好的方式是将制好样品的样品台放置在干燥器中。目前干燥器一般体积较大,携带运输不方便,并且没有扫描电镜样品的专用真空干燥器。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术缺陷,提供一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器,用于保存样品,并可以预抽真空,所采用的技术方案是:一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器,包括底座、样品台支架、钟罩、密封圈、气压表、气阀和真空泵接口。底座与钟罩组合成一个密闭腔体,底座与钟罩结合处设有密封圈样品台支架放置在底座上;样品台支架上垂直开设有若干个槽孔,可将样品台丁型腿插入槽孔,从而固定样品台。优选的,底座与钟罩之间用密封圈密封;在底座侧面开设抽气口,在抽气管上设置一个气阀,然后再连接到真空泵接口;在抽气管路上还设置有气压表,用于显示干燥器的压力。优选的,气阀用于控制干燥器的抽放气,根据气压表显示,在到达需要的真空度后,关闭气阀,可保持干燥器内的真空度。优选的,底座与钟罩口径均为圆形,尺寸大小相同;钟罩外观为圆柱形;底座可采用铝、不锈钢等材质;钟罩是由真空玻璃构成或优质聚碳酸酯材料注塑成型。本专利技术的有益效果是:该专利技术提供了一种扫描电镜专用样品台,用途一是保存样品和标样,免收污染,防止敏感样品氧化;二是支架固定样品台,固定牢固;三是可以对粘好的样品的样品台预抽真空,为扫描电镜观察做良好准备,节约抽真空时间;四是干燥器体积小巧,固定牢固,方便转移、运输样品及标样。附图说明图1为本专利技术真空干燥器的剖面示意图。图2位本专利技术真空干燥器支架的立体图。图中,1.底座、7.样品台支架、2.钟罩、3.密封圈、6.气压表、4.气阀、5.真空泵接口、8.槽孔。具体实施方式下面结合附图和实施例,对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。请参阅图1所示,本专利技术的真空干燥器包括底座、可密封盖设于所述底座上的钟罩。所述底座内形成腔体,在底座侧面开设抽气口,引出抽气管路,可连接小型真空泵。在抽气管路上还依次设置有气压表和气阀,所述气压表用于显示干燥器的压力,气阀用于接通和关闭抽气管路。所述底座材质可选用不锈钢或镀铝材。所述钟罩顶部为平顶,外观为圆柱形,是由真空玻璃构成,所述钟罩与底座的结合处设有氟橡胶密封圈。所述样品台支架上设置12个圆孔,可存放12枚直径为12.7mm的样品台,上述干燥器用小型真空泵抽真空后,真空度可达到10-6mbar,关闭气阀,撤去真空泵,干燥器可长时间保持一定的真空度,利于存放和转移样品。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已,并不用限制本专利技术,凡在本专利技术的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包括在本专利技术保护的范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器,包括:底座(1)、样品台支架(7)、钟罩(2)、密封圈(3)、气压表(6)、气阀(4)和真空泵接口(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器,包括:底座(1)、样品台支架(7)、钟罩(2)、密封圈(3)、气压表(6)、气阀(4)和真空泵接口(5)。


2.根据权利要求书1所述的底座(1)与钟罩(7)组合成一个密闭腔体,样品台支架(7)放置在底座(1)上,样品台支架(7)上垂直开设有若干个槽孔(8),可将样品台丁型腿插入...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭新勇王晓丽李盛董宝杰张康杨艳娜
申请(专利权)人:河南中镜科仪科技有限公司
类型:发明
国别省市:河南;41

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