一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器制造技术

本发明专利技术公开了一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器，适用于对扫描电镜样品的保存、预抽真空、转移和运输。本发明专利技术包括底座(1)、样品台支架(7)、钟罩(2)、密封圈(3)、气压表(6)、气阀(4)和真空泵接口(5)。样品台支架(7)放置在底座(1)上，样品台支架(7)上垂直开设有若干个槽孔(8)，可将样品台丁型腿插入槽孔(8)，从而固定样品台。本发明专利技术在真空环境下保存扫描电子显微镜标准样品和测试样本，使其免受污染，防止敏感样品氧化；固定牢稳，体积小巧，方便转移运输。

A special vacuum dryer for scanning electron microscope

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器
本专利技术公开一种真空干燥器。具体的讲，涉及一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器。
技术介绍
扫描电子显微镜是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品形貌成分信息的电子显微镜。扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。测试时先将样品固定在专用样品台上，放入电镜，然后抽真空，到一定真空度后再打开电子枪开始测试。这就要求样品干燥并且表面清洁无污染，因为样品干燥度会影响抽真空的时间和效果。为了提高工作效率，一般制好的样品放在密封培养皿中，最好的方式是将制好样品的样品台放置在干燥器中。目前干燥器一般体积较大，携带运输不方便，并且没有扫描电镜样品的专用真空干燥器。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术缺陷，提供一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器，用于保存样品，并可以预抽真空，所采用的技术方案是：一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器，包括底座、样品台支架、钟罩、密封圈、气压表、气阀和真空泵接口。底座与钟罩组合成一个密闭腔体，底座与钟罩结合处设有密封圈样品台支架放置在底座上；样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器，包括：底座(1)、样品台支架(7)、钟罩(2)、密封圈(3)、气压表(6)、气阀(4)和真空泵接口(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种一种扫描电子显微镜样品专用真空干燥器，包括：底座(1)、样品台支架(7)、钟罩(2)、密封圈(3)、气压表(6)、气阀(4)和真空泵接口(5)。


2.根据权利要求书1所述的底座(1)与钟罩(7)组合成一个密闭腔体，样品台支架(7)放置在底座(1)上，样品台支架(7)上垂直开设有若干个槽孔(8)，可将样品台丁型腿插入...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭新勇，王晓丽，李盛，董宝杰，张康，杨艳娜，
申请(专利权)人：河南中镜科仪科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河南;41