用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具制造技术

本实用新型专利技术属于扫描电子显微镜测试技术领域，本实用新型专利技术公开了一种用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具，其包括手持部、裁切部和涂胶部，裁切部和涂胶部可分别与手持部可拆卸连接。裁切部包括第一安装板和固定于其上的切刀，切刀的刀体呈与第一安装板垂直设置，四个切刀的刀刃边缘处于相同的平面上并形成正方形的形状。涂胶部包括第二安装板和固定于第二安装板表面的粘胶部，粘胶部为若干突出于第二安装板表面的条状物。利用本实用新型专利技术的治具可简化SEM观测员制样工序，降低制样难度，提升观测效果，提高工作效率。

Standardized cutting and sample making jig for SEM observation of nonconductive film samples

【技术实现步骤摘要】
用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具
本技术涉及扫描电子显微镜测试领域，具体涉及一种用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具。
技术介绍
SEM观测是指利用扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，SEM)对样品进行观测。不导电膜在小型化集成电路领域以及电子产品等领域应用普遍。对于不导电膜类样品观测大多依靠SEM观测实现。在利用SEM对不导电膜类进行观测时，需要首先将不导电膜类样品制样用剪刀或小刀手工裁剪成小块后，再手工涂抹导电胶于膜样四周及表面后进行SEM观测，通过导电胶能够增强其导电性并粘结膜样至样品台上。为了确保检测效果，不能将导电胶完全覆盖于样品的表面以避免遮挡观测区域。目前，在不导电膜类样品的制样过程中，制样人员需多次直接或间接接触样品，因此极易造成膜样的污染。而且，手工裁剪样品很难做到尺寸统一，对于平行样观测会造成尺寸偏差。此外，在剪裁后的膜样上进行导电胶的涂抹对制样人员的操作要求较高，涂抹过多可能会遮挡观测区域，而涂抹太少可能使得样品导电性不足而无法准确观测。
技术实现思路
为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具。为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：本技术提供了一种用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具，包括手持部、裁切部和涂胶部，所述裁切部和所述涂胶部均可与所述手持部可拆卸连接，所述裁切部包括至少一个切刀，所述裁切部的切刀的刀刃边缘处于相同的平面上并形成封闭的几何形状。本技术的治具的裁切部的切刀的刀刃边缘为封闭的几何形状，因而，利用本技术的治具能够对膜样进行快速切割成形状和规格一致的样品，通过涂胶部能够对膜样进行快速而均匀的涂胶，由于本技术的治具的裁切部和涂胶部与手持部可拆卸连接，因而可根据需要灵活将其与手持部拆装，以便进行膜样的裁切和涂胶。利用本技术的治具可简化SEM观测员制样工序，降低制样难度，提升观测效果，提高工作效率。进一步的，所述手持部上设置有第一连接部，在所述裁切部和所述涂胶部上分别设置有第二连接部，所述第二连接部与所述第一连接部相匹配并可拆卸的连接。更进一步的，所述第一连接部与所述第二连接部为卡扣连接结构，所述第一连接部包括插接头和环绕所述插接头的侧面设置的至少两个向远离所述插接头的轴心方向突出的弹性插舌，所述第二连接部包括与所述插接头匹配的插槽，在所述插槽的侧壁上与所述插舌相对应的位置设置有固定孔，所述弹性插舌从靠近所述插槽槽底一端向远离所述插槽槽底一端距离所述插接头的纵向中轴线的距离逐渐增加。因而，弹性插舌可将第一连接部与第二连接部牢固卡合，在需要将第一连接部与第二连接部拆开时，将弹性插舌朝向插接头的纵向中轴线方向按压即可实现第一连接部与第二连接部的拆开。进一步的，本技术的治具的所述手持部为杆状，所述第一连接部与所述第二连接部为螺纹连接结构，所述第一连接部为具有外螺纹的螺纹头，所述第二连接部为具有内螺纹的固定座。进一步的，本技术的治具的所述裁切部还包括第一安装板，所述第二连接部固定于所述第一安装板上，所述切刀固定于所述第一安装板的表面，所述切刀的刀体呈与所述第一安装板垂直设置，所述切刀的刀刃位于远离所述第一安装板一侧。更进一步的，所述涂胶部包括第二安装板和固定于所述第二安装板表面的粘胶部，所述粘胶部由若干突出于所述第二安装板表面的条状物构成。因而利用粘胶部的条状物对导电胶进行沾取既能保证粘胶均匀性也避免粘胶过多造成胶液浪费。更进一步的，所述条状物呈“米”字形设置，所述条状物突出于所述第二安装板的高度为0.5-5mm，构成所述粘胶部的条状物的宽度为0.1-1mm。进一步的，本技术的治具的所述切刀的刀刃边缘呈规则几何形状。由此，利用本技术的治具能够制备出标准化且形状规则的膜样，便于对其进行SEM观测，有效减少了测量误差。附图说明图1为实施例一的第一连接部与固定于第二安装板上的第二连接部的连接关系示意图；图2为本技术的粘胶部的结构示意图；图3为本技术粘胶部的条状物设置结构示意图；图4为实施例二的第一连接部与手持部为一体件，第二连接部与裁切部为一体件的结构示意图。图中：1-手持部、2-裁切部、21-第一安装板、22-切刀、3-涂胶部、31-第二安装板、32-条状物、4-第一连接部、41-插接头、42-弹性插舌、5-第二连接部、51-插槽、511-固定孔。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。实施例一：如图1和图2所示，本实施例的用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具包括手持部1、裁切部2和涂胶部3，裁切部2和涂胶部3可分别与手持部1可拆卸连接。再次如图1所示，本实施例的裁切部2包括第一安装板21和固定于其上的四个切刀22，切刀21的刀体呈与第一安装板21垂直设置，四个切刀21的刀刃边缘处于相同的平面上并形成正方形的形状。本实施例的切刀21的数量可根据需要调整，切刀21的刀刃可以为其他任意封闭的几何形状。再次如图2所示，本实施例的涂胶部3包括第二安装板31和固定于第二安装板31表面的粘胶部，粘胶部由若干突出于第二安装板31表面的条状物32组成。如图3所示，粘胶部的条状物32呈“米”字形设置于第二安装板31的表面，条状物32突出第二安装板的高度为1mm，条状物的宽度为0.2mm。本实施例的手持部1为杆状，其也可为其他任意适于操作的结构，手持部1的下端与裁切部2或涂胶部3连接。手持部1的下端设置有第一连接部4，在裁切部2的第一安装板21上和涂胶部3的第二安装板31上分别设置有第二连接部5，第二连接部5与第一连接部4相匹配并可拆卸的连接。因而可根据需要更换与手持部1连接的裁切部2或涂胶部3。第一连接部4与第二连接部5为任意可拆卸连接的结构，在本实施例中为卡扣连接结构，再次如图1所示，第一连接部4包括插接头41和环绕插接头41的侧面设置的四个弹性插舌42，第二连接部5包括与插接头41匹配的插槽51，在插槽51的侧壁上与弹性插舌42相对应的位置设置有固定孔511，弹性插舌42从靠近插槽51槽底一端向远离插槽51槽底一端距离插接头41的纵向中轴线的距离逐渐增加。因而在将插接头41插入插槽51内时，弹性插舌42可顺利插入固定孔511内从而将第一连接部4与第二连接部5快速卡接，在需要将裁切部2或涂胶部3从手持部1上取下时，将弹性插舌42向内按压，弹性插舌42从固定孔511内推出而不再与固定孔511相卡接，进而将手持部1拔出即可。实施例二：本实施例与实施例一的区别在于，第一连接部4与第二连接部5为螺纹连接结构，第一连接部4为具有外螺纹的螺纹头，其可与手持部1为一体件或分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具，其特征在于，包括手持部、裁切部和涂胶部，所述裁切部和所述涂胶部均可与所述手持部可拆卸连接，所述裁切部包括至少一个切刀，所述裁切部的切刀的刀刃边缘处于相同的平面上并形成封闭的几何形状。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于不导电膜类样品SEM观测的标准化裁剪及制样治具，其特征在于，包括手持部、裁切部和涂胶部，所述裁切部和所述涂胶部均可与所述手持部可拆卸连接，所述裁切部包括至少一个切刀，所述裁切部的切刀的刀刃边缘处于相同的平面上并形成封闭的几何形状。


2.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述手持部上设置有第一连接部，在所述裁切部和所述涂胶部上分别设置有第二连接部，所述第二连接部与所述第一连接部相匹配并可拆卸的连接。


3.根据权利要求2所述的治具，其特征在于，所述第一连接部与所述第二连接部为卡扣连接结构，所述第一连接部包括插接头和环绕所述插接头的侧面设置的至少两个向远离所述插接头的轴心方向突出的弹性插舌，所述第二连接部包括与所述插接头匹配的插槽，在所述插槽的侧壁上与所述插舌相对应的位置设置有固定孔，所述弹性插舌从靠近所述插槽槽底一端向远离所述插槽槽底一端距离所述插接头的纵向中轴线的距离逐渐增加。


4.根据权利要求2所述的治...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄乐飞，沈左松，邓斌，
申请(专利权)人：泰州衡川新能源材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32