清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统技术方案

本公开涉及半导体技术领域，提出了一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统，清洁机构用于清洁顶置缓冲器上的反光板，清洁机构包括：承载组件和清洁件，承载组件相对于顶置缓冲器位置可调节地设置；清洁件可拆卸地设置在承载组件上。本公开的清洁机构通过承载组件和清洁件可以实现对顶置缓冲器上的反光板自动清洁。在具体清洁时，承载组件带动清洁件移动到具体清洁位置，然后清洁件完成对反光板的清洁。由于承载组件可以相对于顶置缓冲器移动，即在整个清洁过程基本实现自动清洁，整个清洁过程较为高效。

Cleaning mechanism, cleaning vehicle and automatic material handling system

【技术实现步骤摘要】
清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统
本公开涉及半导体
，尤其涉及一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统。
技术介绍
现有技术中，半导体集成电路中物料自动搬运系统(AMHS)包括：空中走行式无人搬送车(OHT)：OverheadHoistTransport，沿着设置在天花板下方的轨道，将前开式标准晶圆盒(FOUP)搬送至目的地站点。顶置缓冲器(OHB)：OverHeadBuffer，安装于天花板下方，用于存放FOUP。OHB反光板：安装于OHB上。与OHT带有的二重搬入探测设备(sensor)配套使用，用于OHT侦测相应的OHB上是否已经存有FOUP，以此为依据，判断下一步是否要执行既定的取/放FOUP动作。在具体使用过程中，OHB反光板需要定时清洁，其清洁的必要性：为保证正常工作，OHT二重搬入sensor的发射光强度需要保持在合理范围，如果对应的OHB反光板表面有污渍、水渍等因素导致反射光强不足，可能会导致OHT误判OHB上的存货情况，造成OHB使用效率下降。针对这种情况的解决方法是清洁OHB反光板。在已知的技术背景下，OHB反光板清洁都是手动进行，没有自动进行OHB反光板清洁的设备。然而，手动清洁OHB反光板需要进行三米以上的登高作业，需要至少四名人员的配置(一名清洁人员，一名安全员，两名辅助人员)。此外，手动清洁OHB注意事项较多，流程较为繁琐，大量时间花费在手动停/开作业区域OHT，挂安全挡板等流程，而此流程在手动清洁的方式下是兼顾人员安全与生产效率的必要流程。
技术实现思路
本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统。根据本技术的第一个方面，提供了一种清洁机构，用于清洁顶置缓冲器上的反光板，清洁机构包括：承载组件，承载组件相对于顶置缓冲器位置可调节地设置；清洁件，清洁件可拆卸地设置在承载组件上。在本技术的一个实施例中，清洁件设置在承载组件朝向顶置缓冲器的一侧，以使清洁件与反光板所在平面相对设置；其中，清洁件的至少部分沿靠近或远离反光板的方向可移动地设置。在本技术的一个实施例中，清洁件包括：第一清洁部，第一清洁部设置在承载组件上，第一清洁部包括用于清洁反光板的刷子。在本技术的一个实施例中，第一清洁部还包括：机械臂，机械臂设置在承载组件上，刷子设置在机械臂远离承载组件的一端；其中，机械臂可活动地设置，以驱动刷子相对于反光板移动。在本技术的一个实施例中，第一清洁部还包括：控制模块，控制模块设置在承载组件上，控制模块与机械臂相连接，以控制机械臂相对于反光板活动。在本技术的一个实施例中，清洁件包括：第二清洁部，第二清洁部设置在承载组件上；驱动臂，驱动臂设置在承载组件上，驱动臂与第二清洁部相连接，驱动臂可活动地设置，以驱动第二清洁部相对于反光板移动。在本技术的一个实施例中，清洁件包括：机械臂，机械臂设置在承载组件上；刷子，刷子设置在机械臂远离承载组件的一端；吸尘器，机械臂与吸尘器相连接；控制模块，控制模块设置在承载组件上；其中，控制模块与机械臂、刷子以及吸尘器均连接，以控制机械臂、刷子以及吸尘器的运行状态。在本技术的一个实施例中，清洁机构还包括：转接部，转接部可拆卸地安装在承载组件上，清洁件安装在转接部上，以使清洁件通过转接部设置在承载组件上。根据本技术的第二个方面，提供了一种清洁车，包括上述的清洁机构和导轨，承载组件可移动地设置在导轨上，导轨用于设置在顶置缓冲器的上方。根据本技术的第三个方面，提供了一种物料自动搬运系统，包括上述的清洁机构和晶圆盒抓取机构；其中，晶圆盒抓取机构可拆卸的安装在承载组件上。本技术的清洁机构通过承载组件和清洁件可以实现对顶置缓冲器上的反光板自动清洁。在具体清洁时，承载组件带动清洁件移动到具体清洁位置，然后清洁件完成对反光板的清洁。由于承载组件可以相对于顶置缓冲器移动，即在整个清洁过程基本实现自动清洁，整个清洁过程较为高效。附图说明通过结合附图考虑以下对本公开的优选实施方式的详细说明，本公开的各种目标.特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本公开的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种清洁机构的第一个视角的应用结构示意图；图2是根据一示例性实施方式示出的一种清洁机构的第二个视角的应用结构示意图；图3是根据一示例性实施方式示出的一种清洁车的安装结构示意图；图4是根据一示例性实施方式示出的一种物料自动搬运系统的部分结构示意图；图5是根据一示例性实施方式示出的一种物料自动搬运系统的承载组件的结构示意图。附图标记说明如下：10、顶置缓冲器；20、反光板；30、承载组件；31、转接部；40、清洁件；41、第一清洁部；411、刷子；412、机械臂；413、控制模块；42、第二清洁部；421、吸尘管；422、吸尘器本体；50、导轨；60、天花板；70、晶圆盒抓取机构。具体实施方式体现本公开特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本公开能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本公开的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本公开。在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构.系统和步骤。应理解的是，可以使用部件.结构.示例性装置.系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”.“之间”.“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。本技术的一个实施例提供了一种清洁机构，请参考图1和图2，清洁机构用于清洁顶置缓冲器10上的反光板20，清洁机构包括：承载组件30，承载组件30相对于顶置缓冲器10位置可调节地设置；清洁件40，清洁件40可拆卸地设置在承载组件30上。本技术一个实施例的清洁机构通过承载组件30和清洁件40可以实现对顶置缓冲器10上的反光板20自动清洁。在具体清洁时，承载组件30带动清洁件40移动到具体清洁位置，然后清洁件40完成对反光板20的清洁。由于承载组件30可以相对于顶置缓冲器10移动，即在整个清洁过程基本实现自动清洁，整个清洁过程较为高效。本技术一个实施例的清洁机构的承载组件30可以用于安装清洁件40或晶圆盒抓取机构70，即承载组件30可以实现对不同部件的装载，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洁机构，其特征在于，用于清洁顶置缓冲器上的反光板，所述清洁机构包括：/n承载组件，所述承载组件相对于所述顶置缓冲器位置可调节地设置；/n清洁件，所述清洁件可拆卸地设置在所述承载组件上。/n

【技术特征摘要】
1.一种清洁机构，其特征在于，用于清洁顶置缓冲器上的反光板，所述清洁机构包括：
承载组件，所述承载组件相对于所述顶置缓冲器位置可调节地设置；
清洁件，所述清洁件可拆卸地设置在所述承载组件上。


2.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件设置在所述承载组件朝向所述顶置缓冲器的一侧，以使所述清洁件与所述反光板所在平面相对设置；
其中，所述清洁件的至少部分沿靠近或远离所述反光板的方向可移动地设置。


3.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件包括：
第一清洁部，所述第一清洁部设置在所述承载组件上，所述第一清洁部包括用于清洁所述反光板的刷子。


4.根据权利要求3所述的清洁机构，其特征在于，所述第一清洁部还包括：
机械臂，所述机械臂设置在所述承载组件上，所述刷子设置在所述机械臂远离所述承载组件的一端；
其中，所述机械臂可活动地设置，以驱动所述刷子相对于所述反光板移动。


5.根据权利要求4所述的清洁机构，其特征在于，所述第一清洁部还包括：
控制模块，所述控制模块设置在所述承载组件上，所述控制模块与所述机械臂相连接，以控制所述机械臂相对于所述反光板活动。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：路通，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34