一种真空镀膜机的密封门控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的密封门控制装置，属于机械技术领域；其技术方案要点是包括设于真空罩上端的控制组件；控制组件包括转动板以及能够驱动转动板转动的驱动电机，转动板的形状为扇形；转动板靠近自身圆心的一端靠近驱动电机设置，转动板上开设有两个滑槽；第一密封门和第二密封门的上端均固定连接竖轴，竖轴处于滑槽内。本实用新型专利技术解决了常规的真空镀膜机密封门打开采用人工影响工作效率的问题，达到了方便密封门打开，提高了工作效率的效果。

A control device of sealing door of vacuum coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的密封门控制装置
本技术涉及机械
，更具体的说，它涉及一种真空镀膜机的密封门控制装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现可参考授权公告号为CN203613254U的中国技术专利，其公开了一种真空镀膜机，属于机械
它解决了现有的真空镀膜机产能不高的问题。本真空镀膜机，包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统，真空罩内设置有伞架和蒸发源，伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架，工件架分别与转盘通过各自转轴相连，工件架沿转盘周向呈伞状分布，本真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴的中心线转动的驱动机构。现在常见的真空镀膜机的两扇密封门均采用人工打开方式，需要人工去对密封门进行固定密封，对工作效率造成了影响。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的密封门控制装置，其通过控制组件能够同时控制第一密封门和第二密封门本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的密封门控制装置，包括真控罩以及铰接在真空罩（1）上的第一密封门（2）和第二密封门（3），其特征在于：还包括设于真空罩（1）上端的控制组件（4）；/n控制组件（4）包括转动板（41）以及能够驱动转动板（41）转动的驱动电机（42），转动板（41）的形状为扇形；/n转动板（41）靠近自身圆心的一端靠近驱动电机（42）设置，转动板（41）上开设有两个滑槽（43）；/n第一密封门（2）和第二密封门（3）的上端均固定连接竖轴（21），竖轴（21）处于滑槽（43）内。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的密封门控制装置，包括真控罩以及铰接在真空罩（1）上的第一密封门（2）和第二密封门（3），其特征在于：还包括设于真空罩（1）上端的控制组件（4）；
控制组件（4）包括转动板（41）以及能够驱动转动板（41）转动的驱动电机（42），转动板（41）的形状为扇形；
转动板（41）靠近自身圆心的一端靠近驱动电机（42）设置，转动板（41）上开设有两个滑槽（43）；
第一密封门（2）和第二密封门（3）的上端均固定连接竖轴（21），竖轴（21）处于滑槽（43）内。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置，其特征在于：所述竖轴（21）上套设有转筒（22），转筒（22）和竖轴（21）转动连接，使转筒（22）能够沿着自身的轴线转动，转筒（22）和滑槽（43）的侧壁相切。


3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置，其特征在于：所述竖轴（21）的上端设有圆盘（5），圆盘（5）的下端固...

【专利技术属性】
技术研发人员：全斌，
申请(专利权)人：协荣精密器件东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44