一种真空镀膜机的密封门控制装置制造方法及图纸

技术编号:23898575 阅读:84 留言:0更新日期:2020-04-22 09:43
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的密封门控制装置,属于机械技术领域;其技术方案要点是包括设于真空罩上端的控制组件;控制组件包括转动板以及能够驱动转动板转动的驱动电机,转动板的形状为扇形;转动板靠近自身圆心的一端靠近驱动电机设置,转动板上开设有两个滑槽;第一密封门和第二密封门的上端均固定连接竖轴,竖轴处于滑槽内。本实用新型专利技术解决了常规的真空镀膜机密封门打开采用人工影响工作效率的问题,达到了方便密封门打开,提高了工作效率的效果。

A control device of sealing door of vacuum coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的密封门控制装置
本技术涉及机械
,更具体的说,它涉及一种真空镀膜机的密封门控制装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。现可参考授权公告号为CN203613254U的中国技术专利,其公开了一种真空镀膜机,属于机械
它解决了现有的真空镀膜机产能不高的问题。本真空镀膜机,包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统,真空罩内设置有伞架和蒸发源,伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架,工件架分别与转盘通过各自转轴相连,工件架沿转盘周向呈伞状分布,本真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴的中心线转动的驱动机构。现在常见的真空镀膜机的两扇密封门均采用人工打开方式,需要人工去对密封门进行固定密封,对工作效率造成了影响。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的密封门控制装置,其通过控制组件能够同时控制第一密封门和第二密封门的打开,从而实现了密封门的机械控制,提高工作效率的目的。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种真空镀膜机的密封门控制装置,包括真控罩以及铰接在真空罩上的第一密封门和第二密封门,还包括设于真空罩上端的控制组件;控制组件包括转动板以及能够驱动转动板转动的驱动电机,转动板的形状为扇形;转动板靠近自身圆心的一端靠近驱动电机设置,转动板上开设有两个滑槽;<br>第一密封门和第二密封门的上端均固定连接竖轴,竖轴处于滑槽内。通过采用上述技术方案,驱动电机控制转动板转动,第一密封门和第二密封门上的竖轴分别处于两个滑槽内,转动板能够带动两个密封门同时运动,且运动的方向相同,故能够控制第一密封门打开,第二密封门闭合或者第二密封门打开,第一密封门闭合,采用机械控制,能够提高工作效率,还能够使第一密封门或第二密封门密封的更加紧密。本技术进一步设置为:所述竖轴上套设有转筒,转筒和竖轴转动连接,使转筒能够沿着自身的轴线转动,转筒和滑槽的侧壁相切。通过采用上述技术方案,转筒能够转动,则转筒和滑槽侧壁之间的摩擦力为滚动摩擦,进而能够使竖轴在滑槽运动的更加流畅,进而使转动板和竖轴之间不会产生卡壳。本技术进一步设置为:所述竖轴的上端设有圆盘,圆盘的下端固定连接有竖杆,竖杆的下端插入竖轴内且和竖轴螺纹连接,圆盘和转动板的上表面贴合。通过采用上述技术方案,圆盘能够对滑槽进行遮挡,避免转动板的端部发生翘起,能够防止转动板和转筒分离,且方便转动板的拆卸,能够对达到使用寿命的转动板进行更换。本技术进一步设置为:所述圆盘和转动板贴合的表面上嵌设有多个均匀分布的滚珠。通过采用上述技术方案,滚珠能够减少圆盘和转动板之间的摩擦力,进而使圆盘不会随着转动板转动,且不会对转动板的转动造成影响,还能够避免圆盘和竖轴分离。本技术进一步设置为:所述转动板靠近驱动电机的一端下表面设有转盘,转盘和转动板栓接,转盘和驱动电机的输出轴固定连接。通过采用上述技术方案,方便转动板和驱动电机的拆卸,且能够使转动板和驱动电机连接的更加稳定,提高工作的效率。本技术进一步设置为:所述转动板上开设有空腔,空腔内部固定连接有多个加固板。通过采用上述技术方案,能减轻转动板整理的重量,加固板能够提高转动板抗形变的性能,进而提高转动板的使用寿命。本技术进一步设置为:所述转动板的上表面设有能够对滑槽进行遮挡的防护罩。通过采用上述技术方案,防护罩能够对防止异物落在滑槽处,进而避免异物对滚珠的转动造成影响,能够防止滚珠卡住,进而能够使圆盘和转动板正常运行。综上所述,本技术相比于现有技术具有以下有益效果:1.转动板通过两个错位平行的滑槽和第一密封门以及第二密封门连接,第一密封门和第二密封门上固定连接有能够进入滑槽的竖轴,转动板能够同时控制第一密封门和第二密封门打开或闭合,不用工人去依次打开闭合,能够提高工作的效率;2.竖轴上套设有转筒,转筒和竖轴转动连接,竖转筒能够沿着自身的轴线转动,转筒和滑槽的内壁相切,故转筒和滑槽的内壁之间为滚动摩擦,能够转动盘运动的过程中更加流畅,避免竖轴和转动板之间发生卡壳。附图说明图1是实施例的结构图;图2是实施例中突显竖轴的爆炸图;图3是图2中A部放大图;图4是实施例中突显滚珠的爆炸图;图5是图4中B部放大图。图中:1、真空罩;11、竖板;2、第一密封门;21、竖轴;22、转筒;3、第二密封门;4、控制组件;41、转动板;42、驱动电机;421、转盘;422、连接螺栓;43、滑槽;44、空腔;45、加固板;5、圆盘;51、竖杆;52、滚珠;6、防护罩;61、固定螺栓。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。实施例:一种真空镀膜机的密封门控制装置,如图1所示,包括真空罩1、铰接真空罩1上的半圆形的第一密封门2以及第二密封门3;真空罩1上还设有控制组件4,控制组件4控制第一密封门2以及第二密封门3同时运动,使第一密封门2打开的同时,第二密封门3扣合在真空罩1上,不需要去人工操作,能够提高工作的效率。如图2和图3所示,控制组件4包括扇形的转动板41以及驱动转动板41转动的驱动电机42;转动板41上开设有两个长条形的滑槽43,第一密封门2以及第二密封门3的上端均固定连接有竖轴21,竖轴21处于滑槽43内,且能够在滑槽43内滑动;驱动电机42控制转动板41转动,转动板41能够带动第一密封门2以及第二密封门3向同一个方向做轨迹为弧形的运动,能够控制第一密封门2打开的同时,控制第二密封门3扣合在真空罩1上,提高工作的效率。如图1和图2所示,转动板41上开设有空腔44,空腔44的内部固定连接有多个加固板45,空腔44能够减少转动板41整体的重量,加固板45能够提高转动板41的强度,进而减少转动板41发生变形的概率。如图1和图2所示,真空罩1上固定连接有竖板11,驱动电机42竖直向下固定连接在竖板11上,驱动电机42的输出轴上固定连接有转盘421,转盘421上插接有多个连接螺栓422,连接螺栓422的下端喝转动板41螺纹连接,从而使转动板41喝转盘421栓接,方便转动板41的固定和拆卸,便于对转动板41进行更换。如图3和图4所示,竖轴21上套设有转筒22,转筒22和竖轴21转动连接,使转筒22能够沿着自身轴线欢动,转筒22和滑槽43相切,能够使竖轴21和滑槽43之间的摩擦力变成滚动摩擦,能够使转动板41更好的控制第一密封门2和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的密封门控制装置,包括真控罩以及铰接在真空罩(1)上的第一密封门(2)和第二密封门(3),其特征在于:还包括设于真空罩(1)上端的控制组件(4);/n控制组件(4)包括转动板(41)以及能够驱动转动板(41)转动的驱动电机(42),转动板(41)的形状为扇形;/n转动板(41)靠近自身圆心的一端靠近驱动电机(42)设置,转动板(41)上开设有两个滑槽(43);/n第一密封门(2)和第二密封门(3)的上端均固定连接竖轴(21),竖轴(21)处于滑槽(43)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的密封门控制装置,包括真控罩以及铰接在真空罩(1)上的第一密封门(2)和第二密封门(3),其特征在于:还包括设于真空罩(1)上端的控制组件(4);
控制组件(4)包括转动板(41)以及能够驱动转动板(41)转动的驱动电机(42),转动板(41)的形状为扇形;
转动板(41)靠近自身圆心的一端靠近驱动电机(42)设置,转动板(41)上开设有两个滑槽(43);
第一密封门(2)和第二密封门(3)的上端均固定连接竖轴(21),竖轴(21)处于滑槽(43)内。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述竖轴(21)上套设有转筒(22),转筒(22)和竖轴(21)转动连接,使转筒(22)能够沿着自身的轴线转动,转筒(22)和滑槽(43)的侧壁相切。


3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述竖轴(21)的上端设有圆盘(5),圆盘(5)的下端固...

【专利技术属性】
技术研发人员:全斌
申请(专利权)人:协荣精密器件东莞有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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