一种制备高纯度二氧化硫气体的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种制备高纯度二氧化硫气体的装置，包括依次相接的工业二氧化硫钢瓶、预冷器、吸附床、精密过滤器、液化器、精馏塔、产品储罐，其特征在于：所述的吸附床有四个通过管道及阀门连接成相互串联连接或相互并联连接的多次吸附床组，精馏塔上部设有换热器，换热冷凝提纯后的二氧化硫设有返回精馏塔中部的通道和通往产品储罐的通道，冷凝器顶部设有排空通道，排空通道另一端与碱液吸收装置相接，液化器与换热器之间接有冷冻机。具有工艺操作简单、成本低廉等优点，可实现工业化生产的4N、5N纯度二氧化硫气体。

【技术实现步骤摘要】
一种制备高纯度二氧化硫气体的装置
本技术涉及一种制备高纯度二氧化硫气体的装置，
技术介绍
目前二氧化硫气体除了在工业原料、漂白剂行业中继续发挥重要作用外，近年来在电子、半导体行业也是迅猛发展，其主要用于显像管制造等。目前市场上二氧化硫均为工业级二氧化硫，纯度最高为99.97％，控制指标为水和残渣，无法满足电子、半导体行业对高纯二氧化硫的需求。中国专利号CN201310004486.1指出，将含有水分的二氧化硫引入进气口，在干燥螺杆的作用下，二氧化硫中的水分被干燥螺杆中的干燥剂CaCl2固体粉末吸收，干燥的二氧化硫通过排气口排出，吸水的CaCl2固体粉末经过加热脱水实现连续循环利用。但该专利方法和装置所得二氧化硫的含水率只能达到0.15wt％，不适用高纯二氧化硫的生产。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种适用高纯二氧化硫的生产装置。本技术目的技术解决方案为：一种制备高纯度二氧化硫气体的装置，包括依次相接的工业二氧化硫钢瓶、预冷器、吸附床、精密过滤器、液化器、精馏塔、产品储罐，其特征在于：所述的吸附床有四个，四本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备高纯度二氧化硫气体的装置，包括依次相接的工业二氧化硫钢瓶(1)、预冷器(2)、吸附床(3)、精密过滤器(4)、液化器(5)、精馏塔(7)、产品储罐(10)，其特征在于：/n所述的吸附床(3)有四个，四个吸附床(3)通过管道及阀门连接成相互串联连接或相互并联连接的多次吸附床组；/n所述的精馏塔(7)上部设有换热器(8)，换热冷凝提纯后的二氧化硫设有返回精馏塔(7)中部的通道和通往产品储罐的通道，换热器(8)顶部设有排空通道(9)，排空通道(9)另一端与碱液吸收装置(11)相接；/n所述的液化器(5)与换热器(8)之间接有冷冻机(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种制备高纯度二氧化硫气体的装置，包括依次相接的工业二氧化硫钢瓶(1)、预冷器(2)、吸附床(3)、精密过滤器(4)、液化器(5)、精馏塔(7)、产品储罐(10)，其特征在于：
所述的吸附床(3)有四个，四个吸附床(3)通过管道及阀门连接成相互串联连接或相互并联连接的多次吸附床组；
所述的精馏塔(7)上部设有换热器(8)，换热冷凝提纯后的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵毅，赵趫，王天源，刘颖，冯凯，计燕秋，张琳，
申请(专利权)人：大连科利德光电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21