处理液容置装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种处理液容置装置，该装置包括一槽体、一防漏单元和一冷液传输单元。槽体容置一处理液。防漏单元设置于槽体上侧。冷液传输单元供一冷却液流通，冷液传输单元包括一管体组、一第一固定端以及一第二固定端，管体组设置于槽体内，第一固定端以及第二固定端为管体组两侧且和防漏单元连接。当冷却液由第一固定端或第二固定端中的至少之一泄漏时，冷却液流至防漏单元。

【技术实现步骤摘要】
处理液容置装置
本技术涉及一种处理液容置装置，特别涉及一种可以避免处理液被漏液污染，且可以立即检知漏液的处理液容置装置。
技术介绍
在保存半导体制程所需的化学药液时，通常会将化学药液存放在具有冷却功效的处理液槽中，以避免化学药液受到高温影响而变质。如图1所示，一般的处理液槽900具有一槽体910和一U型的冷却液管920。槽体910用来存放化学药液。U型的冷却液管920的两端连接槽体910的顶部，冷却液管920内部设有冷却液；如此一来，槽体910内的化学药液可接触冷却液管920表面而降温。然而，U型的冷却液管920和槽体910的顶部的连接点可能因为熔接不确实或强度不足，使得冷却液管920和槽体910顶部的连接点逐渐松脱而造成漏液，让槽体910内的化学药液浓度改变而影响制程良率；另外，连接点松脱而造成的漏液往往无法立即被检知，故无法及时通报工作人员来维修处理液槽900。因此，有必要提供一种可以避免化学药液被漏液污染，并且可以立即检知漏液的处理液槽。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种可以避免处理液被漏液污染，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种处理液容置装置，其特征在于，包括：/n一槽体，容置一处理液；/n一防漏单元，设置于该槽体上侧；以及/n一冷液传输单元，供一冷却液流通，该冷液传输单元包括一管体组、一第一固定端以及一第二固定端，该管体组设置于该槽体内，该第一固定端以及该第二固定端为该管体组两侧且和该防漏单元连接；/n其中，当该冷却液由该第一固定端或该第二固定端中的至少之一泄漏时，该冷却液流至该防漏单元。/n

【技术特征摘要】
20190509 US 62/845,3601.一种处理液容置装置，其特征在于，包括：
一槽体，容置一处理液；
一防漏单元，设置于该槽体上侧；以及
一冷液传输单元，供一冷却液流通，该冷液传输单元包括一管体组、一第一固定端以及一第二固定端，该管体组设置于该槽体内，该第一固定端以及该第二固定端为该管体组两侧且和该防漏单元连接；
其中，当该冷却液由该第一固定端或该第二固定端中的至少之一泄漏时，该冷却液流至该防漏单元。


2.根据权利要求1所述的处理液容置装置，其特征在于，该管体组包括多个子管体，该冷液传输单元还包括一间隔板，该间隔板包括多个穿孔，该多个穿孔相互间隔；该多个子管体穿设于该多个穿孔中，以使该冷却液流过该多个子管体时，提高该多个子管体与该处理液的一冷热交换面积。


3.根据权利要求2所述的处理液容置装置，其特征在于，该防漏单元包括一第一隔离槽以及一第二隔离槽，该第一固定端设置于该第一隔离槽且和一冷却液供应管连通，该第二固定端设置于该第二隔离槽且和一冷却液排出管连通。


4.根据权利要求3所述的处理液容置装置，其特征在于，该管体组环绕状地设置于该槽体内，以使该管体组具有至少一相交点。


5.根据权利要求4所述的处理液容置装置，其特征在于，该防漏单元包括一第一液体检测件以及一第二液体检测件，该第一液体检测件设置于该第一隔离槽，该第二液体检测件设置于该第二隔离槽，以各自检测判断该第一固定端和该第二固定端是否发生漏液。


6.根据权利要求5所述的处理液容置装置，其特征在于，该防漏单元包括一第一排液管以及一第二排液管，该第一排液管和该第一隔离槽连通，该第二排液管和该第二隔离槽连通；当该冷却液由该第一固定端或该第二固定端中的至少一者泄漏时，该冷却液自该第一排液管或该第二排液管排出。


7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯傳彰，郭承玮，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71