一种晶圆框架平整度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于平整度检测技术领域，尤其为一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体和摄像组件，所述平整度检测仪主体和摄像组件之间通过线缆电性连接，所述摄像组件包括握柄和摄像头，所述握柄和摄像头之间连接有定位机构，定位机构包括连接架、活动槽、压板、压缩弹簧、手拧螺杆、橡胶缓冲垫和刻度板；通过定位机构连接的握柄和摄像头，摄像头表面固定的刻度板安装在连接架的内部，同时手拧螺杆的一端旋合嵌入到连接架的内部，且手拧螺杆通过轴承与压板转动连接，同时压板表面粘合的橡胶缓冲垫与刻度板接触，便于刻度板通过压板、手拧螺杆和橡胶缓冲垫固定在连接架的内部，增加了握柄和摄像头连接的便捷性。

A flatness testing device for wafer frame

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆框架平整度检测装置
本技术属于平整度检测
，具体涉及一种晶圆框架平整度检测装置。
技术介绍
晶圆框架平整度检测装置，是用于对晶圆框架表面的平整度进行检测，通过摄像头观察沟槽，使得拍摄的画面通过线缆传输给平整度检测仪主体，通过平整度检测仪主体对画面进行分析，晶圆框架在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆框架来搬运和储存晶圆，使得对框架内部沟槽平整度要求高，传统的晶圆框架内部的沟槽难以观测，造成沟槽平整度检测难度加大，同时检测耗费时间的问题。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种晶圆框架平整度检测装置，具有晶圆框架沟槽检测便捷，耗费时间少的特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体和摄像组件，所述平整度检测仪主体和摄像组件之间通过线缆电性连接，所述摄像组件包括握柄和摄像头，所述握柄和摄像头之间连接有定位机构，定位机构包括连接架、活动槽、压板、压缩弹簧、手拧螺杆、橡胶缓冲垫和刻度板，所述连接架焊接在握柄的一端，所述活动槽开设在连接架的内部，所述活动槽的内部固定有压缩弹簧，所述压板通过压缩弹簧活动安装在活动槽的内部，所述手拧螺杆旋合嵌入到连接架的内部，且所述手拧螺杆的下端通过轴承与压板转动连接，所述橡胶缓冲垫粘合在压板的一端，所述刻度板的一端固定在摄像头的表面，所述刻度板的另一端插入到连接架的内部并与橡胶缓冲垫接触。作为本技术的一种晶圆框架平整度检测装置优选技术方案，所述摄像头端部的两侧表面均固定有沟槽探杆，所述摄像头的侧表面安装有限位橡胶轮。作为本技术的一种晶圆框架平整度检测装置优选技术方案，所述沟槽探杆的端部距摄像头端部的水平距离为3cm，所述沟槽探杆的端部距限位橡胶轮端部的水平距离为2cm。作为本技术的一种晶圆框架平整度检测装置优选技术方案，所述握柄端部通过定位机构连接的摄像头共设置有两个，两个所述摄像头关于握柄的中轴线对称。作为本技术的一种晶圆框架平整度检测装置优选技术方案，所述压板为桶状结构，所述压缩弹簧为螺旋状结构，且所述压缩弹簧的一端焊接在压板的外表面，所述压缩弹簧的另一端焊接在活动槽的表面。作为本技术的一种晶圆框架平整度检测装置优选技术方案，所述橡胶缓冲垫为圆形结构，且所述橡胶缓冲垫的下表面等间距开设有凹槽。作为本技术的一种晶圆框架平整度检测装置优选技术方案，所述刻度板为条形板状结构，且所述刻度板的表面等间开设有刻度线。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、通过定位机构连接的握柄和摄像头，摄像头表面固定的刻度板安装在连接架的内部，同时手拧螺杆的一端旋合嵌入到连接架的内部，且手拧螺杆通过轴承与压板转动连接，同时压板表面粘合的橡胶缓冲垫与刻度板接触，便于刻度板通过压板、手拧螺杆和橡胶缓冲垫固定在连接架的内部，增加了握柄和摄像头连接的便捷性，同时活动槽和压板之间焊接的压缩弹簧，便于手拧螺杆回旋时，压板在活动槽的内部复位，增加了刻度板在连接架内部角度调节的便捷性，减少了沟槽平整度检测的时间。2、通过摄像头表面固定的沟槽探杆，使得摄像组件在晶圆框架内移动时，沟槽探杆在框架滑槽的内部移动，便于摄像头对框架滑槽进行检测，同时摄像头表面固定的限位橡胶轮在框架的内表面移动，使得摄像头通过限位橡胶轮进行限位，提高了摄像头与框架滑槽相对移动时间距保持的一致性，提高了框架滑槽的平整度检测的精度，提高了晶圆框架平整度检测的便捷性。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中的摄像组件结构示意图；图3为图2中A-A线的剖面结构示意图；图4为本技术中的结构示意图；图中：1、平整度检测仪主体；2、摄像组件；3、握柄；4、摄像头；5、连接架；6、活动槽；7、压板；8、压缩弹簧；9、手拧螺杆；10、橡胶缓冲垫；11、刻度板；12、沟槽探杆；13、限位橡胶轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体1和摄像组件2，平整度检测仪主体1和摄像组件2之间通过线缆电性连接，摄像组件2包括握柄3和摄像头4，握柄3和摄像头4之间连接有定位机构，定位机构包括连接架5、活动槽6、压板7、压缩弹簧8、手拧螺杆9、橡胶缓冲垫10和刻度板11，连接架5焊接在握柄3的一端，活动槽6开设在连接架5的内部，活动槽6的内部固定有压缩弹簧8，压板7通过压缩弹簧8活动安装在活动槽6的内部，手拧螺杆9旋合嵌入到连接架5的内部，且手拧螺杆9的下端通过轴承与压板7转动连接，橡胶缓冲垫10粘合在压板7的一端，刻度板11的一端固定在摄像头4的表面，刻度板11的另一端插入到连接架5的内部并与橡胶缓冲垫10接触。本实施方案中，通过定位机构连接的握柄3和摄像头4，摄像头4表面固定的刻度板11安装在连接架5的内部，同时手拧螺杆9的一端旋合嵌入到连接架5的内部，且手拧螺杆9通过轴承与压板7转动连接，同时压板7表面粘合的橡胶缓冲垫10与刻度板11接触，便于刻度板11通过压板7、手拧螺杆9和橡胶缓冲垫10固定在连接架5的内部，增加了握柄3和摄像头4连接的便捷性，同时活动槽6和压板7之间焊接的压缩弹簧8，便于手拧螺杆9回旋时，压板7在活动槽6的内部复位，增加了刻度板11在连接架5内部角度调节的便捷性。具体的，摄像头4端部的两侧表面均固定有沟槽探杆12，摄像头4的侧表面安装有限位橡胶轮13，沟槽探杆12的端部距摄像头4端部的水平距离为3cm，沟槽探杆12的端部距限位橡胶轮13端部的水平距离为2cm。本实施例中，通过摄像头4表面固定的沟槽探杆12，使得摄像组件2在晶圆框架内移动时，沟槽探杆12在框架滑槽的内部移动，便于摄像头4对框架滑槽进行检测，同时摄像头4表面固定的限位橡胶轮13在框架的内表面移动，使得摄像头4通过限位橡胶轮13进行限位，提高了摄像头4与框架滑槽相对移动时间距保持的一致性，提高了框架滑槽的平整度检测的精度，提高了晶圆框架平整度检测的便捷性。具体的，握柄3端部通过定位机构连接的摄像头4共设置有两个，两个摄像头4关于握柄3的中轴线对称。本实施例中，通过两个摄像头4关于握柄3的中轴线对称，便于两个对称的摄像头4对框架内部的沟槽进行检测。具体的，压板7为桶状结构，压缩弹簧8为螺旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体(1)和摄像组件(2)，其特征在于：所述平整度检测仪主体(1)和摄像组件(2)之间通过线缆电性连接，所述摄像组件(2)包括握柄(3)和摄像头(4)，所述握柄(3)和摄像头(4)之间连接有定位机构，定位机构包括连接架(5)、活动槽(6)、压板(7)、压缩弹簧(8)、手拧螺杆(9)、橡胶缓冲垫(10)和刻度板(11)，所述连接架(5)焊接在握柄(3)的一端，所述活动槽(6)开设在连接架(5)的内部，所述活动槽(6)的内部固定有压缩弹簧(8)，所述压板(7)通过压缩弹簧(8)活动安装在活动槽(6)的内部，所述手拧螺杆(9)旋合嵌入到连接架(5)的内部，且所述手拧螺杆(9)的下端通过轴承与压板(7)转动连接，所述橡胶缓冲垫(10)粘合在压板(7)的一端，所述刻度板(11)的一端固定在摄像头(4)的表面，所述刻度板(11)的另一端插入到连接架(5)的内部并与橡胶缓冲垫(10)接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体(1)和摄像组件(2)，其特征在于：所述平整度检测仪主体(1)和摄像组件(2)之间通过线缆电性连接，所述摄像组件(2)包括握柄(3)和摄像头(4)，所述握柄(3)和摄像头(4)之间连接有定位机构，定位机构包括连接架(5)、活动槽(6)、压板(7)、压缩弹簧(8)、手拧螺杆(9)、橡胶缓冲垫(10)和刻度板(11)，所述连接架(5)焊接在握柄(3)的一端，所述活动槽(6)开设在连接架(5)的内部，所述活动槽(6)的内部固定有压缩弹簧(8)，所述压板(7)通过压缩弹簧(8)活动安装在活动槽(6)的内部，所述手拧螺杆(9)旋合嵌入到连接架(5)的内部，且所述手拧螺杆(9)的下端通过轴承与压板(7)转动连接，所述橡胶缓冲垫(10)粘合在压板(7)的一端，所述刻度板(11)的一端固定在摄像头(4)的表面，所述刻度板(11)的另一端插入到连接架(5)的内部并与橡胶缓冲垫(10)接触。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述摄像头(4)端部的两侧表面均固定有沟槽探杆(12)，所述摄像头(4)的侧表面安装有限位橡胶轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，
申请(专利权)人：江苏斯米克电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32