色阻堆叠结构和显示面板制造技术

一种色阻堆叠结构和显示面板。所述色阻堆叠结构包括:基板、第一色阻层和第二色阻层；其中，所述第一色阻层和所述第二色阻层依序层叠在所述基板上，且所述第二色阻层的侧面具有阶梯状结构。本揭示在不增加阵列聚合物膜(PFA)的膜厚和所述第二色阻层的关键尺寸下，通过将所述第二色阻层分段设计，进而减缓阵列聚合物膜(PFA)的流失而实现减小刻穿的风险及避免污染后续制程设备。

Color resist stack structure and display panel

【技术实现步骤摘要】
色阻堆叠结构和显示面板
本揭示涉及显示
，特别涉及一种色阻堆叠结构和显示面板。
技术介绍
阵列聚合物膜(PolymerFilmonArray,PFA)材料和色阻堆叠被广泛用于显示面板中。随着面板尺寸增大，面板信号线路膜厚增大，PFA凭借其优良的流平性被广泛用来改善平坦性、改善液晶倒向、提升液晶效率和改善对比。黑色隔垫物(BlackPhotoSpacer,BPS)技术有助于节省制程，缩短产品生产流程和提升效率。堆叠色阻作为隔垫物(PhotoSpacer,PS)再搭配PFA制程是非常有前景的BPS技术,且广泛开发中。以堆叠色阻作为PS需要该堆叠色阻的上底关键尺寸(CriticalDimension,CD)小，堆叠高度高。然而，如图1所示，图1显示根据现有技术的色阻堆叠结构的结构示意图。第一色阻层102和第二色阻层103依序层迭在基板101上，目前大量实验发现，小CD且高度高的堆叠色阻会发生涂覆其上的PFA104容易从上面往下流，导致后续干燥时被刻穿的风险。且PFA刻穿会造成其下面的色阻污染到后续制程设备，因此急需解决。最直接的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种色阻堆叠结构，其特征在于，包括:/n基板；/n第一色阻层；和/n第二色阻层；其中，所述第一色阻层和所述第二色阻层依序层叠在所述基板上，且所述第二色阻层的侧面具有阶梯状结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种色阻堆叠结构，其特征在于，包括:
基板；
第一色阻层；和
第二色阻层；其中，所述第一色阻层和所述第二色阻层依序层叠在所述基板上，且所述第二色阻层的侧面具有阶梯状结构。


2.如权利要求1所述的色阻堆叠结构，其特征在于，所述阶梯状结构包含2个以上的台阶。


3.如权利要求2所述的色阻堆叠结构，其特征在于，所述台阶表面具有凹槽。


4.如权利要求2所述的色阻堆叠结构，其特征在于，每一个所述台阶的宽度为2μm～8μm，且高度为0.3μm～0.5μm。


5.如权利要求3所述的色阻堆叠结构，其特征在于，所述凹槽的宽度为1μm...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞云，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44