一种缩短了退火周期罩式退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种缩短了退火周期罩式退火炉，包括底座，所述底座顶壁固定连接有冷却罩，底座顶壁活动连接有转动杆，所述转动杆外壁的底部固定连接有把手，把手的外部边缘贯穿设有限位杆，所述转动杆外壁的顶部固定连接有套筒，所述套筒外壁的左、右两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆远离套筒的一端底壁固定连接有电动绞盘，所述冷却罩的内顶壁固定连接有水冷却机构，所述内罩的外壁开设有沟槽。本实用新型专利技术涉及热处理设备技术领域。该缩短了退火周期罩式退火炉，通过设置有转动杆和限位杆，可以很便捷的实现加热罩和冷却罩的调换以及位置的固定，通过设置有水冷却机构以及沟槽，散热效果更好，大大缩短了退火周期。

A bell type annealing furnace with shorter annealing period

【技术实现步骤摘要】
一种缩短了退火周期罩式退火炉
本技术涉及热处理设备
，具体为一种缩短了退火周期罩式退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，罩式退火炉主要用于在自然气氛中进行薄板材退火以及钢件的正火处理。现有的罩式退火炉的工作流程中涉及到加热罩和冷却罩的调换，通常由人为的使用吊装机器进行加热罩和冷却罩的调换，在调换过程中需要定位以及安装固定，大大浪费了工作时间，降低了工作料率，且存在一定安全隐患，同时冷却罩通常采用在其顶部安装喷淋来进行冷却，但是喷淋而下的水无法均匀的分散到内罩的表面，存在冷却不均匀的情况，大大增加了退火周期，为此我们设计出一种缩短了退火周期罩式退火炉，来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种缩短了退火周期罩式退火炉，解决了现有的罩式退火炉的工作流程中涉及到加热罩和冷却罩的调换，通常由人为的使用吊装机器进行加热罩和冷却罩的调换，在调换过程中需要定位以及安装固定，大大浪费了工作时间，降低了工作料率，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缩短了退火周期罩式退火炉，包括底座(1)，所述底座(1)的顶壁固定连接有炉台(2)，所述炉台(2)的顶壁中心固定连接有内罩(3)，所述内罩(3)的外部套设有加热罩(4)，所述加热罩(4)的两侧固定连接有导向杆(5)，所述底座(1)顶壁的右侧固定连接有冷却罩(6)，其特征在于：所述底座(1)顶壁的中部竖直方向上活动连接有转动杆(8)，所述转动杆(8)外壁的底部固定连接有把手(9)，所述把手(9)的外部边缘贯穿设有限位杆(10)，所述转动杆(8)外壁的顶部固定连接有套筒(11)，所述套筒(11)外壁的左、右两侧均固定连接有连接杆(12)，所述连接杆(12)远离套筒(11)的一端底壁固定连接...

【技术特征摘要】
1.一种缩短了退火周期罩式退火炉，包括底座(1)，所述底座(1)的顶壁固定连接有炉台(2)，所述炉台(2)的顶壁中心固定连接有内罩(3)，所述内罩(3)的外部套设有加热罩(4)，所述加热罩(4)的两侧固定连接有导向杆(5)，所述底座(1)顶壁的右侧固定连接有冷却罩(6)，其特征在于：所述底座(1)顶壁的中部竖直方向上活动连接有转动杆(8)，所述转动杆(8)外壁的底部固定连接有把手(9)，所述把手(9)的外部边缘贯穿设有限位杆(10)，所述转动杆(8)外壁的顶部固定连接有套筒(11)，所述套筒(11)外壁的左、右两侧均固定连接有连接杆(12)，所述连接杆(12)远离套筒(11)的一端底壁固定连接有电动绞盘(13)，所述冷却罩(6)的内顶壁固定连接有水冷却机构(14)，所述水冷却机构(14)包括环形管(15)，所述环形管(15)的内壁焊接有八个连接管(16)，所述连接管(16)的焊接有喷头(17)，所述内罩(3)的外壁开设有沟槽(18)。

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晟，韩新明，高庆利，谢长青，陆晨超，
申请(专利权)人：天津市三木森电炉股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12