一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，涉及安全储气技术领域，解决了现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题，其技术要点是：包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统；本实用新型专利技术通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜完成特殊气体安全存储的工作，相对于现有技术，本实用新型专利技术气体存储更低，存储方式更方便便捷。

A special gas safe storage device for electronic factory

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置
本技术涉及安全储气
，尤其涉及一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置。
技术介绍
半导体芯片：在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料；在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气系统，这些特殊供应气体如果发生泄漏，会污染环境，因此，在供气系统中特殊气体储气瓶的存放地点是十分重要的，现有技术中，这种特殊气体的存放一般专门建造一个储气用的房间，该房间内部建造有空气循环净化系统，但是，专门建造储气用的房间需要大量的成本，而且房间不易移动，造成了储气瓶运输的不方便，因此，我们提出了一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统，以解决现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统。作为本技术进一步的方案，柜门的底部设有进风口。作为本技术进一步的方案，柜体的顶部设有用于测试柜体内的压力的负压表。作为本技术进一步的方案，柜体的底部铰接有踏板。作为本技术进一步的方案，踏板表面涂覆有防止踏板与气瓶碰撞后产生火花的防撞层。作为本技术进一步的方案，柜门上还设有观察窗，观察窗上固定连接有钢化玻璃窗。综上所述，本技术与现有技术相比具有以下有益效果：本技术通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜完成特殊气体安全存储的工作，相对于现有技术，本技术气体存储更低，存储方式更方便便捷。附图说明图1为用于电子工厂的特殊气体安全存储装置的结构示意图。图2为用于电子工厂的特殊气体安全存储装置的主视图。附图标记：1-柜体，2-柜门，21-观察窗，22-进风口，3-气瓶固定机构，4-负压表，5-风阀，6-踏板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1由图1～图2所示，一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体1和柜门2，柜门2铰接在柜体1上，柜体1内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构3，柜体1上设置有风阀5，风阀5与柜体1内部连通，且风阀5通过气管连接尾气处理系统；柜体1的主体结构由方管焊接而成，方管表面固定连接有钢板，且钢板之间密封连接，用于防止特殊气体产生泄漏后逸散到空气中；柜门2的底部设有进风口22，用于进风，使得柜体1内形成空气流通，进而使特殊气体泄漏时可以及时的将特殊气体吸走，气瓶固定机构3为现有技术中钢瓶的固定结构，气瓶固定机构3通过螺钉固定连接在柜体1的内部；风阀5为现有技术，柜体1贮藏钢瓶时风阀5处于工作状态，用于将柜体1内的气体吸走，从而使得柜体1内形成空气流通，并防止特殊气体逸散到空气中；优选的，为了便于观察柜体1内空气流通状况，柜体1的顶部还设有负压表4，负压表4用于测试柜体1内的压力，同时间接的反映风阀5的工作状况，当柜体1内负压减小或不存在负压时，说明风阀5工作出现故障，需要及时检修；踏板6铰接在柜体1的底部，踏板6为钢板，且踏板6的表面附有防撞层，本实施例中，防撞层为橡胶层，防止气瓶取下是与踏板6产生碰撞后产生火花。实施例2由图1～图2所示，一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体1和柜门2，柜门2铰接在柜体1上，柜体1内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构3，柜体1上设置有风阀5，风阀5与柜体1内部连通，且风阀5通过气管连接尾气处理系统；优选的，本实施例中，柜体1的底部还设有四个锁定式万向脚轮，用于方便柜体1的运输；柜门2上还设有观察窗21，观察窗21上固定连接有钢化玻璃窗，便于工作人员观察柜体1内气瓶存储状况；其他的和实施例1相同。综上所述，本技术的工作原理是：气瓶固定机构3用于气瓶，负压表4用于显示风阀5的工作状态，风阀5用于使柜体1内形成空气流通，使得本装置集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜，大大的减小了特殊气体存储装置的成本。需要特别说明的是，本申请中，通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜降低特殊气体存储成本为本申请的创新点，其有效解决了现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体(1)和柜门(2)，柜门(2)铰接在柜体(1)上，其特征在于，柜体(1)表面密封连接，柜体(1)内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构(3)，柜体(1)上设置有风阀(5)，风阀(5)与柜体(1)内部连通，且风阀(5)通过气管连接尾气处理系统。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体(1)和柜门(2)，柜门(2)铰接在柜体(1)上，其特征在于，柜体(1)表面密封连接，柜体(1)内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构(3)，柜体(1)上设置有风阀(5)，风阀(5)与柜体(1)内部连通，且风阀(5)通过气管连接尾气处理系统。


2.根据权利要求1所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，柜门(2)的底部设有进风口(22)。


3.根据权利要求2所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，柜体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘书田，周翔，郑少宾，魏延衍，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44