【技术实现步骤摘要】
一种多层复合材料的切割方法
本专利技术涉及材料切割
,尤其涉及一种多层复合材料的切割方法。
技术介绍
多层复合材料在半导体行业中应用广泛,常应用于指纹锁、影像传感器等应用环境。如图1所示,多层复合材料的组成主要包含芯片层400、硅层500和玻璃层700,该多层复合材料由上至下依次为阻焊油层100、金属线路层200、绝缘胶层300、芯片层400、绝缘胶层300、硅层500、环氧树脂胶水层600及玻璃层700。其中,芯片层400和金属线路层200在切割部位为间断设置,保证切割过程中芯片层400和金属线路层200不受损坏。现有技术中,常规的切割方法为一把刀具单次直接切断多层复合材料。一方面,此种切割方法在玻璃层700的切割部位加工粗糙,致使密封效果不良,空气中的雾气或者杂质容易进入玻璃内部,感应识别失效,设备故障;另一方面,由于硅材质较软,使用一把刀具进行切割容易造成硅层500开裂,破损的硅损坏芯片,成品率低;再者,一把刀具一次切割使刀的磨损严重,刀具寿命降低致使频繁换刀。上述多方面不良影响,使多层复合材料无 ...
【技术保护点】
1.一种多层复合材料的切割方法,其特征在于,包括如下步骤:/n第一刀具(20)切割多层复合材料的阻焊油层(10)和绝缘胶层(11);/n第二刀具(30)在所述第一刀具(20)切割的切割槽的基础上,切割所述多层复合材料的硅层(12);/n第三刀具(40)在所述第二刀具(30)切割的切割槽的基础上,切割所述多层复合材料的环氧树脂胶水层(13)和玻璃层(14)。/n
【技术特征摘要】
1.一种多层复合材料的切割方法,其特征在于,包括如下步骤:
第一刀具(20)切割多层复合材料的阻焊油层(10)和绝缘胶层(11);
第二刀具(30)在所述第一刀具(20)切割的切割槽的基础上,切割所述多层复合材料的硅层(12);
第三刀具(40)在所述第二刀具(30)切割的切割槽的基础上,切割所述多层复合材料的环氧树脂胶水层(13)和玻璃层(14)。
2.根据权利要求1所述的多层复合材料的切割方法,其特征在于,在所述第二刀具(30)切割所述硅层(12)之前,所述第一刀具(20)在所述硅层(12)上切割第一切口。
3.根据权利要求2所述的多层复合材料的切割方法,其特征在于,所述第一切口的深度为5μm~10μm。
4.根据权利要求2所述的多层复合材料的切割方法,其特征在于,所述第三刀具(40)分两次切割所述玻璃层(14),第一次切割所述环氧树脂胶水层(13),并在所述玻璃层(14)切割第二切口,第二次在所述第二切口的基础上切断所述玻璃层(14)。
5.根据权利要求4所述的多层复合材料的切割方法,其特征在于,采用切割设备对所述多层复合材料...
【专利技术属性】
技术研发人员:许红权,吴震,段军辉,张强,
申请(专利权)人:苏州科阳光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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