混合装置制造方法及图纸

提供混合装置，使混合装置小型化。在混合装置(1)中，混合泵(23)通过使叶片旋转而吸入从合流器(31)提供的纯水和饱和碳酸水并进行混合，由此生成纯水和饱和碳酸水的混合液，并朝向加工装置(5)排出至第2配管(22)。因此，在混合装置(1)中，能够在不具有较大的静态混合器的条件下生成混合液并输送至加工装置(5)。因此，能够使混合装置(1)小型化。另外，在混合装置(1)中，控制部(13)对基于定量泵(47)的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使电阻率计(27)所测量出的电阻率值为规定的值。由此，在混合装置(1)中，容易将混合液的电阻率值设定为适当的值。

Mixing device

【技术实现步骤摘要】
混合装置
本专利技术涉及混合装置。
技术介绍
在利用切削刀具对晶片进行切削的切削装置中，为了对因加工而发热的切削刀具进行冷却，并且将因加工而产生的加工屑从晶片上去除，一边提供加工液一边执行加工。当在半导体器件上残留有极其微量的杂质时，也会给其品质带来重大的影响，因此使用纯水作为加工液。但是，通常纯水具有10MΩ·cm以上的电阻率值，因而具有非常高的绝缘性。因此，有时由于纯水的流动所带来的摩擦而产生静电。这样的静电会成为电路元件的静电破坏以及切削屑等微粒附着于加工中的电路元件上的原因。因此，在专利文献1和2所公开的技术中，使用纯水和二氧化碳的混合液作为加工液，从而使加工液的电阻率值降低至例如0.1MΩ·cm～1MΩ·cm左右。专利文献1：日本特开2012-110817号公报专利文献2：日本特开2011-245425号公报专利文献1和2所记载的生成混合液的混合装置使用静态混合器(混合罐)将二氧化碳混合于纯水中，以使混合液中的二氧化碳浓度均匀。由于具有该静态混合器，因此存在难以使混合装置小型化的课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于使混合装置小型化。本专利技术的第1方式的混合装置(第1混合装置)提供将纯水和二氧化碳混合而成的混合液，其中，该混合装置具有：第1配管，其具有与纯水提供源连接的一端部；饱和碳酸水生成构件，其使用从二氧化碳提供源提供的二氧化碳来生成饱和碳酸水；定量泵，其将由该饱和碳酸水生成构件生成的饱和碳酸水注入至该第1配管；混合泵，其与该第1配管的另一端部连接，通过叶片的旋转而对该定量泵所注入的饱和碳酸水和从该纯水提供源提供的纯水进行混合，从而作为混合液朝向加工装置排出；电阻率计，其测量从该混合泵排出的混合液的电阻率值；以及控制部，其对基于该定量泵的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使该电阻率计所测量出的电阻率值为预先设定的值，该饱和碳酸水生成构件通过向从该混合泵排出的混合液的一部分或从该纯水提供源提供的纯水的一部分混合二氧化碳而生成饱和碳酸水。本专利技术的第2方式的混合装置(第2混合装置)提供将纯水和二氧化碳混合而成的混合液，其中，该混合装置具有：入口，其使纯水从纯水提供源流入；出口，其使混合液向加工装置流出；第1配管，其具有与该入口连接的一端部；第2配管，其具有与该出口连接的一端部；饱和碳酸水生成构件，其使用从二氧化碳提供源提供的二氧化碳来生成饱和碳酸水；定量泵，其将由该饱和碳酸水生成构件生成的饱和碳酸水注入至该第1配管；混合泵，其与该第1配管的另一端部和该第2配管的另一端部连接，通过叶片的旋转而对该第1配管内的流体进行混合，从而作为混合液排出至该第2配管；第1分支部，其配设在该第1配管；第2分支部，其配设在该第2配管；循环配管，其与该第1分支部和该第2分支部连接，使从该混合泵排出的混合液从该第2分支部流向该第1分支部；流量传感器，其配设在该第2配管上的该第2分支部与该出口之间，对从该出口流出的混合液的流出量进行检测；数据表，其示出从该出口流出的混合液的流出量与通过该定量泵注入至该第1配管的饱和碳酸水的量的关系；以及第1控制部，其对该定量泵进行控制，以使饱和碳酸水的注入量为根据该流量传感器所检测出的混合液的流出量而参照该数据表确定的量，该混合泵构成为通过该叶片的旋转而对该定量泵所注入的饱和碳酸水、从该纯水提供源提供的纯水以及经由该循环配管提供的混合液进行混合，从而作为混合液排出至该第2配管，该饱和碳酸水生成构件通过向从该混合泵排出的混合液的一部分或从该纯水提供源提供的纯水的一部分混合二氧化碳而生成饱和碳酸水。另外，也可以是，第2混合装置还具有：第2电阻率计，其配设在该循环配管上，测量混合液的电阻率值；以及第2控制部，其对基于该定量泵的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使该第2电阻率计所测量出的电阻率值为预先设定的值。另外，也可以是，第2混合装置还具有调温构件，该调温构件配设在该第2配管上的该混合泵与该第2分支部之间，将混合液的温度调整为预先设定的设定温度。在第1混合装置中，混合泵通过叶片的旋转而对从纯水提供源提供的纯水和通过定量泵注入的饱和碳酸水进行混合，由此生成纯水和饱和碳酸水的混合液，并朝向加工装置排出。因此，第1混合装置能够在不具有较大的静态混合器的条件下生成混合液并输送至加工装置。因此，能够使第1混合装置小型化。另外，在第1混合装置中，控制部对基于定量泵的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使电阻率计所测量出的电阻率值为预先设定的值。由此，第1混合装置容易将混合液的电阻率值设定为适当的值。在第2混合装置中，也与第1混合装置同样地，混合泵通过叶片的旋转而对纯水和饱和碳酸水进行混合，因此能够在不具有较大的静态混合器的条件下生成混合液并输送至加工装置。因此，能够使第2混合装置小型化。另外，在第2混合装置中，第1控制部将从定量泵向第1配管注入的饱和碳酸水的注入量控制为根据混合液向加工装置的流出量而参照数据表确定的量，因此容易将混合液的电阻率值设定为适当的值。另外，第2混合装置具有将第2分支部分和第1分支部连接起来的循环配管，因此通过混合泵对从纯水提供源流入的纯水、来自定量泵的饱和碳酸水以及来自循环配管的混合液进行混合而成为混合液，并提供至加工装置。由此，能够更适当地设定流出至加工装置的混合液的电阻率值。即，在第2混合装置中，通过混合泵进行混合的水的一部分是经由循环配管而提供至混合泵的已有的混合液，至少有一次受到过第1控制部对电阻率值的控制。因此，与仅将刚从纯水提供源提供的纯水和饱和碳酸水进行混合而生成混合液的情况相比，能够使混合液的电阻率值稳定。另外，在第2混合装置具有对循环配管中的混合液的电阻率值进行测量的第2电阻率计和第2控制部的情况下，第2控制部对基于定量泵的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使测量出的电阻率值为规定的值，因此更容易将混合液的电阻率值设定为适当的值。另外，在第2混合装置具有调温构件的情况下，能够通过调温构件适当地调整混合液的温度，因此能够提高加工装置的加工精度。另外，在该结构中，通过调温构件进行温度调整的混合液的一部分是经由循环配管而提供至混合泵的已有的混合液，至少有一次通过调温构件进行了温度调整。因此，与对仅包含刚从纯水提供源提供的纯水和饱和碳酸水的混合液进行温度调整的情况相比，即使从纯水提供源提供的纯水的温度发生变化，也容易适当地调整提供至加工装置的混合液的温度。附图说明图1是示出一个实施方式的混合装置的结构的框图。图2是示出图1所示的混合装置的变形例的结构的框图。图3是示出其他实施方式的混合装置的结构的框图。图4是示出在图3所示的混合装置中使用的数据表的图。图5是示出图3所示的混合装置的变形例的结构的框图。图6是示出图3所示的混合装置的其他变形例的结构的框图。图7是示出图5所示的混合装置的变形例的结构的框图。标号说明1、2：混合装置；3：纯水提供源；5：加工装置；13：控制部；14：存储器；15本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种混合装置，其提供将纯水和二氧化碳混合而成的混合液，其中，该混合装置具有：/n第1配管，其具有与纯水提供源连接的一端部；/n饱和碳酸水生成构件，其使用从二氧化碳提供源提供的二氧化碳来生成饱和碳酸水；/n定量泵，其将由该饱和碳酸水生成构件生成的饱和碳酸水注入至该第1配管；/n混合泵，其与该第1配管的另一端部连接，通过叶片的旋转而对该定量泵所注入的饱和碳酸水和从该纯水提供源提供的纯水进行混合，从而作为混合液朝向加工装置排出；/n电阻率计，其测量从该混合泵排出的混合液的电阻率值；以及/n控制部，其对基于该定量泵的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使该电阻率计所测量出的电阻率值为预先设定的值，/n该饱和碳酸水生成构件通过向从该混合泵排出的混合液的一部分或从该纯水提供源提供的纯水的一部分混合二氧化碳而生成饱和碳酸水。/n

【技术特征摘要】
20181010 JP 2018-1916911.一种混合装置，其提供将纯水和二氧化碳混合而成的混合液，其中，该混合装置具有：
第1配管，其具有与纯水提供源连接的一端部；
饱和碳酸水生成构件，其使用从二氧化碳提供源提供的二氧化碳来生成饱和碳酸水；
定量泵，其将由该饱和碳酸水生成构件生成的饱和碳酸水注入至该第1配管；
混合泵，其与该第1配管的另一端部连接，通过叶片的旋转而对该定量泵所注入的饱和碳酸水和从该纯水提供源提供的纯水进行混合，从而作为混合液朝向加工装置排出；
电阻率计，其测量从该混合泵排出的混合液的电阻率值；以及
控制部，其对基于该定量泵的饱和碳酸水的注入量进行控制，以使该电阻率计所测量出的电阻率值为预先设定的值，
该饱和碳酸水生成构件通过向从该混合泵排出的混合液的一部分或从该纯水提供源提供的纯水的一部分混合二氧化碳而生成饱和碳酸水。


2.一种混合装置，其提供将纯水和二氧化碳混合而成的混合液，其中，该混合装置具有：
入口，其使纯水从纯水提供源流入；
出口，其使混合液向加工装置流出；
第1配管，其具有与该入口连接的一端部；
第2配管，其具有与该出口连接的一端部；
饱和碳酸水生成构件，其使用从二氧化碳提供源提供的二氧化碳来生成饱和碳酸水；
定量泵，其将由该饱和碳酸水生成构件生成的饱和碳酸水注入至该第1配管；
混合泵，其与该第1配管的另一端部和该第2配管的另一端部连接，通过叶片的旋转而对该...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤淳，新井贤，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP