真空腔体及质谱检漏设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体及质谱检漏设备。该真空腔体包括：上盖体；支撑座，对应所述上盖体设置；下盖体，设置在所述支撑座上，并与所述支撑座可拆卸连接；所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；锁固部件，设置在所述支撑座与所述下盖体之间。本实用新型专利技术的真空腔体具有结构简单紧凑，交换负载低，便于更换，运行平稳，使用寿命长，工作效率高等优点。

Vacuum chamber and mass spectrometer leak detector

【技术实现步骤摘要】
真空腔体及质谱检漏设备
本技术涉及自动化
，尤其涉及一种真空腔体及质谱检漏设备。
技术介绍
质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用，其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测，且其检漏分辨率高、测量范围广，特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备需要在工作台上装夹好待测物料及相应的管道后才能与另一半壳体相配合形成密封腔体后再抽真空进行质谱检漏，在装夹待测物料时，昂贵的质谱检漏部件为待机状态，其严重影响质谱检漏相关部件的利用率和整体工作效率。因此，需要一种真空腔体，能够兼容两个或两个以上的可独立拆装待测物料交替进行工作的工作台，通过交换工作台可以节省整体加工流程的时间，提高生产效率。因此，提供一种交换负载低，交换快捷方便的真空腔体成为目前务必解决的问题。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是，提供一种交换负载低，交换快捷方便的真空腔体及质谱检漏设备。一方面，本技术公开了一种真空腔体，其包括：上盖体；支撑座，对应所述上盖体设置；下盖体，设置在所述支撑座上，并与所述支撑座可拆卸连接；所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；锁固部件，设置在所述支撑座与所述下盖体之间。优选地，所述锁固部件包括：栓孔，设置在所述下盖体上；锁栓，朝向所述栓孔设置；锁固驱动单元，设置在所述支撑座上，驱动所述锁栓朝向所述栓孔运动。优选地，所述栓孔为沿竖直方向延伸设置的长条孔，以使所述下盖体能够在预定范围内相对于所述支撑座运动。优选地，所述真空腔体还包括限位部件，所述限位部件包括设置于所述下盖体的限位槽及设置于所述支撑座上的支撑柱；所述支撑柱与所述限位槽相对设置，使所述支撑柱的上端面能够与所述限位槽的槽底相抵持。优选地，所述真空腔体还包括设置于所述下盖体与所述支撑座之间的缓冲件。优选地，所述支撑座上设置有与所述支撑柱配合的导向孔；所述支撑柱背向所述限位槽的一端插设在所述导向孔内，并与所述导向孔活动连接；所述缓冲件为套设在所述支撑柱上的缓冲弹簧。优选地，所述支撑柱贯穿所述导向孔，所述支撑柱背向所述限位槽的一端还固定设置有用于限制所述支撑柱在预设范围内活动的限位挡板，所述限位挡板的横截面积大于所述导向孔的横截面积。优选地，所述真空腔体还包括贯穿所述下盖体设置的导气管及与所述导气管可拆卸连接的第一接口；所述导气管包括设置于所述容纳腔外的第二接口及设置于所述容纳腔内的第三接口，所述第一接口与所述第二接口可拆卸连接。优选地，所述真空腔体还包括拆装部件，所述拆装部件包括：导轨，沿所述第二接口与所述第三接口的插接方向设置在所述支撑座上；活动件，与所述导轨活动连接，并沿所述导轨的导向运动；所述第一接口固定在所述活动件上，并与所述第二接口对应设置；拆装驱动单元，驱动所述活动件带动所述第一接口朝向所述第二接口运动。另一方面，本技术还公开了一种质谱检漏设备，包括真空腔体，所述真空腔体为上述所述的真空腔体。综上所述，本技术提供了一种真空腔体及质谱检漏设备，所述真空腔体包括：上盖体；支撑座，对应所述上盖体设置；下盖体，设置在所述支撑座上，由所述支撑座支撑，并与所述支撑座可拆卸连接；以使所述下盖体能够脱离所述支撑座，以便于下盖体的更换，实现一个下盖体承载加工物料在加工工位加工时，另一个下盖体在装卸工位进行加工物料的拆装；所述上盖体与所述下盖体之间形成有用于容纳所述加工物料的容纳腔；锁固部件，设置在所述支撑座与所述下盖体之间，以将所述下盖体锁定在所述支撑座上，使得所述支撑座能够带动所述下盖体与所述上盖体分离，以便于另一个下盖体与所述上盖体闭合。因此，本技术提供的真空腔体具有下盖体可脱离以减轻交换过程的负载，便于更换，工作效率高等优点。附图说明图1是本技术真空腔体的优选实施例的结构示意图。图2是本技术真空腔体的下盖体的优选实施例的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行详细说明。需要说明的是，如果不冲突，本技术实施例以及实施例中的各个特征可以相互结合，均在本技术的保护范围之内。请参阅图1至图2，本技术公开了一种真空腔体，其包括：上盖体10；支撑座20，对应所述上盖体10设置；下盖体30，设置在所述支撑座20上，并与所述支撑座20可拆卸连接；所述支撑座20用于支撑所述下盖体30，所述上盖体10与所述下盖体30之间形成有用于容纳加工物料的容纳腔11；所述加工物料为油箱或者其他需要真空环境加工的物料，锁固部件40，设置在所述支撑座20与所述下盖体30之间。用于锁定所述下盖体30在所述支撑座20上，以便于所述下盖体30与所述上盖体10的脱离。升降部件(图中未示出)，与所述支撑座20相连，驱动所述支撑座20带动所述下盖体30朝向所述上盖体10运动，直至所述下盖体30与所述下盖体30闭合形成密闭的所述容纳腔11。驱动所述支撑座20带动所述下盖体30朝向背离所述上盖体10的方向运动时，所述锁固部件40工作，将所述下盖体30锁定在所述支撑座20上。优选地，所述锁固部件40包括：栓孔41，设置在所述下盖体30上；可以理解的是所述栓孔41可以是通孔，也可以是盲孔；锁栓42，朝向所述栓孔41设置，与所述栓孔41相对应；锁固驱动单元43，设置在所述支撑座20上，驱动所述锁栓42朝向所述栓孔41运动，所述锁栓42的运动方向与所述支撑座20的运动方向相交；使得所述锁栓42至少部分插设在所述栓孔41内，进而锁定所述下盖体30在所述支撑座20上。优选地，所述栓孔41为沿竖直方向(即所述支撑座20的运动方向)延伸设置的长条孔44；以使在锁定状态下，所述下盖体30能够在预定范围内相对于所述支撑座20运动。还便于所述锁栓42的插设卡持。优选地，所述真空腔体还包括限位部件50，所述限位部件50包括设置于所述下盖体30的限位槽51及设置于所述支撑座20上的支撑柱52；所述支撑柱52与所述限位槽51相对设置，使所述支撑柱52的上端面能够与所述限位槽51的槽底相抵持。以便于在所述锁固部件40解锁状态时，能够通过外设机构顶升所述下盖体30即可使所述支撑座20与所述下盖体30的脱离。而且在替换下一个下盖体30时，能够通过所述支撑座20的升降即可使所述支撑柱52插设到所述限位槽51内，以支撑所述下盖体30；便于对所述下盖体30进行水平运动的限制，对所述下盖体30进行横向定位，优选地，所述真空腔体还包括设置于所述下盖体30与所述支撑座20之间的缓冲件53。以缓冲所述上盖体10与所述下盖体30相抵持时的冲击，并使得所述上盖体10与所述下盖体30配合更加紧密，所述真空腔体的密闭性更加优良。优选地，所述支撑座20上设置有与所述支撑柱52配合的导向孔21；所述支撑柱52背向所述限位槽51的一端插设在所述导向孔21本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔体，其特征在于，所述真空腔体包括：/n上盖体；/n支撑座，对应所述上盖体设置；/n下盖体，设置在所述支撑座上，并与所述支撑座可拆卸连接；所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；/n锁固部件，设置在所述支撑座与所述下盖体之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体，其特征在于，所述真空腔体包括：
上盖体；
支撑座，对应所述上盖体设置；
下盖体，设置在所述支撑座上，并与所述支撑座可拆卸连接；所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；
锁固部件，设置在所述支撑座与所述下盖体之间。


2.根据权利要求1所述的真空腔体，其特征在于，所述锁固部件包括：
栓孔，设置在所述下盖体上；
锁栓，朝向所述栓孔设置；
锁固驱动单元，设置在所述支撑座上，驱动所述锁栓朝向所述栓孔运动。


3.根据权利要求2所述的真空腔体，其特征在于：所述栓孔为沿竖直方向延伸设置的长条孔，以使所述下盖体能够在预定范围内相对于所述支撑座运动。


4.根据权利要求1所述的真空腔体，其特征在于：所述真空腔体还包括限位部件，所述限位部件包括设置于所述下盖体的限位槽及设置于所述支撑座上的支撑柱；所述支撑柱与所述限位槽相对设置，使所述支撑柱的上端面能够与所述限位槽的槽底相抵持。


5.根据权利要求4所述的真空腔体，其特征在于：所述真空腔体还包括设置于所述下盖体与所述支撑座之间的缓冲件。


6.根据权利要求5所述的真空腔体，其特征在于：所述支撑座上设置有与所述支撑柱配合...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙超祥，
申请(专利权)人：深圳市远望工业自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44