一种热电偶锁定器制造技术

本实用新型专利技术是一种热电偶锁定器，结构包括底座、定位销、锁紧螺母、紧定螺钉，所述底座与定位销通过锁紧螺母固定连接，所述紧定螺钉与定位销固定连接，本实用新型专利技术通过定位销与紧定螺钉固定热电偶，定位销可以在底座上移动或旋转，从而找到热电偶插入炉体的最佳位置，紧定螺钉的锁紧方式有效的解决了热电偶在炉体上固定不牢靠的问题，且锁定热电偶后，热电偶插入炉体内的深度及自身角度可以精确调整，安装拆卸方便，结实耐用。

A thermocouple locking device

【技术实现步骤摘要】
一种热电偶锁定器
本技术涉及半导体制造行业温度控制领域，特别是一种热电偶锁定器。
技术介绍
在半导体专用设备中，扩散炉是集成电路制造工序的重要设备之一，它的主要用途是对半导体硅片进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变与控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域，扩散炉温度信号采集是靠热电偶温度传感器实现的，然而在扩散炉上固定热电偶，并且使热电偶能够稳定，准确的传输温度信号是个长期以来亟待解决的难点，传统的固定方式，是采用瓷块咬合式或者捆绑式固定，瓷块咬合式，采用单点固定，不够牢固，而且瓷块内弹簧受到高温容易老化失效，热电偶的插孔没有隔热密封，导致热量外泄，使探测点信号不稳定；捆绑式，容易拉断热电偶，而且工作时，常需要转动热电偶使双探头的两个温度信号一致，旋转调整角度后，热电偶很容易发生位移，不够牢固，而且受高温影响，不方便安装和拆除。如何使热电偶固定牢靠，定位精准，方便调节热电偶位置，避免热电偶插孔热量外泄，而且方便安装和拆除是扩散炉温度信号采集的关键。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种热电偶锁定器，该装置能够精确固定热电偶位置，固定牢靠，而且使热电偶传输信号稳定，方便安装和拆除。为达到以上目的，提供以下技术方案：一种热电偶锁定器，其特征在于，结构包括底座、定位销、锁紧螺母、紧定螺钉，所述定位销、锁紧螺母和锁紧螺钉均位于底座的上方，所述底座底面的左右两侧各设有一处向上突起的固定块，底座底面的前后两侧各设有两处向下突起的卡爪，所述两处固定块上各设有一个长孔，所述紧定螺钉与定位销固定连接，所述定位销的前端穿过其中一处固定块的长孔，并通过锁紧螺母与该处长孔固定连接，从而实现定位销与底座的固定连接，所述底座底面上还设有两个长方形的探测孔与两个长条形的固定孔。优选地，所述锁紧螺母两个一组，成组使用，固定时，一组中两个螺母分别位于固定块的两侧。优选地，所述定位销前段为螺纹结构，尾段为圆柱体，所述定位销的前端贯穿两个锁紧螺母与长孔，所述定位销的尾端的侧面设有一定深度的螺纹孔，所述紧定螺钉与螺纹孔相互连接。优选地，以所述两个固定孔连线中点的垂直线为对称轴，底座的结构左右对称。优选地，所述定位销尾端还设有一通孔，所述通孔与螺纹孔相互贯穿，且通孔与螺纹孔各自的轴线相互垂直。优选地，所述长孔的宽度大于定位销前段的直径，锁紧螺母松开时，定位销可在长孔内移动。优选地，所述通孔的位置恰好位于底座左侧的探测孔区域的正上方。本技术的有益效果为：1.本技术通过多个方向限定热电偶的移动，使热电偶能够固定牢靠，而且热电偶固定后还可进行位置调节，使其定位精准。2.本技术的卡爪之间空隙部位可填充保温材料，使得热电偶的插孔隔热密封，不会导致热量外泄，探测点信号稳定。3.本技术操作简单，在受高温影响时，能够方便安装和拆除。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中底座的结构示意图；图3为本技术中定位销的结构示意图；图中所示附图标记为：1-底座，2-锁紧螺母，3-定位销，4-紧定螺钉，101-固定块，102-长孔，103-探测孔，104-固定孔，105-卡爪，301-螺纹孔，302-通孔。具体实施方式以下结合附图对本设计方案进行详细说明。如图1～3所示，一种热电偶锁定器，结构包括底座1、定位销3、锁紧螺母2、紧定螺钉4，其中定位销3、锁紧螺母2和锁紧螺钉4均位于底座1的上方，底座1底面的左右两侧各设有一处向上突起的固定块101，底座1底面的前后两侧各设有两处向下突起的卡爪105，两处固定块101上各设有一个长孔102，紧定螺钉4与定位销3固定连接，定位销3的前端穿过其中一处固定块101的长孔102，并通过锁紧螺母2与该处长孔102固定连接，从而实现定位销3与底座1的固定连接，其中底座1底面上还设有两个长方形的探测孔103与两个长条形的固定孔104。其中，锁紧螺母2两个一组，成组使用，固定时，一组中两个螺母2分别位于固定块101的两侧。其中，定位销3前段为螺纹结构，尾段为圆柱体，定位销3的前端贯穿两个锁紧螺母2与长孔102，定位销3的尾端的侧面设有一定深度的螺纹孔301，紧定螺钉4与螺纹孔301相互连接。其中，以两个固定孔104连线中点的垂直线为对称轴，底座1的结构左右对称。其中，定位销3尾端还设有一通孔302，通孔302与螺纹孔301相互贯穿，且通孔302与螺纹孔301各自的轴线相互垂直，热电偶插入通孔302时，紧定螺钉4旋入螺纹孔301，并且顶到热电偶上，进而实现了热电偶的固定。其中，长孔102的宽度大于定位销3前段的直径，锁紧螺母2松开时，定位销3可在长孔102内移动。其中，通孔302的位置恰好位于底座1左侧的探测孔103区域的正上方，热电偶插入通孔302时，同时贯穿探测孔103。其中，根据实际使用情况，底座1右侧同样可以固定热电偶，其安装方式与底座1左侧各零件的安装方式相同。实施例如图1所示，实际生产中使用时，确定好扩散炉热电偶测温点的位置，将底座1的四个卡爪105围成的区域填充好保温隔热的材料，然后在两个固定孔104上安装螺丝将底座1固定到扩散炉上，将定位销3的前端先旋入一个锁紧螺母2，旋入一定长度后，将定位销3前端插入长孔102，并突出一定长度，然后再旋入另一个锁紧螺母2，两个锁紧螺母2均朝向固定块101的方向旋紧，从而使定位销3与底座1固定连接，将热电偶插入定位销3的通孔302内，穿过探测孔103，进入到扩散炉的测温点，将紧定螺钉4旋入定位销3的螺纹孔301内，达到一定深度，抵住热电偶，从而使热电偶固定，在此期间，可以不断调整锁紧螺母2与紧定螺钉4的松紧，进而调整热电偶的插入深度即与被探测目标的距离，使其达到最佳测温点的位置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电偶锁定器，其特征在于，结构包括底座、定位销、锁紧螺母、紧定螺钉，所述定位销、锁紧螺母和锁紧螺钉均位于底座的上方，所述底座底面的左右两侧各设有一处向上突起的固定块，底座底面的前后两侧各设有两处向下突起的卡爪，所述两处固定块上各设有一个长孔，所述紧定螺钉与定位销固定连接，所述定位销的前端穿过其中一处固定块的长孔，并通过锁紧螺母与该处长孔固定连接，从而实现定位销与底座的固定连接，所述底座底面上还设有两个长方形的探测孔与两个长条形的固定孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种热电偶锁定器，其特征在于，结构包括底座、定位销、锁紧螺母、紧定螺钉，所述定位销、锁紧螺母和锁紧螺钉均位于底座的上方，所述底座底面的左右两侧各设有一处向上突起的固定块，底座底面的前后两侧各设有两处向下突起的卡爪，所述两处固定块上各设有一个长孔，所述紧定螺钉与定位销固定连接，所述定位销的前端穿过其中一处固定块的长孔，并通过锁紧螺母与该处长孔固定连接，从而实现定位销与底座的固定连接，所述底座底面上还设有两个长方形的探测孔与两个长条形的固定孔。


2.根据权利要求1所述的一种热电偶锁定器，其特征在于，所述锁紧螺母两个一组，成组使用，固定时，一组中两个螺母分别位于固定块的两侧。


3.根据权利要求1所述的一种热电偶锁定器，其特征在于，所述定位销前段为螺纹结构，尾段...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林，
申请(专利权)人：吉林瑞能半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22