【技术实现步骤摘要】
一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法
本专利技术涉及光学检测的
，尤其是涉及一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法。
技术介绍
精密高反射光学元件在各个工业领域都有着广泛的应用。高反射光学元件，特别是光学膜层，由于材料本身和镀膜工艺的原因，膜层中存在各种缺陷，缺陷在膜层中以一定的方式和密度分布，这些缺陷往往是导致高反射光学元件激光损伤的主要原因。高功率激光技术的快速发展对高反射光学元件的反射率二维分布及其缺陷检测提出了非常高的要求。因此，有必要研究高反射光学元件的缺陷检测，找到提高检测分辨率的方法。目前，光学元件的缺陷检测方法有目视法、滤波成像法、频谱分析法等。检测结果存在效率低，准确性差等问题。其中目视法是指在暗场照明环境下，由观察者利用放大镜直接肉眼观测高反射光学元件表面并进行判断，这种方法检测效率和精度都很低，受各种限制。滤波成像法与目视法的基本原理相似，不同之处在于滤波成像是由光学传感器来代替人眼，经被测光学元件表面透射或反射后，滤波来限制光束中的低频或者高频成分，留下的高频或者低频成分经过光...
【技术保护点】
1.一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法，所述方法包括：/n获取高反射光学元件的反射率分布测量图，其中，所述反射率分布测量图是由所述高反射光学元件采用光腔衰荡技术经过电动位移台扫描得到的；/n通过改进的反卷积算法对所述反射率分布测量图进行反卷积复原，得到所述高反射光学元件的反射率分布的高分辨率真实值，从而更准确地检测缺陷。/n
【技术特征摘要】
1.一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法，所述方法包括：
获取高反射光学元件的反射率分布测量图，其中，所述反射率分布测量图是由所述高反射光学元件采用光腔衰荡技术经过电动位移台扫描得到的；
通过改进的反卷积算法对所述反射率分布测量图进行反卷积复原，得到所述高反射光学元件的反射率分布的高分辨率真实值，从而更准确地检测缺陷。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过改进的反卷积算法对所述反射率测量图进行反卷积复原，得到所述高反射光学元件的反射率分布的高分辨率真实值包括：
获取所述改进的反卷积算法的初始解，其中，所述初始解为初始的高反射光学元件反射率值，第一次初始解采用光腔衰荡技术对所述高反射光学元件进行扫描获得；
在得到所述初始解后，执行以下迭代步骤，直至得到所述高反射光学元件的反射率分布的高分辨...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭小红，李斌成，王静，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51
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