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本发明提供了一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法，该方法包括：采用光腔衰荡技术获取高反射光学元件的反射率分布测量图；通过改进的反卷积算法对反射率分布测量图进行反卷积复原，消除光斑尺寸的影响，得到高反射光学元件的反射率分布的高分辨率真实...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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