【技术实现步骤摘要】
一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法
本专利技术涉及电磁吸波领域，具体是一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制备方法。
技术介绍
吸波材料是指能够有效吸收并损耗掉照射到其表面的电磁波能量的一类材料。它是一种重要的功能材料。吸波材料可分为涂覆型和结构型两类。其中涂覆型吸波材料一般是将具有吸波性能的粉末，纤维等吸收剂与粘结剂、固化剂等按一定的比例混合制成，F-117A、B-2、F-22等隐身战机在机身强散射源的地方都使用了涂覆型吸波材料。而结构型吸波材料则是一种多功能复合材料，较之涂覆型吸波材料，结构型吸波材料最大的优势就是在有效吸收入射波的同时，可用作结构功能件，如飞行器前缘、腹鳍等，并且可根据使用场景进行合理设计，主要分为传统结构型与超材料型。常见的传统结构型吸波材料主要有：Jaumann吸波体、几何渐变吸波体等。虽然制备工艺简单，但其结构厚度一般都比较大：Jaumann吸波体的每一层结构都需要满足d=λ0/4（λ0为中心工作波长）；而几何渐变吸波体的厚度一般都在400mm以上，甚至600~750mm，良好的...
【技术保护点】
1.一种异质材料结构化多层薄膜吸波器，其特征在于，包括硅基底，硅基底的顶部设置有1~N个多膜层单元，每个多膜层单元包括从下往上依次层叠的Ag薄膜、SiO
【技术特征摘要】
1.一种异质材料结构化多层薄膜吸波器，其特征在于，包括硅基底，硅基底的顶部设置有1~N个多膜层单元，每个多膜层单元包括从下往上依次层叠的Ag薄膜、SiO2薄膜和SiNx薄膜，1~N个多膜层单元整体为金字塔阵列结构。
2.根据权利要求1所述的异质材料结构化多层薄膜吸波器，其特征在于，所述硅基底尺寸为4μm，金字塔阵列结构整体高度大于1μm，每个多膜层单元中Ag薄膜厚度30~200nm、SiO2薄膜厚度200~800nm，SiNx薄膜厚度200~80...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘卫国，葛少博，周顺，杨鹏飞，李世杰，阳志强，黄岳田，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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