一种微波谐振器制造技术

本发明专利技术涉及一种微波谐振器，所述微波谐振器包括：第一电极、第二电极以及多个谐振器；所述第一电极与所述第二电极相对设置，所述第一电极与所述第二电极用于产生电场；所述多个谐振器设于所述第一电极与第二电极之间，每个所述谐振器包括N层谐振器框架，所述谐振器框架为一端开口的矩形，所述N为大于1的正整数。本发明专利技术通过使用多个谐振器框架相互嵌套的结构，将M频点分布在通带与通带之间，从而大幅提高了带间陡峭度。此外，本发明专利技术通过沉积法，在基片上沉积得到谐振器框架，改变了传统的谐振器制备方法，从而大幅减小了谐振器的尺寸。

A microwave resonator

【技术实现步骤摘要】
一种微波谐振器
本专利技术涉及微波通讯
，特别是涉及一种微波谐振器。
技术介绍
高温超导材料表面电阻十分小，用高温超导材料做成的滤波器、谐振器具有损耗小，带边陡峭等一系列优点，可以大幅提高通讯器件的灵敏度。超导薄膜生长在氧化镁、铝酸镧、蓝宝石等基片上，由于这种平面结构，超导滤波器一般做成平面微带结构，基片的两面均有超导薄膜，其中一面接地，另一面进过光刻干刻制成电路。滤波器电路是由谐振器和输入输出馈线做成，一个良好的谐振器对滤波器系能影响很大。理想的谐振器只具有一个谐振频率，多模谐振器可以实现两个以及两个以上的谐振频率，因此比较适合制作多通带滤波器。多通带滤波器，顾名思义，其特征相对于单通带滤波器在于可以选择出多个特征频段，其性能指标与单通带滤波器类似。在现有技术中，设计多通带滤波器有多种方案，在文献1：Y.Hengandetal.“Tri-bandsuperconductingbandpassfilterwithhighselectivity”Electron.Lett.vol.49,no.10,pp.658–659,May.20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波谐振器，其特征在于，所述微波谐振器包括：第一电极、第二电极以及多个谐振器；/n所述第一电极与所述第二电极相对设置，所述第一电极与所述第二电极用于产生电场；/n所述多个谐振器设于所述第一电极与第二电极之间，每个所述谐振器包括N层谐振器框架，所述谐振器框架为一端开口的矩形，所述N为大于1的正整数。/n

【技术特征摘要】
1.一种微波谐振器，其特征在于，所述微波谐振器包括：第一电极、第二电极以及多个谐振器；
所述第一电极与所述第二电极相对设置，所述第一电极与所述第二电极用于产生电场；
所述多个谐振器设于所述第一电极与第二电极之间，每个所述谐振器包括N层谐振器框架，所述谐振器框架为一端开口的矩形，所述N为大于1的正整数。


2.根据权利要求1所述的微波谐振器，其特征在于，所述谐振器的数量为4个，所述谐振器按顺序排列并按顺序编号为第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器以及第四谐振器；
所述第一谐振器的谐振器框架以及所述第三谐振器的谐振器框架的开口方向相同；
所述第二谐振器的谐振器框架以及所述第四谐振器的谐振器框架的开口方向相同，且与所述第一谐振器的谐振器框架的开口方向相反。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：魏斌，郭旭波，曹必松，陆泊宇，马鹏宇，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11