【技术实现步骤摘要】
基于卷积神经网络的贴片掩膜检测系统及检测方法
本专利技术涉及一种掩膜质量检测系统，具体涉及一种基于卷积神经网络的贴片掩膜检测系统、方法。
技术介绍
掩膜是一种图像滤镜的模板。比如在半导体制造中，许多芯片工艺步骤采用光刻技术，用于这些步骤的图形“底片”称为掩膜，其作用是：在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板进行遮盖，继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。又比如，将用于覆盖的特定图像或物体称为掩膜或模板，目的是对处理的图像(全部或局部)进行遮挡。光学图像处理中，掩膜可以是胶片、滤光片等。数字图像处理中，掩膜为二维矩阵数组，有时也用多值图像。在工业检测领域，可通过检测掩膜质量进而评价待测物体的成品质量。现有技术中，对于掩膜的检测，通常基于传统的图像处理技术，首先对图像进行图像滤波等预处理，以提升图像质量和对比度。然后将经过预处理后的掩膜图像与标准的掩膜模板进行图像匹配，分析掩膜图像和掩膜模板的图像相似度，最后根据图像相似程度分析掩膜图像的质量，进而分析出待测物体的成品质量。但现有的图像处理技术，对于掩膜图...
【技术保护点】
1.一种基于卷积神经网络的贴片掩膜检测系统，用于检测待检测物体的掩膜，其特征在于，包括：/n图像特征提取模块，用于基于卷积神经网络对获取的待检测物体图像进行图像特征提取，得到所述待检测物体图像对应的特征图；/n掩膜区域识别模块，连接所述图像特征提取模块，用于根据所提取的所述特征图，识别得到掩膜目标区域；/n掩膜分割模块，连接所述掩膜区域识别模块，用于对所述掩膜目标区域进行掩膜区域图像分割，得到所述待检测物体的掩膜图像。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于卷积神经网络的贴片掩膜检测系统，用于检测待检测物体的掩膜，其特征在于，包括：
图像特征提取模块，用于基于卷积神经网络对获取的待检测物体图像进行图像特征提取，得到所述待检测物体图像对应的特征图；
掩膜区域识别模块，连接所述图像特征提取模块，用于根据所提取的所述特征图，识别得到掩膜目标区域；
掩膜分割模块，连接所述掩膜区域识别模块，用于对所述掩膜目标区域进行掩膜区域图像分割，得到所述待检测物体的掩膜图像。
2.如权利要求1所述的贴片掩膜检测系统，其特征在于，所述掩膜区域识别模块中包括：
掩膜区域框选单元，用于在所述特征图上框选出若干个疑似掩膜目标区域；
掩膜区域定位单元，连接所述掩膜区域框选单元，用于对各所述疑似掩膜目标区域进行粗定位；
目标掩膜置信度计算单元，用于对各所述疑似掩膜目标区域进行有无目标掩膜的置信度计算，并输出置信度计算结果；
掩膜目标区域识别单元，分别连接所述掩膜区域定位单元和所述目标掩膜置信度计算单元，用于根据所述掩膜目标区域在所述特征图上的定位信息和所述置信度计算结果，最终识别得到存在于所述特征图上的所述掩膜目标区域。
3.如权利要求2所述的贴片掩膜检测系统，其特征在于，所述掩膜分割模块中包括：
图像还原单元，用于将经过所述掩膜目标区域识别的所述特征图还原成与所获取的所述待检测物体图像同尺寸的特征原图；
掩膜分割单元，连接所述图像还原单元，用于根据所述掩膜目标区域在所述特征原图上的所述定位信息，将所述掩膜目标区域从所述特征原图中分割出来，最终得到所述待检测物体的掩膜图像。
4.如权利要求1所述的贴片掩膜检测系统，其特征在于，还包括：
掩膜质量分析模块，连接所述掩膜分割模块，用于将所述掩膜图像与一预设的标准的掩膜模板进行图像比对，计算所述掩膜图像与所述掩膜模板的图像面积交并比，并通过交并比计算结果分析所述掩膜的质量情况；
成品质量分析模块，连接所述掩膜质量分析模块，用于根据所分析的所述掩膜质量情况，进而分析得到所述待检测物体的成品质量。
5.一种基于卷积神经网络的贴片掩膜检测方法，其特征在于，通过应用如权1-4任意一...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄家水，张发恩，刘洋，唐永亮，
申请(专利权)人：创新奇智青岛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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