一种用于热处理装置的空气冷却装置及热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于热处理装置的空气冷却装置及热处理装置，包括：通气管，设置在热处理装置的外侧壁上；多个通气孔，多个通气孔与通气管连通；气泵，设置在通气管的一端，通气管的另一端为封闭端。本实用新型专利技术的热处理装置的空气冷却装置设有通气管和多个通气孔，通气管与气泵连接，通气孔与热处理装置的加热器连接，实现将冷空气吹入加热器的加热部分，降低加热管周围的环境温度，保护加热管，进而延长加热灯管的使用寿命。

Air cooling device and heat treatment device for heat treatment device

【技术实现步骤摘要】
一种用于热处理装置的空气冷却装置及热处理装置
本技术属于集成电路制造工艺领域，更具体地，涉及一种热处理装置的空气冷却装置及热处理装置。
技术介绍
在半导体制造领域中，退火是半导体制造工艺中的重要环节，通过退火使得注入的离子能更好的被启动以及热氧化。目前退火采用的方法是用加热灯管对晶圆进行加热，加热灯管加热温度高，且需要长时间持续工作，严重降低了加热灯管的使用寿命，甚至直接损坏加热灯管。因此，迫切地需要一种方法可以保护退火工艺中的加热灯管，提高加热灯管的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的是提出一种保护退火工艺中的加热灯管的热处理装置的冷却装置及热处理装置。为了实现上述目的，本技术提供了一种用于热处理装置的空气冷却装置，包括：通气管，设置在所述热处理装置的外侧壁上；多个通气孔，所述多个通气孔与所述通气管连通；气泵，设置在所述通气管的一端，所述通气管的另一端为封闭端。优选的，所述通气孔沿所述通气管的轴向方向分布，所述通气孔的位置与所述热处理装置的加热器的位置对应。优选的，每相邻两个通气孔为一组通气孔。...

【技术保护点】
1.一种用于热处理装置的空气冷却装置，其特征在于，包括：/n通气管，设置在所述热处理装置的外侧壁上；/n多个通气孔，所述多个通气孔与所述通气管连通；/n气泵，设置在所述通气管的一端，所述通气管的另一端为封闭端。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于热处理装置的空气冷却装置，其特征在于，包括：
通气管，设置在所述热处理装置的外侧壁上；
多个通气孔，所述多个通气孔与所述通气管连通；
气泵，设置在所述通气管的一端，所述通气管的另一端为封闭端。


2.根据权利要求1所述的用于热处理装置的空气冷却装置，其特征在于，所述通气孔沿所述通气管的轴向方向分布，所述通气孔的位置与所述热处理装置的加热器的位置对应。


3.根据权利要求1所述的用于热处理装置的空气冷却装置，其特征在于，每相邻两个通气孔为一组通气孔。


4.一种热处理装置，其特征在于，包括：
加热器，所述加热器包括上腔室和下腔室；
石英管，所述石英管设置在所述上腔室内；
加热管，所述加热管设置在所述石英管内；
晶圆支撑板，所述晶圆支撑板设置在所述下腔室内；
空气冷却装置，所述空气冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：周思源，
申请(专利权)人：量伙半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31