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本实用新型公开了一种用于热处理装置的空气冷却装置及热处理装置，包括：通气管，设置在热处理装置的外侧壁上；多个通气孔，多个通气孔与通气管连通；气泵，设置在通气管的一端，通气管的另一端为封闭端。本实用新型的热处理装置的空气冷却装置设有通气管和多...
该专利属于量伙半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过量伙半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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