插片机用水系统技术方案

技术编号:23732427 阅读:41 留言:0更新日期:2020-04-11 07:32
本实用新型专利技术涉及一种插片机用水系统,其包括缓存水箱;自来水供水通道,可为所述缓存水箱供水;插片水槽;侧喷通道;具有侧喷口,所述侧喷口位于所述插片水槽内;水泵,用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道;排污通道,用以排出所述插片水槽内的污水;以及自来水稀释通道,用以输送水至所述插片水槽内。上述插片机用水系统,通过设置自来水稀释通道输送水至插片水槽内,降低插片水槽内的污水浓度,缓解污水内的脏污对侧喷通道的侧喷口的堵塞,进而减少对侧喷通道的侧喷口进行清理的时间,提高插片机的插片效率。

Water system of inserting machine

【技术实现步骤摘要】
插片机用水系统
本技术涉及插片机领域,特别是涉及一种插片机用水系统。
技术介绍
插片机用以在硅片清洗前将硅片装入清洗花篮中。在此过程中,一般通过侧喷通道对准硅片的两侧进行喷水,以使得硅片在水的作用下与相邻的硅片分离,进而避免在插片过程中出现双片或连片的现象。然而,在插片机运行过程中,侧喷通道的侧喷口处容易堵塞。此时需使得插片机停止工作,以对侧喷通道的侧喷口进行清理,影响插片机的插片效率。
技术实现思路
基于此,有必要针对提供一种可以有效避免侧喷通道的侧喷口堵塞的插片机用水系统。一种插片机用水系统,包括:缓存水箱;自来水供水通道,可为所述缓存水箱供水;插片水槽;侧喷通道;具有侧喷口,所述侧喷口位于所述插片水槽内;水泵,用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道;排污通道,用以排出所述插片水槽内的污水;以及自来水稀释通道,用以输送水至所述插片水槽内。上述插片机用水系统,通过设置自来水稀释通道输送水至插片水槽内,降低插片水槽内的污水浓度,缓解污水内的脏污对侧喷通道的侧喷口的堵塞,进而减少对侧喷通道的侧喷口进行清理的时间,提高插片机的插片效率。在其中一个实施例中,还包括:第一浓度监测装置,用以监测所述插片水槽内的污水浓度;第一电磁阀,设于所述自来水稀释通道上;以及控制系统,可接收所述第一浓度监测装置的监测信息并判断所述插片水槽内的污水是否需要稀释;所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水需要稀释时,控制所述第一电磁阀打开;所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水不需要稀释时,控制所述第一电磁阀关闭。在其中一个实施例中,所述第一浓度监测装置为水质检测器或浓度检测器。在其中一个实施例中,还包括:第一水净化装置,用以净化所述插片水槽内的污水;第一水净化通道,用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第一水净化装置;以及第一净化水输送通道,用以将所述第一水净化装置净化的水输送至所述插片水槽。在其中一个实施例中,还包括:第二水净化装置,用以净化所述插片水槽内的污水;第二水净化通道,用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第二水净化装置;以及第二净化水输送通道,用以将所述第二水净化装置净化的水输送至所述缓存水箱。在其中一个实施例中,还包括:第二电磁阀,设于所述第二水净化通道上;第三电磁阀,设于所述排污通道上;第二浓度监测装置,用以监测所述插片水槽内的污水浓度;以及控制系统,可接收所述第二浓度监测装置的监测结果并判断所述插片水槽内的污水浓度是否达到预设值;所述控制系统可在判断所述插片水槽内的污水浓度大于预设值时,控制所述第二电磁阀关闭,并控制所述第三电磁阀打开;所述控制系统可在判断所述插片水槽内的污水浓度小于预设值时,控制所述第二电磁阀打开,并控制所述第三电磁阀关闭。在其中一个实施例中,还包括:水位监测装置,用以监测所述缓存水箱内的水位;所述水位监测装置包括低水位监测装置和高水位监测装置;以及第四电磁阀,设于所述自来水供水通道上;所述低水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位低于低水位预设值时,发送信号给所述第四电磁阀,以使所述第四电磁阀打开;所述高水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位高于高水位预设值时,发送信号给所述第四电磁阀,以使所述第四电磁阀闭合。在其中一个实施例中,所述水位监测装置与所述第四电磁阀之间通过中间继电器电连接。在其中一个实施例中,所述缓存水箱的容量大于150升。在其中一个实施例中,所述自来水稀释通道与所述自来水供水通道连通。附图说明图1为本技术一实施例提供的插片机用水系统的结构示意图。图2为为图1中水位监测装置、第一电磁阀和中间继电器所在电路的电路图。图3为本技术另一实施例提供的插片机用水系统的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进,因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1和图2所示,本技术一实施例提供的插片机用水系统100,其包括缓存水箱110、可为缓存水箱110供水的自来水供水通道120、侧喷通道130、用以将缓存水箱110中的水泵入侧喷通道130的水泵140、插片水槽150、用以排出插片水槽150内的污水的排污通道160以及用以输送水至插片水槽150内自来水稀释通道170。插片机的分片操作在插片水槽150内完成。侧喷通道130具有侧喷口131,侧喷口131位于插片水槽150内,使得经侧喷通道130的侧喷口131喷出的液体用以分离相邻的硅片后落入插片水槽150内,避免在插片过程中出现双片或连片的现象。一般地,插片机的插片操作也在插片水槽150内完成。插片机用水系统100通过设置自来水稀释通道170输送水至插片水槽150内,降低插片水槽150内的污水浓度,缓解污水内的脏污对侧喷通道130的侧喷口的堵塞,进而减少停机以对侧喷通道130的侧喷口进行清理的次数,提高插片机的插片效率。减少对侧喷通道130的侧喷口进行清理的次数,减少操作人员清理侧喷口的时间,节省人力。通过自来水稀释通道170对插片水槽150内的污水进行稀释,可以在进行分片或插片时,使得硅片上的脏污更多的落入插片水槽150内,从而便于后续对硅片的清洗。另外,传统的插片机用水系统中,插片水槽内的污水溢流至缓存水箱内,即实现水资源在缓存水箱和插片水槽之间循环使用。当存在脏污的水再通过水泵从缓存水箱泵入侧喷通道中后,污水从侧喷通道的侧喷口喷出时也容易堵塞侧喷口。而本实施例中,通过自来水供水通道120为缓存水箱110提供的水为自来水,从而利用水泵140从缓存水箱110内的水泵入侧喷通道130内的水也为自来水,无杂质,从而不会堵塞侧喷通道130的侧喷口。另外,传统地,通过水泵从缓存水箱泵入侧喷通道中的水为污水,故污水在流经侧喷通道的任何位置时,都可能堵塞侧喷通道,从而影响侧喷通道的侧喷口喷出的侧喷水柱的水压,进而影响相邻硅片的分离。而本文档来自技高网
...

【技术保护点】
1.一种插片机用水系统,其特征在于,包括:/n缓存水箱;/n自来水供水通道,可为所述缓存水箱供水;/n插片水槽;/n侧喷通道,具有侧喷口,所述侧喷口位于所述插片水槽内;/n水泵,用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道;/n排污通道,用以排出所述插片水槽内的污水;以及/n自来水稀释通道,用以输送水至所述插片水槽内。/n

【技术特征摘要】
1.一种插片机用水系统,其特征在于,包括:
缓存水箱;
自来水供水通道,可为所述缓存水箱供水;
插片水槽;
侧喷通道,具有侧喷口,所述侧喷口位于所述插片水槽内;
水泵,用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道;
排污通道,用以排出所述插片水槽内的污水;以及
自来水稀释通道,用以输送水至所述插片水槽内。


2.根据权利要求1所述的插片机用水系统,其特征在于,还包括:
第一浓度监测装置,用以监测所述插片水槽内的污水浓度;
第一电磁阀,设于所述自来水稀释通道上;以及
控制系统,可接收所述第一浓度监测装置的监测信息并判断所述插片水槽内的污水是否需要稀释;所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水需要稀释时,控制所述第一电磁阀打开;所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水不需要稀释时,控制所述第一电磁阀关闭。


3.根据权利要求2所述的插片机用水系统,其特征在于,所述第一浓度监测装置为水质检测器或浓度检测器。


4.根据权利要求1所述的插片机用水系统,其特征在于,还包括:
第一水净化装置,用以净化所述插片水槽内的污水;
第一水净化通道,用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第一水净化装置;以及
第一净化水输送通道,用以将所述第一水净化装置净化的水输送至所述插片水槽。


5.根据权利要求1所述的插片机用水系统,其特征在于,还包括:
第二水净化装置,用以净化所述插片水槽内的污水;
第二水净化通道,用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第二水净化装置;以及
第二净化水输送通道,用以...

【专利技术属性】
技术研发人员:但汉满
申请(专利权)人:阜宁协鑫光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1