一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，属于半导体设备提拉治具领域，包括提拉底板，所述提拉底板中心处开设有压环清洗槽，所述压环清洗槽上设有盖板，压环清洗槽底面开设有多个通孔；提拉底板上开设有多个提拉把手插槽，多个提拉把手插槽分别位于压环清洗槽两侧且关于压环清洗槽对称；所述提拉底板上连接有多个提拉把手，所述提拉把手设于提拉把手插槽内；结构简单，节约成本，安全性高。

A lifting tool for cleaning the pressure ring of the grinding head of semiconductor equipment

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具
本技术属于半导体设备提拉治具领域，具体涉及一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具。
技术介绍
目前在对半导体研磨头维修再生工艺中，需要先将研磨头的压环洗净后，再进行研磨头的维修，目前清洗压环主要采用硫酸和双氧水的混合溶液，该两种液体混合会产生很高的温度，待压环清洗干净后，需要现场作业者戴上特制耐酸碱手套将其取出，然而这样会存在若干弊端，每次取出压环都需要更换新的耐酸碱手套，导致成本增大，而且即使戴上耐酸碱手套也不能保证硫酸不会渗入，易造成对现场作业者的伤害，为避免伤害每次拿取都会非常快，容易造成压环上带有的琐碎物丢失，也容易对研磨头压环本身造成损坏。
技术实现思路
为解决现有技术中存在的不足，本技术提供一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，结构简单，节约成本，安全性高。本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，包括提拉底板，所述提拉底板中心处开设有压环清洗槽，所述压环清洗槽上设有盖板，压环清洗槽底面开设有多个通孔；提拉底板上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，其特征在于，包括提拉底板(1)，所述提拉底板(1)中心处开设有压环清洗槽(2)，所述压环清洗槽(2)上设有盖板(5)，压环清洗槽(2)底面开设有多个通孔(2-1)；提拉底板(1)上开设有多个提拉把手插槽(3)，多个提拉把手插槽(3)分别位于压环清洗槽(2)两侧且关于压环清洗槽(2)对称；所述提拉底板(1)上连接有多个提拉把手(4)，所述提拉把手(4)设于提拉把手插槽(3)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，其特征在于，包括提拉底板(1)，所述提拉底板(1)中心处开设有压环清洗槽(2)，所述压环清洗槽(2)上设有盖板(5)，压环清洗槽(2)底面开设有多个通孔(2-1)；提拉底板(1)上开设有多个提拉把手插槽(3)，多个提拉把手插槽(3)分别位于压环清洗槽(2)两侧且关于压环清洗槽(2)对称；所述提拉底板(1)上连接有多个提拉把手(4)，所述提拉把手(4)设于提拉把手插槽(3)内。


2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，其特征在于，所述提拉底板(1)为一“十”字结构，包括相连接的布槽板(1-1)和配合板(1-2)，所述布槽板(1-1)和配合板(1-2)之间的连接角度均为90°，所述布槽板(1-1)宽度大于配合板(1-2)宽度。


3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，其特征在于，所述布槽板(1-1)和配合板(1-2)的两端均开设有挡板卡槽(1-3)，每个挡板卡槽(1-3)内均通过定位螺栓(6)活动连接有定...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱光宇，贺贤汉，李泓波，张正伟，陈智慧，王松朋，
申请(专利权)人：富乐德科技发展大连有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21