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本实用新型公开了一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具,属于半导体设备提拉治具领域,包括提拉底板,所述提拉底板中心处开设有压环清洗槽,所述压环清洗槽上设有盖板,压环清洗槽底面开设有多个通孔;提拉底板上开设有多个提拉把手插槽,多个提拉把手...该专利属于富乐德科技发展(大连)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富乐德科技发展(大连)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具,属于半导体设备提拉治具领域,包括提拉底板,所述提拉底板中心处开设有压环清洗槽,所述压环清洗槽上设有盖板,压环清洗槽底面开设有多个通孔;提拉底板上开设有多个提拉把手插槽,多个提拉把手...