工艺制程槽槽盖自动开合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，属于半导体制造领域。该装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖。箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，动力机构和连接块设置在箱体内，动力机构能够沿着竖直方向上下移动；连接块的第一端与动力机构的下端铰接，第二端与传动轴固定连接；传动轴的两端伸出箱体并与连接板连接，连接板与槽盖连接；连接块的第一端的高度高于第二端的高度，连接块的第一端与槽体的水平间距大于第二端与槽体的水平间距。本实用新型专利技术可以实现槽盖自动打开和关闭动作，自动化程度高，安全性好；避免了抓取装置的设计难度及高度以及不能进入厂房的问题，降低了制造成本。

Automatic opening and closing device of process trough cover

【技术实现步骤摘要】
工艺制程槽槽盖自动开合装置
本技术涉及半导体、太阳能电池、液晶制造领域，特别是指一种工艺制程槽槽盖自动开合装置。
技术介绍
在半导体、太阳能电池制造、液晶制造技术中，采用湿法技术清洗工件时，需要在槽体中进行，槽体安装在整个机台内，使用的清洗液常为强腐蚀性液体，且具有挥发性，因此在设计中槽盖是不可或缺的。目前，市面上槽盖的形式大多为手动拿取式，这种形式需要人体进入机台，人手直接接触槽盖，残留在槽盖上的腐蚀性液体对设备和工作人员极易造成伤害，另外，挥发到机台内腔的腐蚀性液体容易被吸入呼吸道，对人体危害较大。近年来出现了个别自动化槽盖，槽盖设计在槽体上，为双扇对开式，通过自动控制元件来实现槽盖的自动开合，避免了对人体的伤害，但是这种设计也显露了一些缺陷:当盖板门被打开时，盖板门在槽体上方直立，高度约为槽体长度的一半，在槽体高度方向上占用有效尺寸大，当抓取装置从槽内取放物件时，需要跨过槽盖，这样就需要提高抓取装置的行走高度，以及机台顶板的高度，因此造成两方面不利情况，第一，加高机台有效高度和抓取装置行走有效高度，材料投入增加，制造难度增本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述工艺制程槽槽盖自动开合装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖，其中：/n所述箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，所述动力机构和连接块设置在所述箱体内，所述动力机构能够沿着竖直方向上下移动；所述连接块的第一端与所述动力机构的下端铰接，所述连接块的第二端与所述传动轴固定连接；/n所述连接板和槽盖设置在所述箱体外，所述传动轴的两端伸出所述箱体并与所述连接板连接，所述连接板与所述槽盖连接；/n所述连接块的第一端的高度高于第二端的高度，并且所述连接块的第一端与所述槽体的水平间距大于第二端与所述槽体的水平间距。/n

【技术特征摘要】
1.一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述工艺制程槽槽盖自动开合装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖，其中：
所述箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，所述动力机构和连接块设置在所述箱体内，所述动力机构能够沿着竖直方向上下移动；所述连接块的第一端与所述动力机构的下端铰接，所述连接块的第二端与所述传动轴固定连接；
所述连接板和槽盖设置在所述箱体外，所述传动轴的两端伸出所述箱体并与所述连接板连接，所述连接板与所述槽盖连接；
所述连接块的第一端的高度高于第二端的高度，并且所述连接块的第一端与所述槽体的水平间距大于第二端与所述槽体的水平间距。


2.根据权利要求1所述的工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述槽盖靠近所述箱体的一端与箱体在水平方向上间距一定距离，所述连接板的下表面与所述槽盖连接，所述传动轴与所述连接板下表面的竖直距离为第一距离，所述传动轴与所述箱体靠近槽体一侧的侧壁的水平距离为第二距离，所述第一距离大于所述第二距离。


3.根据权利要求2所述的工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述动力机构上设置有检测所述动力机构位置的第一位置检测装置，所述箱体靠近槽体一侧的侧壁上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强，
申请(专利权)人：大正华嘉科技香河有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13