工艺制程槽槽盖自动开合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，属于半导体制造领域。该装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖。箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，动力机构和连接块设置在箱体内，动力机构能够沿着竖直方向上下移动；连接块的第一端与动力机构的下端铰接，第二端与传动轴固定连接；传动轴的两端伸出箱体并与连接板连接，连接板与槽盖连接；连接块的第一端的高度高于第二端的高度，连接块的第一端与槽体的水平间距大于第二端与槽体的水平间距。本实用新型专利技术可以实现槽盖自动打开和关闭动作，自动化程度高，安全性好；避免了抓取装置的设计难度及高度以及不能进入厂房的问题，降低了制造成本。

Automatic opening and closing device of process trough cover

【技术实现步骤摘要】
工艺制程槽槽盖自动开合装置
本技术涉及半导体、太阳能电池、液晶制造领域，特别是指一种工艺制程槽槽盖自动开合装置。
技术介绍
在半导体、太阳能电池制造、液晶制造技术中，采用湿法技术清洗工件时，需要在槽体中进行，槽体安装在整个机台内，使用的清洗液常为强腐蚀性液体，且具有挥发性，因此在设计中槽盖是不可或缺的。目前，市面上槽盖的形式大多为手动拿取式，这种形式需要人体进入机台，人手直接接触槽盖，残留在槽盖上的腐蚀性液体对设备和工作人员极易造成伤害，另外，挥发到机台内腔的腐蚀性液体容易被吸入呼吸道，对人体危害较大。近年来出现了个别自动化槽盖，槽盖设计在槽体上，为双扇对开式，通过自动控制元件来实现槽盖的自动开合，避免了对人体的伤害，但是这种设计也显露了一些缺陷:当盖板门被打开时，盖板门在槽体上方直立，高度约为槽体长度的一半，在槽体高度方向上占用有效尺寸大，当抓取装置从槽内取放物件时，需要跨过槽盖，这样就需要提高抓取装置的行走高度，以及机台顶板的高度，因此造成两方面不利情况，第一，加高机台有效高度和抓取装置行走有效高度，材料投入增加，制造难度增加，制造成本升高。第二，造成设备外形庞大，有些厂房无法容纳，或无法通过厂房的大门，增加设计难度，限制了设备的应用范围。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，本技术可以实现槽盖自动打开和关闭动作，为抓取装置从槽体内取放工件留了足够空间，避免了抓取装置的设计难度及高度，避免了机台庞大而不能进入厂房的问题，降低了制造成本。>本技术提供技术方案如下：一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，所述工艺制程槽槽盖自动开合装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖，其中：所述箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，所述动力机构和连接块设置在所述箱体内，所述动力机构能够沿着竖直方向上下移动；所述连接块的第一端与所述动力机构的下端铰接，所述连接块的第二端与所述传动轴固定连接；所述连接板和槽盖设置在所述箱体外，所述传动轴的两端伸出所述箱体并与所述连接板连接，所述连接板与所述槽盖连接；所述连接块的第一端的高度高于第二端的高度，并且所述连接块的第一端与所述槽体的水平间距大于第二端与所述槽体的水平间距。进一步的，所述槽盖靠近所述箱体的一端与箱体在水平方向上间距一定距离，所述连接板的下表面与所述槽盖连接，所述传动轴与所述连接板下表面的竖直距离为第一距离，所述传动轴与所述箱体靠近槽体一侧的侧壁的水平距离为第二距离，所述第一距离大于所述第二距离。进一步的，所述动力机构上设置有检测所述动力机构位置的第一位置检测装置，所述箱体靠近槽体一侧的侧壁上设置有检测所述槽盖位置的第二位置检测装置，所述第一位置检测装置和第二位置检测装置连接有PLC控制器。进一步的，所述动力机构的上端通过固定块与所述箱体的顶壁连接，所述连接板通过第一组螺钉与所述槽盖连接。进一步的，所述传动轴的两端为驱动平面，所述连接板通过第二组螺钉与驱动平面连接。进一步的，所述箱体靠近槽体一侧的侧壁为箱体门板，所述箱体门板与箱体通过第三组螺钉连接，所述箱体门板与箱体的结合处设置有密封条。进一步的，所述箱体、传动轴、连接板和槽盖的材质为耐腐蚀材料。进一步的，所述耐腐蚀材料为工程塑料、不锈钢或石英。进一步的，所述连接块的第一端通过销轴与所述动力机构的下端铰接，所述连接块的第二端通过螺栓与所述传动轴固定连接。本技术具有以下有益效果：本技术的动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖的结构形式可以实现槽盖自动打开和关闭动作，避免了人员直接接触槽盖造成伤害，自动化程度高，安全性好。并且，本技术的槽盖打开方式设计为后翻盖形式，当打开槽盖时，槽盖脱离槽体，为抓取装置从槽体内取放工件留了足够空间，避免了抓取装置的设计难度及高度。本技术避免了机台庞大而不能进入厂房的问题，降低了制造成本。附图说明图1为本技术的工艺制程槽槽盖自动开合装置的主视图；图2为本技术的工艺制程槽槽盖自动开合装置的俯视图；图3为本技术的工艺制程槽槽盖自动开合装置开合过程的示意图。具体实施方式为使本技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。本技术实施例提供了一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，如图1、2所示，该工艺制程槽槽盖自动开合装置包括箱体1、动力机构3、连接块6、传动轴7、连接板8和槽盖10，其中：箱体1设置在槽体18后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，动力机构3和连接块6设置在箱体1内，动力机构3能够沿着竖直方向上下移动；连接块6的第一端与动力机构3的下端铰接，连接块6的第二端与传动轴7固定连接。连接板8和槽盖10设置在箱体1外，传动轴7的两端伸出箱体1并与连接板8连接，连接板8与槽盖10连接；连接块6的第一端的高度高于第二端的高度，并且连接块6的第一端与槽体的水平间距大于第二端与槽体的水平间距。本技术的工作过程如下：当槽盖需要开启时，动力机构开始启动，使得与动力机构下端连接的连接块的第一端(上端)开始向下运动，由于连接块的第一端的高度高于第二端的高度，并且连接块的第一端与槽体的水平间距大于第二端与槽体的水平间距，具体到图1、2中，就是连接块的第一端在左上方，第二端在右下方，这种方式使得动力机构驱使连接块的第二端向逆时针方向转动，从而带动传动轴、连接板和槽盖均向逆时针方向转动，槽盖打开。当槽盖需要关闭时，动力机构开始启动，向相反方向运动，使得与动力机构下端连接的连接块的第一端开始向上运动，同时驱使连接块的第二端向顺时针方向转动，从而带动传动轴、连接板和槽盖均向顺时针方向转动，槽盖关闭。可见，本技术的动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖的结构形式形成了槽盖开启系列部件，可以实现槽盖自动打开和关闭动作，避免了人员直接接触槽盖造成伤害，自动化程度高，安全性好。并且，本技术不将箱体设置在槽体处，而是将箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，如图1、2所示，箱体在槽体左侧(左侧为槽体后方)并且与槽体在水平方向上间隔较大的距离。本技术的槽盖打开方式设计为后翻盖形式，槽盖打开后是位于箱体处的，而箱体在槽体后方并与槽体间隔一定距离，这样做的目的是使得槽盖打开后的位置与槽体具有足够的距离，当打开槽盖时，槽盖脱离槽体，减少占用槽体上部空间，当从槽体内取放工件时，为抓取装置从槽体内取放工件留了足够空间，避免了抓取装置的设计难度及高度；可降低整个机台的设计高度，从而减少材料的投入，降低成本，同时可避免对厂房高度不足的影响，避免了机台庞大而不能进入厂房的问题。作为本技术的一种改进，槽盖10靠近箱体1的一端与箱体1在水平方向上间距一定距离，如图1、2所示，槽盖的最左端与箱体有间距，这是为了防止槽盖在开启的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述工艺制程槽槽盖自动开合装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖，其中：/n所述箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，所述动力机构和连接块设置在所述箱体内，所述动力机构能够沿着竖直方向上下移动；所述连接块的第一端与所述动力机构的下端铰接，所述连接块的第二端与所述传动轴固定连接；/n所述连接板和槽盖设置在所述箱体外，所述传动轴的两端伸出所述箱体并与所述连接板连接，所述连接板与所述槽盖连接；/n所述连接块的第一端的高度高于第二端的高度，并且所述连接块的第一端与所述槽体的水平间距大于第二端与所述槽体的水平间距。/n

【技术特征摘要】
1.一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述工艺制程槽槽盖自动开合装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖，其中：
所述箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，所述动力机构和连接块设置在所述箱体内，所述动力机构能够沿着竖直方向上下移动；所述连接块的第一端与所述动力机构的下端铰接，所述连接块的第二端与所述传动轴固定连接；
所述连接板和槽盖设置在所述箱体外，所述传动轴的两端伸出所述箱体并与所述连接板连接，所述连接板与所述槽盖连接；
所述连接块的第一端的高度高于第二端的高度，并且所述连接块的第一端与所述槽体的水平间距大于第二端与所述槽体的水平间距。


2.根据权利要求1所述的工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述槽盖靠近所述箱体的一端与箱体在水平方向上间距一定距离，所述连接板的下表面与所述槽盖连接，所述传动轴与所述连接板下表面的竖直距离为第一距离，所述传动轴与所述箱体靠近槽体一侧的侧壁的水平距离为第二距离，所述第一距离大于所述第二距离。


3.根据权利要求2所述的工艺制程槽槽盖自动开合装置，其特征在于，所述动力机构上设置有检测所述动力机构位置的第一位置检测装置，所述箱体靠近槽体一侧的侧壁上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强，
申请(专利权)人：大正华嘉科技香河有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13