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本实用新型公开了一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，属于半导体制造领域。该装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖。箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，动力机构和连接块设置在箱体内，动力机构能够沿着竖直方向上下移动；...
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