一种超纯氩纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种超纯氩纯化装置，包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统，两个原料气供给系统并联连接至纯化系统，每个原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶，两个产品气充装系统并联连接至纯化系统，其中一个产品充装系统包括若干充气瓶A，另一个产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B，纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元。本实用新型专利技术通过设置凝胶过滤单元，可以脱除原料气中的一氧化碳，通过设置碱性洗涤单元，可以洗去原料气中的二氧化碳。

An ultra pure argon purification device

【技术实现步骤摘要】
一种超纯氩纯化装置
本技术涉及氩气提纯领域，具体涉及一种超纯氩纯化装置。
技术介绍
超高纯的氩气是LED、大规模集成电路等半导体产业的重要原料，主要作为半导体生产过程中的载气、保护气，其纯度对产品的质量和性能至关重要。随着半导体技术的飞速发展，对气体纯度的要求越来越高（已达8N以上）。而从钢瓶、储罐等一次气源提供的气体只有4～5N，无法满足该需求，而必须采取终端纯化。目前国内LED生产企业使用的终端纯化器基本是国外产品，成本昂贵。氩气的主要来源为空分，其中所含的主要杂质是CO、CO2，如何对氩气进行低成本纯化是本领域亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种超纯氩纯化装置，在有效去除氩气中的杂质的同时，降低成本。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种超纯氩纯化装置，包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统，所述两个原料气供给系统并联连接至所述纯化系统，每个所述原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶，所述两个产品气充装系统并联连接至所述纯化系统，其中所述产品充装系统包括若干充气瓶A，另一个所述产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B，所述纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元，所述凝胶过滤单元包括一级或串联设置的至少两级过滤器，所述碱性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔，其中，第一级过滤器的入口与所述若干储气瓶连通，其余过滤器的入口与其前一级过滤器的出口连通，第一级第一洗涤塔的入口与最后一级过滤器的出口连通，其余第一洗涤塔的入口与其前一级第一洗涤塔的出口连通，最后一级第一洗涤塔的出口与所述若干充气瓶A或所述若干充气瓶B连通。上述技术方案中，所述凝胶过滤单元包括两级过滤器。上述技术方案中，所述碱性洗涤单元包括三级第一洗涤塔。上述技术方案中，所述容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔为容置有氨水的第一洗涤塔或容置有氢氧化钠的第一洗涤塔或容置有氢氧化钙的第一洗涤塔。上述技术方案中，所述第一洗涤塔为立式，其入口位于其轴向中部，其出口位于其轴向顶部。上述技术方案中，所述纯化系统还包括中性洗涤单元，所述中性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级第二洗涤塔，第一级第二洗涤塔的入口与最后一级第一洗涤塔的出口连通，其余第二洗涤塔的入口与其前一级第二洗涤塔的出口连通，最后一级第二洗涤塔的出口与所述若干充气瓶连通。上述技术方案中，所述中性洗涤单元包括一级所述第二洗涤塔。上述技术方案中，所述第二洗涤塔为立式，其入口位于其轴向中部，其出口位于其轴向顶部。上述技术方案中，所述凝胶过滤单元与所述碱性洗涤单元之间还设有缓冲罐。上述技术方案中，相邻的所述第一洗涤塔之间还设有增压机。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：（1）本技术公开的超纯氩纯化装置，通过设置凝胶过滤单元，可以脱除原料气中的一氧化碳，通过设置碱性洗涤单元，可以洗去原料气中的二氧化碳，原料气供给系统设置为两个，可切换使用，或在其中一个原料气供给系统充装压力不足时，打开另一个原料气供给系统，同一原料气供给系统的若干储气瓶设于集装格中，有利于统一搬运，产品气充装系统设置为两个，可根据产品气需要数量进行充装，当数目较少时，可不放置在集装格中，当数目较多时，可放置在集装格中；（2）本技术公开的超纯氩纯化装置，通过中性洗涤单元，可以洗去氩气原料气中的碱性洗涤液；（3）本技术公开的超纯氩纯化装置，通过设置缓冲罐，使氩气原料气的压力保持稳定；（4）本技术公开的超纯氩纯化装置，通过设置增压机，提高氩气原料气的压力，以有利于后续的洗涤脱附及充装。附图说明图1是本技术公开的超纯氩纯化装置的结构示意图；图2是本技术公开的纯化系统的结构示意图。其中：10、原料气供给系统；11、储气瓶；12、集装格；20、纯化系统；21、过滤器；22、第一洗涤塔；23、第二洗涤塔；30、产品气充装系统；31、充气瓶A；32、充气瓶B；33、集装格。具体实施方式结合附图及实施例对本技术作进一步描述：参见图1和图2，如其中的图例所示，一种超纯氩纯化装置，包括两个原料气供给系统10、纯化系统20以及两个产品气充装系统30，两个原料气供给系统10并联连接至纯化系统20，每个原料气系统包括设于集装格12中的若干储气瓶11，两个产品气充装系统30并联连接至纯化系统20，其中一个产品气充装系统30包括若干充气瓶A31，另一个产品气充装系统30包括设于集装格33中的若干充气瓶B33，纯化系统20包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元，上述凝胶过滤单元包括一级或串联设置的至少两级过滤器21，上述碱性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔22，其中，第一级过滤器21的入口与若干储气瓶11连通，其余过滤器21的入口与其前一级过滤器21的出口连通，第一级第一洗涤塔22的入口与最后一级过滤器22的出口连通，其余第一洗涤塔22的入口与其前一级第一洗涤塔22的出口连通，最后一级第一洗涤塔22的出口与若干充气瓶31连通。本实施例中优选的实施方式，上述凝胶过滤单元包括两级过滤器21。本实施例中优选的实施方式，上述碱性洗涤单元包括三级第一洗涤塔22。本实施例中优选的实施方式，上述容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔22为容置有氨水的第一洗涤塔或容置有氢氧化钠的第一洗涤塔或容置有氢氧化钙的第一洗涤塔。本实施例中优选的实施方式，第一洗涤塔22为立式，其入口位于其轴向中部，其出口位于其轴向顶部。本实施例中优选的实施方式，纯化系统20还包括中性洗涤单元，上述中性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级第二洗涤塔23，第一级第二洗涤塔23的入口与最后一级第一洗涤塔23的出口连通，其余第二洗涤塔23的入口与其前一级第二洗涤塔23的出口连通，最后一级第二洗涤塔23的出口与若干充气瓶31连通。本实施例中优选的实施方式，上述中性洗涤单元包括一级第二洗涤塔23。本实施例中优选的实施方式，第二洗涤塔23为立式，其入口位于其轴向中部，其出口位于其轴向顶部。本实施例中优选的实施方式，上述凝胶过滤单元与上述碱性洗涤单元之间还设有缓冲罐24。本实施例中优选的实施方式，相邻的第一洗涤塔22之间还设有增压机25。本实施例中优选的实施方式，储气瓶11的压力高于充气瓶31的压力，且储气瓶11的数量多于充气瓶31的数量。本实施例中优选的实施方式，纯化系统20设置为两个。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯氩纯化装置，包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统，所述两个原料气供给系统并联连接至所述纯化系统，每个所述原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶，所述两个产品气充装系统并联连接至所述纯化系统，其中一个所述产品充装系统包括若干充气瓶A，另一个所述产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B，其特征在于，所述纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元，所述凝胶过滤单元包括一级或串联设置的至少两级过滤器，所述碱性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔，其中，第一级过滤器的入口与所述若干储气瓶连通，其余过滤器的入口与其前一级过滤器的出口连通，第一级第一洗涤塔的入口与最后一级过滤器的出口连通，其余第一洗涤塔的入口与其前一级第一洗涤塔的出口连通，最后一级第一洗涤塔的出口与所述若干充气瓶A或所述若干充气瓶B连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种超纯氩纯化装置，包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统，所述两个原料气供给系统并联连接至所述纯化系统，每个所述原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶，所述两个产品气充装系统并联连接至所述纯化系统，其中一个所述产品充装系统包括若干充气瓶A，另一个所述产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B，其特征在于，所述纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元，所述凝胶过滤单元包括一级或串联设置的至少两级过滤器，所述碱性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔，其中，第一级过滤器的入口与所述若干储气瓶连通，其余过滤器的入口与其前一级过滤器的出口连通，第一级第一洗涤塔的入口与最后一级过滤器的出口连通，其余第一洗涤塔的入口与其前一级第一洗涤塔的出口连通，最后一级第一洗涤塔的出口与所述若干充气瓶A或所述若干充气瓶B连通。


2.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述凝胶过滤单元包括两级过滤器。


3.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述碱性洗涤单元包括三级第一洗涤塔。


4.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，孙猛，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32