滤波器制造技术

本实用新型专利技术提供一种滤波器，该滤波器包括级联的若干个谐振器，其中，各谐振器均包括：基板，该基板的承载面上设置有第一凹槽；设置在承载面上的支撑层；压电堆叠结构，该结构设置在支撑层背离第一凹槽的一侧并与第一凹槽对应；其中，支撑层在对应压电堆叠结构的位置处设置有至少一个镂空图形，各压电堆叠结构对应的镂空图形同层设置且材料相同，并且，至少一个压电堆叠结构对应的镂空图形不同于其他压电堆叠结构对应的镂空图形，以通过在不同镂空图形内填充材料调整谐振器的谐振频率。该滤波器实现了同时具有多个不同谐振频率的谐振器情况，易于调整频率，修正的频率范围较大，且降低了成本，提高了设计灵活度。

Wave filter

【技术实现步骤摘要】
滤波器
本技术涉及微电子器件，具体涉及一种滤波器。
技术介绍
随着无线通讯应用的发展，人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域，第一代是模拟技术，第二代实现了数字化语音通信，第三代(3G)以多媒体通信为特征，第四代(4G)将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms，第五代(5G)是4G之后的新一代移动通信技术，5G与3G、4G相比，其网络传输速率和网络容量将大幅提升。如果说从1G到4G主要解决的是人与人之间的沟通，5G将解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通，即万物互联，实现“信息随心至，万物触手及”的愿景。与数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限，为了满足数据率的需求，必须充分利用频谱；同时为了满足数据率的需求，从4G开始还使用了载波聚合技术，使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，通信协议变得越来越复杂，因此对射频系统的各种性能也提出了严格的需求。在射频前端模块中，射频滤波器起着至关重要的作用。它可以将带外干扰和噪声滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤波器，其特征在于，包括级联的若干个谐振器，其中，各所述谐振器均包括：/n基板，所述基板包括承载面，所述承载面上设置有第一凹槽；/n支撑层，所述支撑层设置在所述承载面上；/n压电堆叠结构，所述压电堆叠结构设置在所述支撑层背离所述第一凹槽的一侧并与所述第一凹槽对应；其中，/n所述支撑层在对应所述压电堆叠结构的位置处设置有至少一个镂空图形；/n其中，各所述压电堆叠结构对应的镂空图形同层设置且材料相同，并且，至少一个所述压电堆叠结构对应的所述镂空图形不同于其他所述压电堆叠结构对应的所述镂空图形，以通过在不同所述镂空图形内填充材料调整所述谐振器的谐振频率。/n

【技术特征摘要】
1.一种滤波器，其特征在于，包括级联的若干个谐振器，其中，各所述谐振器均包括：
基板，所述基板包括承载面，所述承载面上设置有第一凹槽；
支撑层，所述支撑层设置在所述承载面上；
压电堆叠结构，所述压电堆叠结构设置在所述支撑层背离所述第一凹槽的一侧并与所述第一凹槽对应；其中，
所述支撑层在对应所述压电堆叠结构的位置处设置有至少一个镂空图形；
其中，各所述压电堆叠结构对应的镂空图形同层设置且材料相同，并且，至少一个所述压电堆叠结构对应的所述镂空图形不同于其他所述压电堆叠结构对应的所述镂空图形，以通过在不同所述镂空图形内填充材料调整所述谐振器的谐振频率。


2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述支撑层在对应所述压电堆叠结构的位置处设置有多个所述镂空图形，所述多个镂空图形沿所述支撑层的长度方向等间隔设置。


3.根据权利要求2所述的滤波器，其特征在于，各所述镂空图形均位于对应的所述支撑层的中央区域处。


4.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，各所述压电堆叠结构对应的镂空图形均不同于其他压电堆叠结构对应的镂空图形。


5.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，各所述谐振器的支撑层形...

【专利技术属性】
技术研发人员：张树民，王国浩，汪泉，陈海龙，郑根林，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：杭州左蓝微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33