蒸镀坩埚组件制造技术

蒸镀坩埚组件。涉及蒸镀设备，尤其涉及蒸镀坩埚组件。提供了一种结构简单，提高工作效率的蒸镀坩埚组件。包括铜坩埚，其特征在于，还包括石墨坩埚和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，所述支撑组包括支撑体和四个弹簧，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。本实用新型专利技术方便加工，操作可靠。

Evaporation crucible assembly

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚组件
本技术涉及蒸镀设备，尤其涉及蒸镀坩埚组件。
技术介绍
在电子束蒸发金属时，目前的蒸发工艺是将金属源直接放在铜坩埚中进行蒸镀（即如图3所示），由于循环冷却水以及铜坩埚导热效果好的原因，造成蒸发时金属源上的热量流失很快，使得这种方式蒸发银效率很低，增加了工作时间和企业成本。
技术实现思路
本技术针对以上问题，提供了一种结构简单，提高工作效率的蒸镀坩埚组件。本技术的技术方案为：包括铜坩埚，其特征在于，还包括石墨坩埚和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，所述支撑组包括支撑体和四个弹簧，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。所述支撑体为钼垫片。所述石墨坩埚的底部设有容置槽，所述支撑体位于容置槽内。所述铜坩埚的底部设有定位柱，所述支撑体上设有定位槽，所述定位柱适配地设在定位槽内。本技术在工作中，通过在铜坩埚内增加一个石墨坩埚，将金属源放置在石墨坩埚内进行蒸镀，由于石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，起到可靠支撑作用，设置弹簧和支撑体，使得石墨坩埚和铜坩埚之间具有间隙，减少散热面积，降低热量流失。本技术方便加工，操作可靠。附图说明图1是本技术的结构示意图，图2是图1中A-A面的剖视图，图3是现有技术的结构示意图；图中1是铜坩埚，2是石墨坩埚，3是支撑体，4是弹簧，5是容置槽，6是定位柱，7是定位槽。具体实施方式本技术如图1-2所示，包括铜坩埚1，还包括石墨坩埚2和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，所述支撑组包括支撑体3和四个弹簧4，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。本技术在工作中，通过在铜坩埚内增加一个石墨坩埚，将金属源放置在石墨坩埚内进行蒸镀，由于石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，起到可靠支撑作用，设置弹簧和支撑体，使得石墨坩埚和铜坩埚之间具有间隙，减少散热面积，降低热量流失。所述支撑体为钼垫片。起到可靠支撑，降低热量流失，提升蒸镀效率。所述石墨坩埚的底部设有容置槽5，所述支撑体位于容置槽内。方便两者定位，起到可靠支撑。所述铜坩埚的底部设有定位柱6，所述支撑体上设有定位槽7，所述定位柱适配地设在定位槽内。便于支撑体可靠定位，方便支撑石墨坩埚。对于本案所公开的内容，还有以下几点需要说明：（1）、本案所公开的实施例附图只涉及到与本案所公开实施例所涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；（2）、在不冲突的情况下，本案所公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例；以上，仅为本案所公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本案所公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.蒸镀坩埚组件，包括铜坩埚，其特征在于，还包括石墨坩埚和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，/n所述支撑组包括支撑体和四个弹簧，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。/n

【技术特征摘要】
1.蒸镀坩埚组件，包括铜坩埚，其特征在于，还包括石墨坩埚和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，
所述支撑组包括支撑体和四个弹簧，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。


2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚组件，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：游佩武，王毅，
申请(专利权)人：扬州杰利半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32