【技术实现步骤摘要】
一种外延炉取片手装载监控系统
本技术涉及外延炉相关
，具体为一种外延炉取片手装载监控系统。
技术介绍
在半导体芯片制造中，作为一种制作半导体分立器件的主要材料，硅外延片有极其重要的地位，它是IC器件的主要原材料。在实际的工业生产中，化学气相淀积技术被广泛应用于硅外延片的制造，外延炉是目前硅外延片制造中的主力设备。目前在使用外延炉生长外延片的过程中，外延炉采用机械手或者取片手自动装载硅片；在机械手或者取片手取放片的过程中，人工无法识别装载中出现的异常，取片手的手臂高度、角度等在实际使用过程中会发生变化，取片手的手臂手臂会抬起、下降、旋转等，如果取片手的装载操作出现异常，则容易造成装载错位，容易碰擦到硅片表面，从而引起外延层缺陷而报废。在现有技术申请号为：CN201720326036.8的：一种外延机台取片手臂高度实时监控系统，其特征在于，包括：取片手臂，用于取硅片；高度监控装置，用于实时监控取片手臂的高度是否为允许高度范围，如取片手臂的高度超出允许高度范围即报警，该技术专利文案主要介绍了对取片手臂的高度进行实时监控，功能...
【技术保护点】
1.一种外延炉取片手装载监控系统，包括预抽真空室(3)、传送腔(9)、装载设备(5)、检测模块(19)和传送带(8)，其特征在于，所述预抽真空室(3)两侧设有传送腔(9)，所述装载设备(5)通过安装底板(10)安装于传送腔(9)内部，所述预抽真空室(3)内部间隔设有若干硅片(2)，所述传送带(8)设置于传送腔(9)内部且所述传送带(8)平行设置于装载设备(5)一侧，所述传送带(8)表面设有若干放置盒(7)，所述装载设备(5)包括驱动装置(13)，所述驱动装置(13)活动连接机械臂(14)，所述机械臂(14)顶端连接取片手(16)，所述检测模块(19)包括第一摄像头(1)、第...
【技术特征摘要】
1.一种外延炉取片手装载监控系统，包括预抽真空室(3)、传送腔(9)、装载设备(5)、检测模块(19)和传送带(8)，其特征在于，所述预抽真空室(3)两侧设有传送腔(9)，所述装载设备(5)通过安装底板(10)安装于传送腔(9)内部，所述预抽真空室(3)内部间隔设有若干硅片(2)，所述传送带(8)设置于传送腔(9)内部且所述传送带(8)平行设置于装载设备(5)一侧，所述传送带(8)表面设有若干放置盒(7)，所述装载设备(5)包括驱动装置(13)，所述驱动装置(13)活动连接机械臂(14)，所述机械臂(14)顶端连接取片手(16)，所述检测模块(19)包括第一摄像头(1)、第二摄像头(15)、角度检测器(18)、长度传感器、重力传感器(17)和质量检测装置(4)，所述第一摄像头(1)设置于预抽真空室(3)内部入口端一侧，所述第二摄像头(15)设置于取片手(16)顶部一侧，所述角度检测器(18)设置于驱动装置(13)一侧，所述重力传感器(17)设置于述取片手(16)表面，所述质量检测装置(4)设置于传送腔(9)内壁且质量检测装置(4)位于放置盒(7)顶部，所述长度传感器设置于机械臂(14)。
2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王光余，
申请(专利权)人：无锡盈格科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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