一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘制造技术

实用新型专利技术涉及伯努利机械手技术领域，且公开了一种，包括机械手，所述机械手右侧固定连接有安装机构，所述安装机构右侧固定连接有真空卡盘，所述真空卡盘右侧固定连接有抓取机构，述安装机构包括连接件一，所述连接件一固定连接于机械手右侧，所述真空卡盘左侧固定连接有连接件二，所述连接件一外侧开设有凹槽一。该方便安装的伯努利机械手真空卡盘，通过设置的安装机构，可以将真空卡盘稳定的安装在机械手上，而且拆卸比较方便，便于工作人员的使用，便于对真空卡盘进行维修等操作，过设置的抓取机构，可以通过两边对称的液压缸的伸缩利用弧形橡胶块将所需抓取的晶圆抓取起来，且在弧形橡胶块磨损比较严重时可以拔出螺栓对其进行更换。其进行更换。其进行更换。

【技术实现步骤摘要】
一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘


[0001]本技术涉及伯努利机械手
，具体为一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘。

技术介绍

[0002]为适应高速、自动化加工的需要,数控车床夹具应具有较高的定位安装精度及快速装夹的能力.文中针对薄壁工件在加工时的夹紧问题,通过抽空达到真空起到吸附工件的作用,从而解决薄件难加工的问题，产生了真空卡盘，真空卡盘是利用真空对用于实施作业或实验的对象物进行固定的装置，这样的真空卡盘用于半导体集成电路的加工或薄板部件的加工或实验装备等，在半导体加工领域，通常使用真空卡盘来吸附或抓取。
[0003]而真空卡盘也会和伯努利机械手配合使用，但是目前用于伯努利机械手的真空卡盘，大多不易安装拆卸，不易于在卡盘有所损坏时进行更换，比较浪费成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，包括机械手，所述机械手右侧固定连接有安装机构，所述安装机构右侧固定连接有真空卡盘，所述真空卡盘右侧固定连接有抓取机构；
[0006]所述安装机构包括连接件一，所述连接件一固定连接于机械手右侧，所述真空卡盘左侧固定连接有连接件二，所述连接件一外侧开设有凹槽一，所述凹槽一顶部固定连接有伸缩杆一，所述伸缩杆一顶部固定连接有压紧板。
[0007]优选的，所述连接件一顶部开设有滑槽，所述滑槽顶部滑动连接有滑块，所述滑块左侧固定连接有伸缩杆二，所述伸缩杆二固定连接于滑槽内左侧，在需要固定时伸缩杆缩回压紧板压实在连接件一和连接件二顶部，伸缩杆二可带动滑块左右滑动。
[0008]优选的，所述滑块右侧固定连接有移动杆，所述滑槽右侧开孔，连接件二左侧开槽，所述移动杆通过槽插接于连接件二左侧，则移动杆可插入或移出连接件二左侧。
[0009]优选的，所述连接件二顶部开设有凹槽二，所述凹槽二顶部设置有拉环，所述拉环底部固定连接有固定杆，所述固定杆外侧固定连接有限位块，对固定杆进行限位。
[0010]优选的，所述固定杆中间开孔，移动杆通过孔插接于固定杆内部，所述凹槽二底部开槽，所述固定杆通过槽插接于连接件二内部，保持结构稳定连接。
[0011]优选的，所述抓取机构包括液压缸，所述液压缸固定连接于真空卡盘右侧，所述液压缸底部固定连接有连接块一，所述连接块一内部螺纹连接有螺栓，所述螺栓外侧螺纹连接有连接块二，则连接块一和连接块二可拆卸。
[0012]优选的，所述连接块二底部固定连接有弧形块，所述弧形块底部固定连接有弧形橡胶块，避免晶圆表面因摩擦而磨损。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，具备以下有益效果：
[0014]1、该方便安装的伯努利机械手真空卡盘，通过设置的安装机构，可以将真空卡盘稳定的安装在机械手上，而且拆卸比较方便，便于工作人员的使用，便于对真空卡盘进行维修等操作。
[0015]2、该方便安装的伯努利机械手真空卡盘，通过设置的抓取机构，可以通过两边对称的液压缸的伸缩利用弧形橡胶块将所需抓取的晶圆抓取起来，且在弧形橡胶块磨损比较严重时可以拔出螺栓对其进行更换。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：
[0017]图1为本技术结构正面示意图；
[0018]图2为本技术结构正视剖面示意图；
[0019]图3为截取的图2中伸缩杆一、压紧板、凹槽一等结构配合的示意图；
[0020]图4为图2中A处放大结构示意图。
[0021]图中：1、机械手；2、安装机构；21、连接件一；211、伸缩杆一；212、压紧板；213、凹槽一；22、连接件二；23、伸缩杆二；24、移动杆；25、拉环；251、凹槽二；252、限位块；253、固定杆；26、滑块；27、滑槽；3、真空卡盘；4、抓取机构；41、液压缸；42、螺栓；43、连接块一；44、连接块二；45、弧形块；46、弧形橡胶块。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，包括机械手1，机械手1右侧固定连接有安装机构2，安装机构2右侧固定连接有真空卡盘3，真空卡盘3右侧固定连接有抓取机构4。
[0025]安装机构2包括连接件一21，连接件一21固定连接于机械手1右侧，真空卡盘3左侧固定连接有连接件二22，连接件一21外侧开设有凹槽一213，凹槽一213顶部固定连接有伸缩杆一211，伸缩杆一211顶部固定连接有压紧板212，连接件一21顶部开设有滑槽27，滑槽
27顶部滑动连接有滑块26，滑块26左侧固定连接有伸缩杆二23，伸缩杆二23固定连接于滑槽27内左侧，在需要固定时伸缩杆一211缩回压紧板212压实在连接件一21和连接件二22顶部，伸缩杆二23可带动滑块26左右滑动，块261右侧固定连接有移动杆24，滑槽27右侧开孔，连接件二22左侧开槽，移动杆24通过槽插接于连接件二22左侧，则移动杆24可插入或移出连接件二22左侧，接件二22顶部开设有凹槽二251，凹槽二251顶部设置有拉环25，拉环25底部固定连接有固定杆253，固定杆253外侧固定连接有限位块252，对固定杆253进行限位，定杆253中间开孔，移动杆24通过孔插接于固定杆253内部，凹槽二251底部开槽，固定杆253通过槽插接于连接件二22内部，保持结构稳定连接。
[0026]抓取机构4包括液压缸41，液压缸41固定连接于真空卡盘3右侧，液压缸41底部固定连接有连接块一43，连接块一43内部螺纹连接有螺栓42，螺栓42外侧螺纹连接有连接块二44，则连接块一43和连接块二44可拆卸，连接块二44底部固定连接有弧形块45，弧形块45底部固定连接有弧形橡胶块46，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，包括机械手(1)，其特征在于：所述机械手(1)右侧固定连接有安装机构(2)，所述安装机构(2)右侧固定连接有真空卡盘(3)，所述真空卡盘(3)右侧固定连接有抓取机构(4)；所述安装机构(2)包括连接件一(21)，所述连接件一(21)固定连接于机械手(1)右侧，所述真空卡盘(3)左侧固定连接有连接件二(22)，所述连接件一(21)外侧开设有凹槽一(213)，所述凹槽一(213)顶部固定连接有伸缩杆一(211)，所述伸缩杆一(211)顶部固定连接有压紧板(212)。2.根据权利要求1所述的一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，其特征在于：所述连接件一(21)顶部开设有滑槽(27)，所述滑槽(27)顶部滑动连接有滑块(26)，所述滑块(26)左侧固定连接有伸缩杆二(23)，所述伸缩杆二(23)固定连接于滑槽(27)内左侧。3.根据权利要求2所述的一种方便安装的伯努利机械手真空卡盘，其特征在于：所述滑块(26)右侧固定连接有移动杆(24)，所述滑槽(27)右侧开孔，连接件二(22)左侧开槽，所述移动杆(24)通过槽插接于连接件二(22)左侧。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光余，蒋宇飞，程宣林，
申请(专利权)人：无锡盈格科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：