一种稳定性高的感应加热外延炉制造技术

本实用新型专利技术提出了一种稳定性高的感应加热外延炉，包括外部的钟罩、位于钟罩内的基座，所述基座的底部固定设置有底盘，所述钟罩内还设置有底座，所述底座内的一侧固定设置有电机，所述电机的转轴上固定设置有第一转盘，所述底盘的底部可拆卸设置有第二转盘，所述第一转盘和第二转盘之间通过皮带传动连接，所述底座内侧底部的中间一体设置有支撑座，所述第二转盘的底部转动设置在支撑座内，所述第二转盘的顶部一体设置有若干插块，所述底盘的设置有与插块相对应的插槽，所述插块插入插槽内，借此，本实用新型专利技术具有能将第二转盘与底盘之间进行拆卸、增大底盘与转盘之间接触面积避免底盘转动不稳定的优点。转动不稳定的优点。转动不稳定的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种稳定性高的感应加热外延炉


[0001]本技术属于外延炉设备
，特别涉及一种稳定性高的感应加热外延炉。

技术介绍

[0002]目前，外延生长对外延层的厚度和电阻率均匀性要求极高，其中，温度是影响外延层厚度和电阻率均匀性的重要因素。按照现有工艺和设备进行外延生长时，靠近基座顶部和底部的衬底外延层的电阻率和厚度会出现不均匀现象。对于上述现象，通常采用的解决方法有三种：方法一，只在基座的中部装衬底进行外延生长，不在基座的上部和下部装片，这种方法的缺点是造成产能的极大浪费；方法二，通过调整高频感应线圈的加热装置来改善上部和下部外延层的电阻率均匀性，但这种方法不能满足所有产品的参数要求；方法三，通过调整基座竖直方向的位置，改变基座所处高频感应线圈的不同温区，来改善上部和下部外延层厚度和电阻率参数的均匀性，但这种方法也只能调整基座上部和下部较大范围的温度，无法对靠近基座顶部和底部衬底外延生长时温度的精确控制，因此中国专利CN208889614U中提出了一种感应加热外延炉，可以解决存在的靠近基座两端的外延层厚度和电阻率不均匀的现象。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种稳定性高的感应加热外延炉，包括外部的钟罩、位于钟罩内的基座，所述基座的底部固定设置有底盘，其特征在于，所述钟罩内还设置有底座，所述底座内的一侧固定设置有电机，所述电机的转轴上固定设置有第一转盘，所述底盘的底部可拆卸设置有第二转盘，所述第一转盘和第二转盘之间通过皮带传动连接，所述底座内侧底部的中间一体设置有支撑座，所述第二转盘的底部转动设置在支撑座内，所述第二转盘的顶部一体设置有若干插块，所述底盘的设置有与插块相对应的插槽，所述插块插入插槽内。2.根据权利要求1所述的一种稳定性高的感应加热外延炉，其特征在于，所述底座内设置有电机保护罩，所述电机保护罩的左侧开放设置，所述电机穿过电机保护罩左侧并位于电机保护罩内，所述电机左右之间的宽度大于电机保护罩周左右之间的宽度。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光余，蒋宇飞，蒋苗苗，程宣林，
申请(专利权)人：无锡盈格科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：