下载一种稳定性高的感应加热外延炉的技术资料

文档序号:32065697

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出了一种稳定性高的感应加热外延炉,包括外部的钟罩、位于钟罩内的基座,所述基座的底部固定设置有底盘,所述钟罩内还设置有底座,所述底座内的一侧固定设置有电机,所述电机的转轴上固定设置有第一转盘,所述底盘的底部可拆卸设置有第二转盘,所...
该专利属于无锡盈格科科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡盈格科科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。