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本实用新型公开了一种外延炉取片手装载监控系统，包括预抽真空室、传送腔、装载设备、检测模块和传送带，预抽真空室两侧设有传送腔，装载设备通过安装底板安装于传送腔内部，预抽真空室内部间隔设有若干硅片，传送带设置于传送腔内部且传送带平行设置于装载设...
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