本实用新型专利技术提供了一种部件松脱侦测装置，包括：设有大气压接收端和贴合面侦测端的刚性管路，大气压接收端的海拔高度高于贴合面侦测端的海拔高度；用于覆盖并密封贴合面侦测端的柔性的贴合面软片；容纳于管路内的液体，至少浸没贴合面侦测端，液面位置位于管路内靠近大气压接收端的一侧，且海拔高度高于贴合面侦测端的海拔高度；用于实时侦测并显示液面位置变化状态的液位侦测模块。本实用新型专利技术通过设置贴合面侦测端，对相互贴合安装的部件的贴合面进行实时侦测，在贴合面出现松脱时及时报警，从而避免了因抛光垫修整盘异常脱落而导致的机台部件损坏或晶圆报废的问题，具有灵敏度高、可靠性好、侦测端耐潮湿腐蚀环境且不受电磁干扰的显著优势。
Loose part detection device
【技术实现步骤摘要】
部件松脱侦测装置
本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种部件松脱侦测装置。
技术介绍
在半导体集成电路的制造过程中，化学机械研磨是一道重要的工艺制程。其中，抛光垫修整器及安装其上的抛光垫修整盘是化学机械研磨机台的关键部件，可以用来在化学机械研磨过程中实时修整抛光垫，使抛光垫表面始终保持一定的粗糙度，以确保化学机械研磨制程的工艺稳定性。在现有的化学机械研磨机台中，抛光垫修整盘一般通过螺丝紧固或者磁力吸附的方式固定于抛光垫修整器上。在化学机械研磨过程中，抛光垫修整盘在抛光垫修整器的带动下旋转运动，接触并修整抛光垫表面。目前，抛光垫修整盘在抛光垫修整器上的安装固定状态并无法得到有效的实时侦测，一旦抛光垫修整盘因安装问题或其他原因从抛光垫修整器上异常脱落时，机台仍然会继续作业，这就会对机台和产品造成严重影响。脱落的抛光垫修整盘会在抛光垫旋转带动下碰撞抛光垫上的研磨头及其下方的晶圆，导致研磨头损坏或晶圆报废；或者抛光垫修整盘直接掉出抛光垫外，碰撞导致研磨平台下方的管路或其他机台部件损坏。因此，有必要提出一种新的部件松脱侦测装置，解决上述问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种部件松脱侦测装置，用于解决现有技术中无法实时侦测抛光垫修整盘在抛光垫修整器上的安装固定状态的问题。为实现上述目的及其它相关目的，本技术提供了一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置设置于具有共同的贴合面的两个相互贴合安装的部件中的任意一个部件上，所述部件松脱侦测装置包括：设有两个开口端的刚性的管路，两个所述开口端分别为大气压接收端和贴合面侦测端，所述大气压接收端的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；用于覆盖并密封所述贴合面侦测端的柔性的贴合面软片，所述贴合面侦测端位于所述贴合面上，所述贴合面软片贴合于所述贴合面；容纳于所述管路内的液体，所述液体至少浸没所述贴合面侦测端，所述液体的液面位置位于所述管路内靠近所述大气压接收端的一侧，且所述液体的液面位置的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；用于实时侦测并显示所述液体的液面位置变化状态的液位侦测模块。作为本技术的一种可选方案，所述部件包括设置于化学研磨机台中相互贴合安装的抛光垫修整器和抛光垫修整盘，所述部件松脱侦测装置设置于所述抛光垫修整器上。作为本技术的一种可选方案，所述液体包含乙醇、乙二醇、丙三醇以及去离子水中的一种或多种组成的混合溶液。作为本技术的一种可选方案，所述贴合面软片为双层结构，包括覆盖并密封所述贴合面侦测端的密封软片和覆盖于所述密封软片外侧的保护软片。作为本技术的一种可选方案，所述部件松脱侦测装置还包括覆盖并密封大气压接收端的柔性的防挥发软片。作为本技术的一种可选方案，所述部件松脱侦测装置还包括包覆所述防挥发软片的保护壳，所述保护壳设有连通所述保护壳的内部和外部的气孔。作为本技术的一种可选方案，所述管路在所述贴合面侦测端的管径大于在所述液体的液面位置处的管径。作为本技术的一种可选方案，所述管路由主管路和毛细管路两段连接构成，所述主管路位于所述部件内，所述贴合面侦测端位于所述主管路远离所述毛细管路的一端，所述大气压接收端位于所述毛细管路远离所述主管路的一端，所述液体的液面位置位于所述毛细管路内，所述毛细管路的管径小于所述主管路的管径。作为本技术的一种可选方案，所述毛细管路包括透明毛细管路。作为本技术的一种可选方案，所述液位侦测模块包括：用于量测所述液体的液面位置的液位量测单元；用于获取并反馈所述液体的液面位置的液位反馈单元，连接所述液位量测单元；用于将所述液体的液面位置与液面位置设定范围进行比对，并在所述液体的液面位置超出所述液面位置设定范围时发出报警的比对报警单元，连接所述液位反馈单元。作为本技术的一种可选方案，所述液位量测单元包括磁浮式液位计、压力式液位计、声学液位计或光学液位计。如上所述，本技术提供了一种部件松脱侦测装置，通过设置贴合面侦测端，对相互贴合安装的部件的贴合面进行实时侦测，在贴合面出现松脱时及时报警，从而避免了因抛光垫修整盘异常脱落而导致的机台部件损坏或晶圆报废的问题。相比现有技术，本技术具有灵敏度高、可靠性好、侦测端耐潮湿腐蚀环境且不受电磁干扰的显著优势。附图说明图1显示为本技术实施例一中提供的部件松脱侦测装置的示意图。图2显示为本技术实施例一中提供的化学研磨机台中相互贴合安装的抛光垫修整器和抛光垫修整盘的示意图。图3显示为本技术实施例一中提供的部件松脱侦测装置在图1中A区域的局部放大图。图4显示为本技术实施例一中提供的液位侦测模块各单元的连接关系示意图。图5显示为本技术实施例一中提供的部件松脱侦测装置在抛光垫修整器和抛光垫修整盘贴合安装时的示意图。图6显示为本技术实施例一中提供的部件松脱侦测装置在抛光垫修整器和抛光垫修整盘松脱时的示意图。图7显示为本技术实施例二中提供的部件松脱侦测装置在抛光垫修整器和抛光垫修整盘贴合安装时的示意图。元件标号说明101管路101a大气压接收端101b贴合面侦测端101c主管路101d毛细管路102贴合面软片102a密封软片102b保护软片103液体104液位侦测模块104a液位量测单元104b液位反馈单元104c比对报警单元105抛光垫修整器105a安装基座106抛光垫修整盘107抛光垫108防挥发软片109保护壳201管路201a大气压接收端201b贴合面侦测端202贴合面软片203液体204液位侦测模块205抛光垫修整器206抛光垫修整盘具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。实施例一请参阅图1至图6，本技术提供了一种部件松脱侦测装置，所述部件松脱侦测装置设置于具有共同的贴合面的两个相互贴合安装的部件中的任意一个部件上，所述部件松脱侦测装置包括：设有两个开口端的刚性的管路10本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置设置于具有共同的贴合面的两个相互贴合安装的部件中的任意一个部件上，所述部件松脱侦测装置包括：/n设有两个开口端的刚性的管路，两个所述开口端分别为大气压接收端和贴合面侦测端，所述大气压接收端的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；/n用于覆盖并密封所述贴合面侦测端的柔性的贴合面软片，所述贴合面侦测端位于所述贴合面上，所述贴合面软片贴合于所述贴合面；/n容纳于所述管路内的液体，所述液体至少浸没所述贴合面侦测端，所述液体的液面位置位于所述管路内靠近所述大气压接收端的一侧，且所述液体的液面位置的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；/n用于实时侦测并显示所述液体的液面位置变化状态的液位侦测模块。/n
【技术特征摘要】
1.一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置设置于具有共同的贴合面的两个相互贴合安装的部件中的任意一个部件上，所述部件松脱侦测装置包括：
设有两个开口端的刚性的管路，两个所述开口端分别为大气压接收端和贴合面侦测端，所述大气压接收端的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；
用于覆盖并密封所述贴合面侦测端的柔性的贴合面软片，所述贴合面侦测端位于所述贴合面上，所述贴合面软片贴合于所述贴合面；
容纳于所述管路内的液体，所述液体至少浸没所述贴合面侦测端，所述液体的液面位置位于所述管路内靠近所述大气压接收端的一侧，且所述液体的液面位置的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；
用于实时侦测并显示所述液体的液面位置变化状态的液位侦测模块。
2.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件包括设置于化学研磨机台中相互贴合安装的抛光垫修整器和抛光垫修整盘，所述部件松脱侦测装置设置于所述抛光垫修整器上。
3.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述贴合面软片为双层结构，包括覆盖并密封所述贴合面侦测端的密封软片和覆盖于所述密封软片外侧的保护软片。
4.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置还包括覆盖并密封大气压接收端的柔性的防挥发软片。
5.根据权利要求4所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪康，田得暄，辛君，吴龙江，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。