一种芯片生产用清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片生产用清洗设备，包括基座，所述基座底部外壁的两侧均焊接有支架，且基座的顶端焊接有封闭框，所述封闭框的两侧均开有通口，且封闭框的顶端外壁设置有供水机构，所述基座顶端的一边焊接有烘干箱，且烘干箱内设置有烘干组件，所述封闭框的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。本实用新型专利技术机械化喷水清洗，能够通过水泵抽液的方式在芯片上进行喷淋清洗液，快速全面清洁，提高了芯片的清洗效率，能够通过烘干风机吹风烘干的方式，加速芯片干燥，能够有效节省芯片干燥时间，提高了芯片加工的生产效率，且设置斜板能够通过斜板将芯片滑出。

A cleaning equipment for chip production

【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用清洗设备
本技术涉及芯片生产
，尤其涉及一种芯片生产用清洗设备。
技术介绍
电子产品，是指供日常消费者生活使用之电子产品。它属于特定的家用电器，内有电子元件，通常会应用于娱乐、通讯以及文书用途，例如电话、音响器材、电视机、DVD播放机甚至电子钟等。消费电子产品于世界各地均有制造。经检索，中国专利申请号为201621413581.2的专利，公开了一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，包括有底板、左架、支撑杆、清洗池、出液管、阀门、网板、轴承座、转轴、绕线轮、旋转电机、搅拌叶片、第一定滑轮等。上述专利中的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备存在以下不足：该装置结构复杂，清洗效率低。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种芯片生产用清洗设备。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种芯片生产用清洗设备，包括基座，所述基座底部外壁的两侧均焊接有支架，且基座的顶端焊接有封闭框，所述封闭框的两侧均开有通口，且封闭框的顶端外壁设置有供水机构，所述基座顶端的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片生产用清洗设备，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)底部外壁的两侧均焊接有支架(2)，且基座(1)的顶端焊接有封闭框(5)，所述封闭框(5)的两侧均开有通口(8)，且封闭框(5)的顶端外壁设置有供水机构，所述基座(1)顶端的一边焊接有烘干箱(4)，且烘干箱(4)内设置有烘干组件，所述封闭框(5)的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用清洗设备，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)底部外壁的两侧均焊接有支架(2)，且基座(1)的顶端焊接有封闭框(5)，所述封闭框(5)的两侧均开有通口(8)，且封闭框(5)的顶端外壁设置有供水机构，所述基座(1)顶端的一边焊接有烘干箱(4)，且烘干箱(4)内设置有烘干组件，所述封闭框(5)的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。


2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用清洗设备，其特征在于，所述供水机构包括供水箱(6)，且供水箱(6)的内壁焊接有隔板(11)，隔板(11)侧壁通过螺钉固定有水泵(12)。


3.根据权利要求2所述的一种芯片生产用清洗设备，其特征在于，所述喷淋清洗机构包括固定于封闭框(5)顶端内壁的喷淋盘(9)，且喷淋盘(9)的底端通过螺纹连接有喷头(10)，水泵(12)的输出端通过导管与喷淋盘(9)相连通。


4.根据权利要求3所述的一种芯片生产用清洗设备，其特征在于，所述烘干箱(4)的侧壁开有排料口(3)。

【专利技术属性】
技术研发人员：张益铭，
申请(专利权)人：上海芯强微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31