一种石英棒对接台制造技术

本发明专利技术涉及一种石英棒对接台，包括底座；第一安装台，其下表面与所述底座连接，并能相对所述底座在第一水平方向滑动，所述第一安装台的上表面与第一弹性元件的下端连接，所述第一弹性元件的上端用于连接第一石英棒；第二安装台，其下表面与所述底座连接，所述第二安装台的上表面连接有第二弹性元件的下端，所述第二弹性元件的上端用于连接第二石英棒，所述第二安装台与所述第一安装台在所述第一水平方向上相邻设置，且所述第一石英棒的一端朝向所述第二石英棒。本发明专利技术提供的石英棒对接台，能够降低石英棒对接过程中的崩边概率，保证石英棒的对接质量和石英棒的均光效果。

A quartz bar docking station

【技术实现步骤摘要】
一种石英棒对接台
本专利技术涉及光刻
，尤其涉及一种石英棒对接台。
技术介绍
光刻系统通常包含照明系统、含有电路图的掩模版、投影系统以及用于涂覆光刻胶的硅片和硅片对准台，通过照明系统照射掩模版上的电路图，并利用投影系统将掩模版电路图的像投射到晶片上，使晶片经刻蚀后能获得掩模版上的电路图。为了保证光刻的质量，要求照明系统的照明视场内的光强分布均匀。在照明系统中，石英棒的主要功能是将光源发出的光束进行多次反射，从而获得均匀的光束。石英棒的匀光效果与照明系统的相干因子相关，当相关因子较小时，反射较小，匀光效果较差。相关因子与石英棒的长宽比相关，因为，为了达到需求的匀光效果，石英棒必须达到一定的长宽比。但由于石英棒的所需长度较长、精度较高，现有条件难以进行整根加工，常用两根或多根石英棒进行拼接获得所需长度的石英棒。石英棒在加工成型的过程中，由于加工精度的影响，其端面棱边与侧面棱边难以做到绝对垂直，且由于石英棒为脆性材料且对接过程为刚性接触，当对接过程中，发生一个石英棒的对接端面与另一个石英棒的侧面棱边接触时，石英棒容易发生崩边现象本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英棒对接台，其特征在于，包括：/n底座(1)；/n第一安装台(2)，与所述底座(1)连接，并能相对所述底座(1)在第一水平方向滑动，所述第一安装台(2)的上表面与第一弹性元件(4)的下端连接，所述第一弹性元件(4)的上端用于连接第一石英棒(7)；/n第二安装台(3)，与所述底座(1)连接，所述第二安装台(3)的上表面连接有第二弹性元件(5)的下端，所述第二弹性元件(5)的上端用于连接第二石英棒(8)，所述第二安装台(3)与所述第一安装台(2)沿所述第一水平方向相邻设置，且所述第一石英棒(7)的一端朝向所述第二石英棒(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英棒对接台，其特征在于，包括：
底座(1)；
第一安装台(2)，与所述底座(1)连接，并能相对所述底座(1)在第一水平方向滑动，所述第一安装台(2)的上表面与第一弹性元件(4)的下端连接，所述第一弹性元件(4)的上端用于连接第一石英棒(7)；
第二安装台(3)，与所述底座(1)连接，所述第二安装台(3)的上表面连接有第二弹性元件(5)的下端，所述第二弹性元件(5)的上端用于连接第二石英棒(8)，所述第二安装台(3)与所述第一安装台(2)沿所述第一水平方向相邻设置，且所述第一石英棒(7)的一端朝向所述第二石英棒(8)。


2.根据权利要求1所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第二安装台(3)能相对所述底座(1)在所述第一水平方向滑动，所述第二安装台(3)远离所述第一安装台(2)的一端与第三弹性元件(6)的一端相连接，所述第三弹性元件(6)的另一端与所述底座(1)连接。


3.根据权利要求1所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第一弹性元件(4)和所述第二弹性元件(5)均具有两个自由度，两个自由度分别为沿其长度方向的伸缩变形和绕起自身轴线的扭转。


4.根据权利要求2所述的石英棒对接台，其特征在于，所述底座(1)上开设有导向槽，所述导向槽沿所述第一水平方向设置，所述第一安装台(2)以及所述第二安装台(3)均与所述导向槽滑动连接。


5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马忠良，高沛，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31