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本发明涉及一种石英棒对接台，包括底座；第一安装台，其下表面与所述底座连接，并能相对所述底座在第一水平方向滑动，所述第一安装台的上表面与第一弹性元件的下端连接，所述第一弹性元件的上端用于连接第一石英棒；第二安装台，其下表面与所述底座连接，所述...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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