一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用，包括：金属加热器连接于保温板内壁，保温板外设有冷却水套，冷却水套底部连接有底环，大托板位于底环内并通过底环底部的小托板支撑连接，大托板上方设置有底板，底板支撑连接所述的保温板；外接电极和热电偶分别贯穿连接法兰，外接电极顶端与金属加热器底端电连接，热电偶顶端位于保温板内部，冷却水管的上下两端分别与冷却水套、连接法兰连接。本发明专利技术中电热丝只设置在侧面，且采用分区加热的方式，加热区域的热量可以精确控制，加热更加均匀。本发明专利技术中只在点源上口位置对坩埚进行支撑，避免坩埚其它部位通过绝缘片和支撑架进行热传导，从而控温更加精确均匀。

A kind of metal point source used in evaporation equipment and its application

【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用
本专利技术涉及一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用，属于材料热蒸发

技术介绍
在蒸镀领域所用的点源是用来给坩埚进行加热的，坩埚里面盛有蒸发料，目前在蒸镀领域用的点源多是在坩埚的底部进行支撑和加热，这样靠近坩埚底部位置的蒸发料温度会高，靠近上端位置蒸发料的温度会低，这样加热方式无法保证加热的均匀性，不同的坩埚里面盛有不同的蒸发料，不同的蒸发料有不同的蒸发温度，温度过高和过低都会导致蒸发过程出现大的问题，无法满足蒸镀的精细化控制要求，故亟需寻求其他的点源设备来精确控制蒸发料的温度均匀性，从而更加精细的控制蒸发料的蒸发速率以及防止在料蒸发过程因温度波动出现其它的问题，从而获得品质高的薄膜。申请公布号为CN107761056A的专利公开了一种点蒸发源，用于对所述坩埚进行分段加热的至少三个加热部，包围在各所述加热部的外侧以及所述坩埚的底部至少一层热反射板，点蒸发源中还包括：位于热反射板外侧的冷却板，该冷却板可以为冷却线或内部设有冷却液体(例如水)的冷却管。此专利技术中未体现加热丝与电极的连接方式。本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蒸镀设备上的金属点源，其特征在于，包括连接底座、连接法兰、外接电极、热电偶、冷却水管、金属加热器、保温板、大托板和冷却水套；/n金属加热器连接于保温板内壁，保温板外设有冷却水套，冷却水套底部连接有底环，大托板位于底环内并通过底环底部的小托板支撑连接，大托板上方设置有底板，底板支撑连接所述的保温板；/n外接电极和热电偶分别贯穿连接底座，连接底座与连接法兰同轴连接，外接电极顶端与金属加热器底端电连接，热电偶顶端位于保温板内部，冷却水管的上下两端分别与冷却水套、连接法兰连接。/n

【技术特征摘要】
20191213 CN 20191127903331.一种用于蒸镀设备上的金属点源，其特征在于，包括连接底座、连接法兰、外接电极、热电偶、冷却水管、金属加热器、保温板、大托板和冷却水套；
金属加热器连接于保温板内壁，保温板外设有冷却水套，冷却水套底部连接有底环，大托板位于底环内并通过底环底部的小托板支撑连接，大托板上方设置有底板，底板支撑连接所述的保温板；
外接电极和热电偶分别贯穿连接底座，连接底座与连接法兰同轴连接，外接电极顶端与金属加热器底端电连接，热电偶顶端位于保温板内部，冷却水管的上下两端分别与冷却水套、连接法兰连接。


2.如权利要求1所述的用于蒸镀设备上的金属点源，其特征在于，所述连接法兰上均布设置有多个螺栓孔。


3.如权利要求1所述的用于蒸镀设备上的金属点源，其特征在于，所述连接法兰上设置有两个阶梯错位孔，其中一个阶梯错位孔为进水孔和上水孔，另一个阶梯错位孔为下水孔和出水孔，两个冷却水管的底端分别与两个阶梯错位孔连接。


4.如权利要求1所述的用于蒸镀设备上的金属点源，其特征在于，所述大托板、底板、保温板之间通过同轴套筒连接，同轴套筒通过一根支撑柱螺纹连接。


5.如权利要求1所述的用于蒸镀设备上的金属点源，其特征在于，所述金属加热器包括上区加热丝和下区加热丝，上区加热丝、...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘汝强，王殿春，王之腾，刘庆毅，孙蕾，
申请(专利权)人：山东国晶新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37