蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法，属于金属蒸镀技术领域。本发明专利技术提供的蒸镀腔室内的监视装置，包括反射部、连接件和摄像机构，连接件被配置为将反射部与蒸镀腔室连接，摄像机构包括摄像头，摄像头能够配合反射部拍摄到蒸镀装置的所有部位。本发明专利技术实现了摄像头在蒸镀腔室内对蒸镀装置进行全方位拍摄。

Monitoring device, evaporation machine and monitoring method in evaporation chamber

【技术实现步骤摘要】
蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法
本专利技术涉及金属蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀腔室内的监视装置、使用该监视装置的蒸镀机及使用该监视装置进行监视的方法。
技术介绍
为了监视实验用蒸镀机腔体内部情况，除了设置观察窗外，摄像头的设置可以更好的观察蒸镀过程中各种情况，但实验用蒸镀机中有机材料与金属在同一个腔体里蒸镀，金属蒸镀在镜头上会污染镜头，同时高温蒸镀对摄像头传感器也有影响。因此，亟需提供一种蒸镀腔室内的监视装置及蒸镀机，以解决摄像头在蒸镀过程中被蒸镀的金属污染镜头的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法，以实现摄像头在蒸镀腔室内对蒸镀装置进行全方位拍摄，且避免被蒸镀金属污染镜头。为实现上述目的，提供以下技术方案：本专利技术提供了一种蒸镀腔室内的监视装置，包括：反射部；连接件，被配置为将所述反射部与蒸镀腔室连接；摄像机构，包括摄像头，所述摄像头能够配合所述反射部拍摄到蒸镀装置的所有部位。进一步地，所述连接件为具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，包括：/n反射部(6)；/n连接件，被配置为将所述反射部(6)与蒸镀腔室连接；/n摄像机构，包括摄像头(8)，所述摄像头(8)能够配合所述反射部(6)拍摄到蒸镀装置的所有部位。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，包括：
反射部(6)；
连接件，被配置为将所述反射部(6)与蒸镀腔室连接；
摄像机构，包括摄像头(8)，所述摄像头(8)能够配合所述反射部(6)拍摄到蒸镀装置的所有部位。


2.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述连接件为具有至少一自由度的第一调控机构。


3.根据权利要求2所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述第一调控机构为具有两个自由度的调控机构，包括第一驱动结构(2)及固定在所述第一驱动结构(2)驱动端的第二驱动结构(4)，所述第一驱动结构(2)能够绕第一方向转动，所述第二驱动结构(4)能够绕第二方向转动，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述反射部(6)固定在所述第二驱动结构(4)的驱动端。


4.根据权利要求3所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述第一调控机构还包括中转台(3)和安装板(5)，所述中转台(3)固定在所述第一驱动结构(2)的驱动端，所述第二驱动结构(4)设置在所述中转台(3)上，所述安装板(5)固定在所述第二驱动结构(4)的驱动端，所述反射部(6)固定在所述安装板(5)上。


5.根据权利要求2所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述第一调控机构为万向转动机构，所述万向转动机构包括第三驱动结构和万向节，所述万向节转动连接在所述第三驱动结构的驱动端，所述反射部(6)固定在所述万向节上。


6.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述摄像机构还包括第二调控机构，所述摄像头(8)固定在所述第二调控机构的调控端。


7.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述摄...

【专利技术属性】
技术研发人员：王江南，翟雪晶，陶培培，梁舰，史晓波，冯敏强，廖良生，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32