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本发明公开了一种蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法，属于金属蒸镀技术领域。本发明提供的蒸镀腔室内的监视装置，包括反射部、连接件和摄像机构，连接件被配置为将反射部与蒸镀腔室连接，摄像机构包括摄像头，摄像头能够配合反射部拍摄到蒸镀装置的所有...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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