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一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用制造技术
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下载一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用的技术资料
文档序号:23621887
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本发明涉及一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用,包括:金属加热器连接于保温板内壁,保温板外设有冷却水套,冷却水套底部连接有底环,大托板位于底环内并通过底环底部的小托板支撑连接,大托板上方设置有底板,底板支撑连接所述的保温板;外接电极和热电偶...
该专利属于山东国晶新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东国晶新材料有限公司授权不得商用。
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