一种锌镓氧材料薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种锌镓氧材料薄膜，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。锌和镓的原子比例与传统的1：2相比，镓原子的占比更低，当Zn和Ga的化学计量比发生变化时，在一定范围内形成ZnGaO材料仍然可以保持尖晶石的ZnGa

A zinc gallium oxide thin film and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种锌镓氧材料薄膜及其制备方法
本专利技术属于材料
，具体涉及一种锌镓氧材料薄膜及其制备方法。
技术介绍
紫外探测技术可用于军事通信、导弹尾焰探测、火灾预警、环境监测、生物效应等方面，无论在军事上还是在民用上都有广泛的应用。由于大气层的强烈吸收，使得太阳辐射中波长低于280nm的紫外线在地表几乎不存在，这一紫外波段被形象的称为日盲波段。工作在这一波段的日盲紫外探测器不受太阳辐射的干扰，具有更高的灵敏度，在弱信号探测方面具有突出的优势。目前，己投入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片，光电倍增管则需要在高电压下工作，而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高，对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说，由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注。ZnGaO材料是是ZnO和Ga2O3的复合氧化物，其中最常见的晶体结构是ZnGa2O4，其具有尖晶石结构，属于直接带隙半导体，禁带宽度在4.4-5.0eV之间，在原理上可以应用于248-280nm范围内的紫本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种锌镓氧材料薄膜，其特征在于，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种锌镓氧材料薄膜，其特征在于，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。


2.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述薄膜的吸收截止边位于250±10nm。


3.一种如权利要求1或2所述的锌镓氧材料薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底表面生长锌镓氧材料薄膜。


4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述有机锌化合物为二乙基锌和/或二甲基锌；所述有机镓化合物为三甲基镓和/或三乙基镓。


5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述有机锌化合物以高纯氮气为载气，所述载气的起始流速为5～20mL/min，在生长锌镓氧材料薄膜过程中，逐渐升高载气的流量，所述升高的速率为0～4.5mL/30mi...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈星，刘可为，申德振，韩冬阳，张振中，李炳辉，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22